快速更换真空腔体内消耗件的装置与方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及真空设备领域，尤其涉及一种快速更换真空腔体内消耗件的装置与方法。
【背景技术】
[0002]在现代制造技术中，很多工艺制程都需要在真空环境里进行。真空设备就是用来维持一个相对密封的环境以提供一定真空度，例如在光伏产业、半导体、液晶面板制造产业中经常用到的真空刻蚀设备、真空镀膜设备等。
[0003]通常真空设备都具有一个真空腔体，在真空腔体的真空环境内进行相应的工艺制程。真空腔体内通常需要安装一些易消耗件，如用于产生离子的金属灯丝等。当该消耗件被消耗完毕或到达使用寿命时，就必须进行更换，以保证真空设备正常工作。现有技术中更换真空腔体内消耗件的方法，通常需要先将真空腔体破真空，然后取出旧的消耗件，再换上新的消耗件，最后将真空腔体再次抽真空，恢复到正常进行工艺制程所需的真空度。上述方法具有很大的局限性，仅适用于小型真空设备的真空腔体内消耗件的更换，小型真空设备的真空腔体较小，操作相对简便，在破真空之后再次抽真空的耗时较短，对产能影响较小，例如低世代(1代_5代)显示面板生产线中的真空设备。
[0004]然而，随着科技的进步，以及消费者对工业产品的用户体验的需求越来高，在如今的工业生产中还有许多大型的真空设备，例如在高世代(5代以上)显示面板生产线中的真空设备，由于高世代的显示面板的衬底玻璃的尺寸变得越来越巨大，相应的真空设备中真空腔体也因此会变得越来越巨大。对于大型的真空设备，要更换真空腔体内的消耗件时，在破真空之后需要消耗大量的时间来进行再次抽真空，此时设备无法工作，大大影响了产能，无法满足现代工业生产对高生产效率的需求，另外，因为破真空而灌入的空气对真空腔体内其它部件的寿命会造成影响。因此，需要提出一种能够快速更换包括大型真空设备在内的真空腔体内消耗件的方法。
【发明内容】
[0005]本发明的目的在于提供一种快速更换真空腔体内消耗件的装置，该装置无需对真空腔体破真空，即能够在短时间内更换真空腔体内的消耗件，提升真空设备的产能，提高生产效率。
[0006]本发明的目的还在于提供一种快速更换真空腔体内消耗件的方法，该方法无需对真空腔体破真空，即能够在短时间内更换真空腔体内的消耗件，提升真空设备的产能，提高生产效率。
[0007]为实现上述目的，本发明首先提供一种快速更换真空腔体内消耗件的装置，包括:
[0008]—固定安装于真空腔体壁的基座、一与所述基座进行可拆卸连接的真空治具、及与所述真空治具连通的真空栗；
[0009]真空腔体壁在对应安装基座的部位开口 ；所述基座包括外圈平坦面、可拆卸连接于外圈平坦面围成的封闭空间内的可取面、固定于所述可取面相对远离真空腔体一侧的可取面外接件、及一用于打开与封闭真空腔体壁开口的阀门；消耗件固定安装于所述可取面朝向真空腔体的一侧，经由真空腔体壁开口伸入真空腔体内；
[0010]所述真空治具包括一治具腔体、及一取物杆；所述治具腔体的一端开口形成对接面，另一端设有供取物杆沿其轴向运动的取物杆容纳孔；
[0011]所述可取面外接件中部设有取物杆连接孔，所述取物杆通过取物杆连接孔与可取面外接件固定。
[0012]所述基座的外圈平坦面的四周边缘对称设置数个卡扣，所述外圈平坦面上设有数个对位孔；所述治具腔体的对接面的四周边缘对应所述数个卡扣设置同等数量的卡环、所述对接面上对应所述数个对位孔设置同等数量的对位柱，所述对接面上还设置有密封圈；
[0013]通过所述将对位柱插入对位孔来进行基座与真空治具的对位；通过所述卡扣与卡环扣合来连接基座与真空治具；通过密封圈贴合外圈平坦面来进行基座与真空治具的密封。
[0014]所述真空治具还包括设于治具腔体内的进气阀、及一用于测量治具腔体内真空度的压力表；所述真空栗与所述治具腔体连通，根据所述治具腔体的体积及治具腔体需要达到的真空度选择真空栗的型号。
[0015]所述可取面上设有数个第一连接孔，用于将可取面可拆卸连接于外圈平坦面围成的封闭空间内；所述可取面外接件上设有数个第二连接孔，用于将可取面外接件固定于所述可取面相对远离真空腔体一侧。
[0016]所述取物杆伸出所述治具腔体的末端连接手柄。
[0017]本发明还提供一种快速更换真空腔体内消耗件的方法，包括如下步骤:
[0018]步骤1、提供一真空腔体、及固定安装于真空腔体壁的基座；
[0019]真空腔体壁在对应安装基座的部位开口 ；所述基座包括外圈平坦面、可拆卸连接于外圈平坦面围成的封闭空间内的可取面、固定于所述可取面相对远离真空腔体一侧的可取面外接件、及一用于打开与封闭真空腔体壁开口的阀门；所述可取面外接件中部设有取物杆连接孔；
[0020]所述阀门打开，消耗件固定安装于所述可取面朝向真空腔体的一侧，经由真空腔体壁开口伸入真空腔体内；
[0021]步骤2、提供一真空治具、及与所述真空治具连通的真空栗；
[0022]所述真空治具包括一治具腔体、及一取物杆；所述治具腔体的一端开口形成对接面，另一端设有供取物杆沿其轴向运动的取物杆容纳孔；所述取物杆通过取物杆连接孔与可取面外接件固定；
[0023]步骤3、将所述真空治具的对接面与所述基座的外圈平坦面密封连接，启动真空栗对真空治具的治具腔体抽真空，使治具腔体的真空度与真空腔体的真空度相同；
[0024]步骤4、关闭真空栗，使用取物杆将可取面外接件及可取面从所述外圈平坦面围成的封闭空间内抽出，固定安装于所述可取面朝向真空腔体的一侧的消耗件被可取面带入治具腔体，然后关闭阀门使真空腔体壁开口封闭；
[0025]步骤5、对所述真空治具破真空，并将真空治具从基座分离，在可取面朝向真空腔体的一侧固定安装新的消耗件；
[0026]步骤6、再次将所述真空治具的对接面与所述基座的外圈平坦面密封连接，启动真空栗对真空治具的治具腔体抽真空，使治具腔体的真空度与真空腔体的真空度相同；
[0027]步骤7、打开所述阀门使真空腔体壁开口打开，使用取物杆将可取面外接件及可取面装入所述外圈平坦面围成的封闭空间内，固定安装于所述可取面朝向真空腔体的一侧的消耗件被可取面带入真空腔体，然后将真空治具从基座分离，完成真空腔体内消耗件的更换。
[0028]所述基座的外圈平坦面的四周边缘对称设置数个卡扣，所述外圈平坦面上设有数个对位孔；所述治具腔体的对接面的四周边缘对应所述数个卡扣设置同等数量的卡环、所述对接面上对应所述数个对位孔设置同等数量的对位柱，所述对接面上还设置有密封圈；
[0029]通过所述将对位柱插入对位孔来进行基座与真空治具的对位；通过所述卡扣与卡环扣合来连接基座与真空治具；通过密封圈贴合外圈平坦面来进行基座与真空治具的密封；通过解除卡扣与卡环的扣合来将真空治具从基座分离。
[0030]所述真空治具还包括设于治具腔体内的进气阀、及一压力表；所述真空栗与所述治具腔体连通，根据所述治具腔体的体积及治具腔体需要达到的真空度选择真空栗的型号;
[0031]通过打开进气阀实现治具腔体的破真空；通过压力表来测量治具腔体内的真空度。
[0032]所述可取面上设有数个第一连接孔，用于将可取面可拆卸连接于外圈平坦面围成的封闭空间内；所述可取面外接件上设有数个第二连接孔，用于将可取面外接件固定于所述可取面相对远离真空腔体一侧。
[0033]所述取物杆伸出所述治具腔体的末端连接手柄。
[0034]本发明的有益效果:本发明提供的一种快速更换真空腔体内消耗件的装置与方法，将真空治具与基座密封连接，通过真空栗对真空治具抽真空，使用取物杆将基座的可取面外接件及可取面从其外圈平坦面围成的封闭空间内抽出，然后对真空治具破真空，分离真空治具与基座，固定安装新的消耗件后，再对真空治具抽真空，密封连接真空治具与基座，使用取物杆将可取面外接件及可取面装入所述外圈平坦面围成的封闭空间内，消耗件被可取面带入真空腔体，整个更换消耗件的过程无需对真空腔体破真空，即能够在短时间内更换真空腔体内的消耗件，提升真空设备的产能，提高生产效率。
【附图说明】
[0035]为了能更进一步了解本发明的特征以及技术内容，请参阅以下有关本发明的详细说明与附图，然而附图仅提供参考与说明用，并非用来对本发明加以限制。
[0036]附图中，
[0037]图1为本发明的快速更换真空腔体内消耗件的装置中基座的平面示意图；
[0038]图2为本发明的快速更换真空腔体内消耗件的装置中真空治具的平面示意图；
[0039]图3为本发明的快速更换真空腔体内消耗件的装置中真空治具的立体示意图；
[0040]图4为本发明的快速更换真空腔体内消耗件的方法的流程图。