CVD设备与M0源容器101通过传输管道103并联。
[0040]可选的，本实用新型实施例还提供再一种金属有机化合物源的供应系统。图4为本实用新型实施例提供的再一种金属有机化合物源的供应系统的结构示意图。如图4所述，可选的，如上所示的金属有机化合物源的供应系统的基础上，传输管道103还包括:保温装置401。保温装置401例如可位于该传输管道103的外壁。
[0041]保温装置401可使得传输管道103中传输的M0源的温度保持恒定，从而保证M0CVD设备生长的化合物的性能稳定。
[0042]可选的，保温装置401可以为缠绕在传输管道103外壁的保温带。
[0043]可选的，本实用新型实施例还提供再一种金属有机化合物源的供应系统。图5为本实用新型实施例提供的再一种金属有机化合物源的供应系统的结构示意图。如图5所述，可选的，如上所示的金属有机化合物源的供应系统的基础上，M0源容器101可位于温度为预设温度的恒温槽501中。
[0044]恒温槽501例如可以为恒温水浴槽。
[0045]M0源容器101位于恒温槽501中，可使得M0源容器101中的M0源的稳定恒定，从而保证M0CVD设备根据M0源生长的化合物的性能稳定。
[0046]可选的，上述任一所述的金属有机化合物的供应系统中，M0源容器101的M0源，即，M0源容器101所盛装的M0源可以包括以下任一:
[0047]三甲基嫁(TriMethylGallium，简称 TMGa)、三甲基铟 TriMethyl Indium，简称TMIn)、三甲基招(Trimethyl Aluminum，简称 TMA1)、三乙基嫁(TriEthyl Gallium，简称TEGa)、二茂儀(bisCycloPentadienyl Magnesium，简称 Cp2Mg)。
[0048]本实用新型实施例的金属有机化合物源的供应方法，还可通过在多个M0CVD设备中每个M0CVD设备与M0源容器间的传输管道上设置截止阀，因此可通过对截止阀进行的开关进行控制，从而对M0源容器传输至该多个M0CVD设备中每个M0CVD设备的M0源的量进行控制，从而对每个M0CVD设备生产的化合物进行控制，保证化合物的性能；还通过在传输管道外设置保温装置，使得传输管道中传输的M0源温度保持恒定，从而保证M0CVD设备生长的化合物的性能稳定；同时，还将M0原容器置于恒温槽中，使得M0源容器中的M0源的稳定恒定，从而保证M0CVD设备根据M0源生长的化合物的性能稳定。
[0049]本实用新型实施例还提供一种金属有机化合物源的供应系统。图6为实用新型实施例提供的又一种金属有机化合物源的供应系统的结构示意图。如图6所示，金属有机化合物源的供应系统可包括:M0源容器601、多个M0CVD设备602、载气管道603和M0源管道604。
[0050]M0源容器601可通过M0源管道604与多个M0CVD设备602连接。若该多个M0CVD设备602中各M0CVD设备与M0源容器601可以是通过M0源管道604并联。
[0051]M0源容器601位于恒温槽605中，可使得M0源容器中的M0源的温度恒定。多个M0CVD设备602中各M0CVD设备与M0源容器601间的M0源管道604上还包括截止阀606。截止阀606可用于对传输至各M0CVD设备的M0源的量进行控制。
[0052]载气管道603可用于将载气传输至M0源容器601中，从而产生M0源的饱和蒸汽。其中，载气可以为氮气(Nitrogen，简称N2)或氢气Hydrogen，简称H2)。M0源管道604外包括保温装置607。保温装置607可以为缠绕在M0源管道604外壁的保温带。保温装置607可使得M0源管道604中传输的M0源的温度恒定。
[0053]该M0源的饱和蒸汽通过M0源管道604传输至多个M0CVD设备602。该M0CVD设备可根据接收到的M0源进行化合物的生长。
[0054]本实用新型实施例提供的金属有机化合物源的供应系统，M0源容器可通过传输管道向该多个M0CVD设备各自所需的M0源，无需针对每个M0CVD设备进行M0源容器的单独更换，提高M0源容器的更换效率，从而提高化合物的生长效率；该M0源容器为最大容量的M0源的容器，无需频繁的更换M0源容器，使得该多个M0CVD设备生长的化合物的性能更稳定；还可通过对传输M0源的管道的截止阀进行开关控制，从而对M0源容器传输至该多个M0CVD设备中每个M0CVD设备的M0源的量进行控制，从而对每个M0CVD设备生产的化合物进行控制，更好地保证化合物的性能；还通过在传输管道外设置保温装置，使得传输管道中传输的M0源温度保持恒定，从而保证M0CVD设备生长的化合物的性能稳定；同时，还将M0原容器置于恒温槽中，使得M0源容器中的M0源的稳定恒定，从而更好地保证M0CVD设备根据M0源生长的化合物的性能稳定。
[0055]最后应说明的是:以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解:其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围。
【主权项】
1.一种金属有机化合物源的供应系统，其特征在于，包括:金属有机化合物M0源容器，和多个金属有机化合物化学气相沉积MOCVD设备； 所述M0源容器，与所述多个MOCVD设备中的每个MOCVD设备，通过传输管道连接。2.根据权利要求1所述的金属有机化合物源的供应系统，其特征在于，所述每个MOCVD设备与所述M0源容器间的所述传输管道上还包括:截止阀。3.根据权利要求1或2所述的金属有机化合物源的供应系统，其特征在于，所述多个MOCVD设备中各MOCVD设备与所述M0源容器通过所述传输管道并联。4.根据权利要求1所述的金属有机化合物源的供应系统，其特征在于，所述传输管道还包括:保温装置。5.根据权利要求4所述的金属有机化合物源的供应系统，其特征在于，所述保温装置为缠绕在所述传输管道外壁的保温带。6.根据权利要求1所述的金属有机化合物源的供应系统，其特征在于，所述M0源容器位于温度为预设温度的恒温槽中。7.根据权利要求1所述的金属有机化合物源的供应系统，其特征在于，所述M0源容器的M0源可以包括以下任一: 三甲基镓TMGa、三甲基铟TMIn、三甲基铝TMA1、三乙基镓TEGa、二茂镁Cp2Mg。
【专利摘要】本实用新型提供一种金属有机化合物源的供应系统。本实用新型提供的金属有机化合物源的供应系统包括：MO源容器，和多个MOCVD设备；MO源容器，与多个MOCVD设备中的每个MOCVD设备通过传输管道连接。本实用新型的金属有机化合物源的供应系统，可提高化合物的生长效率。
【IPC分类】C23C16/455
【公开号】CN205115595
【申请号】CN201520610663
【发明人】焦建军, 黄小辉, 陈向东, 康建, 梁旭东
【申请人】圆融光电科技股份有限公司
【公开日】2016年3月30日
【申请日】2015年8月13日