专利名称：二氧化硅粉体立式火焰球化煅烧炉的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种煅烧设备，特别是一种二氧化硅粉体立式火焰球化煅烧炉。
背景技术：
当前，由于半导体产业中半导体高集成化的发展，对半导体芯片密封材料高性能化的要求不断提高，特别是对电绝缘性、低膨胀率等性能的要求。为了满足这些要求，合成 树脂以及使用熔融处理的无机粒子(特别是熔融的硅微粉)作为填充剂，这样填充的密封 材料被广泛使用。该硅微粉粒子如果是球状的，可以达到高填充率。另外由于其在密封时 的流动性以及耐金属磨具的磨耗性佳，现在球状硅微粉被广泛使用。现有技术中的煅烧炉 的缺陷在于，在煅烧过程中，容易出现熔融后二氧化硅微珠与炉壁粘结现象，且不能连续化 生产；微粉的冷却速度较慢，造成微粉球形度低。
发明内容本实用新型所要解决的技术问题是针对现有技术的不足，提供一种结构简单合 理、可有效防止炉壁粘结现象的发生、提高微粉的球形度的二氧化硅粉体立式火焰球化煅 烧炉。本实用新型所要解决的技术问题是通过以下的技术方案来实现的。本实用新型 是一种二氧化硅粉体立式火焰球化煅烧炉，包括炉体、膛壁和设在炉体顶部的喷嘴，其特点 是在炉体与膛壁之间设有风冷夹套，炉体的上部设有若干个冷却风给风管；在风冷夹套 内设有螺旋状导风隔板，螺旋状导风隔板侧边的膛壁上设有膛壁气孔；在炉体的中部设有 若干个二次进风管，在二次进风管上部的炉体上设有出风口 ；在炉体的下部设有进风口和 收集口。本实用新型所要解决的技术问题还可以通过以下的技术方案来进一步实现。以上 所述的二氧化硅粉体立式火焰球化煅烧炉，其特点是所述的冷却风给风管为4根，对称设置。本实用新型所要解决的技术问题还可以通过以下的技术方案来进一步实现。以上 所述的二氧化硅粉体立式火焰球化煅烧炉，其特点是所述的冷却风给风管切向安装在炉 体上。本实用新型所要解决的技术问题还可以通过以下的技术方案来进一步实现。以上 所述的二氧化硅粉体立式火焰球化煅烧炉，其特点是所述的膛壁气孔切向设置在膛壁上。本实用新型所要解决的技术问题还可以通过以下的技术方案来进一步实现。以 上所述的二氧化硅粉体立式火焰球化煅烧炉，其特点是所述的二次进风管为4根，对称设置。与现有技术相比，本实用新型具有以下优点1、防止粘连；使用时，在螺旋状导风隔板的作用下，进入风冷夹套内的冷却风受到 膛壁加热后由膛壁气孔进入膛壁内，进入膛壁内的冷却风紧贴炉壁形成螺旋式气膜，使得部分脱离火焰的颗粒不与炉壁相接触，能有效的防止熔融后硅微粉微珠与炉壁粘结现象，可实现连续化生产。2、提高微粉的球形度；冷却风可由切向进入炉体内部，紧贴炉体内部形成螺旋风， 使得硅微粉体熔融后得到迅速冷却，有效地保证了粉体的球形度；而且通过二次进风管进 入的冷却风，可使熔融后的二氧化硅微珠遇到冷风后进一步迅速冷却，进而提高微粉的球 形度。3、炉体下部设有进风口，炉体内的高温气流可以被进风口所进冷风降温，可使收 集口温度达到可收集的适宜温度，保证收集器不被高温所损坏。
图1为本实用新型的一种结构示意图。
具体实施方式
以下参照附图，进一步描述本实用新型的具体技术方案，以便于本领域的技术人 员进一步地理解本发明，而不构成对其权利的限制。实施例1。一种二氧化硅粉体立式火焰球化煅烧炉，包括炉体6、膛壁3和设在炉 体6顶部的喷嘴1，在炉体6与膛壁3之间设有风冷夹套11，炉体6的上部设有若干个冷却 风给风管2 ；在风冷夹套11内设有螺旋状导风隔板9，螺旋状导风隔板9侧边的膛壁3上设 有膛壁气孔10 ；在炉体6的中部设有若干个二次进风管5，在二次进风管5上部的炉体6上 设有出风口 4 ；在炉体6的下部设有进风口 8和收集口 7。实施例2。实施例1所述的二氧化硅粉体立式火焰球化煅烧炉中，所述的冷却风给 风管2为4根，对称设置。实施例3。实施例1或2所述的二氧化硅粉体立式火焰球化煅烧炉中，所述的冷却 风给风管2切向安装在炉体6上。实施例4。实施例1或2或3所述的二氧化硅粉体立式火焰球化煅烧炉中，所述的 膛壁气孔10切向设置在膛壁3上。
权利要求一种二氧化硅粉体立式火焰球化煅烧炉，包括炉体(6)、膛壁(3)和设在炉体(6)顶部的喷嘴(1)，其特征在于在炉体(6)与膛壁(3)之间设有风冷夹套(11)，炉体(6)的上部设有若干个冷却风给风管(2)；在风冷夹套(11)内设有螺旋状导风隔板(9)，螺旋状导风隔板(9)侧边的膛壁(3)上设有膛壁气孔(10)；在炉体(6)的中部设有若干个二次进风管(5)，在二次进风管(5)上部的炉体(6)上设有出风口(4)；在炉体(6)的下部设有进风口(8)和收集口(7)。
2.根据权利要求1所述的二氧化硅粉体立式火焰球化煅烧炉，其特征在于所述的冷 却风给风管(2)为4根，对称设置。
3.根据权利要求1所述的二氧化硅粉体立式火焰球化煅烧炉，其特征在于所述的冷 却风给风管(2)切向安装在炉体(6)上。
4.根据权利要求1所述的二氧化硅粉体立式火焰球化煅烧炉，其特征在于所述的膛 壁气孔(10)切向设置在膛壁(3)上。
5.根据权利要求1所述的二氧化硅粉体立式火焰球化煅烧炉，其特征在于所述的二 次进风管(5)为4根，对称设置。
专利摘要本实用新型是一种二氧化硅粉体立式火焰球化煅烧炉，包括炉体、膛壁和设在炉体顶部的喷嘴，其特征在于在炉体与膛壁之间设有风冷夹套，炉体的上部设有若干个冷却风给风管；在风冷夹套内设有螺旋状导风隔板，螺旋状导风隔板侧边的膛壁上设有膛壁气孔；在炉体的中部设有若干个二次进风管，在二次进风管上部的炉体上设有出风口；在炉体的下部设有进风口和收集口。使用时，在螺旋状导风隔板的作用下，进入风冷夹套内的冷却风受到膛壁加热后由膛壁气孔进入膛壁内，形成螺旋式气膜，使部分脱离火焰的颗粒不与炉壁相接触，防止熔融后硅微粉微珠与炉壁粘结现象；它还具有提高微粉的球形度的特点。
文档编号C01B33/18GK201567239SQ20092025555
公开日2010年9月1日 申请日期2009年11月23日 优先权日2009年11月23日
发明者汪维桥, 阮建军 申请人:连云港东海硅微粉有限责任公司