专利名称：防粘连硅微粉球化煅烧炉的膛壁冷却装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种炉体冷却装置，特别是一种防粘连硅微粉球化煅烧炉的膛壁冷却装置。
背景技术：
当前，由于半导体产业中半导体高集成化的发展，对半导体芯片密封材料高性能 化的要求不断提高，特别是对电绝缘性、低膨胀率等性能的要求。为了满足这些要求，合成 树脂以及使用熔融处理的无机粒子(特别是熔融的硅微粉)作为填充剂，这样填充的密封 材料被广泛使用。该硅微粉粒子如果是球状的，可以达到高填充率。另外由于其在密封时 的流动性以及耐金属磨具的磨耗性佳，现在球状硅微粉被广泛使用。现有技术中的煅烧炉 的膛壁冷却装置一般为水冷冷却装置，该装置的缺陷在于，在煅烧过程中，容易出现熔融后 二氧化硅微珠与炉壁粘结现象。
发明内容本实用新型所要解决的技术问题是针对现有技术的不足，提供一种结构简单合 理、可有效防止炉壁粘结现象的发生的防粘连硅微粉球化煅烧炉的膛壁冷却装置。本实用新型所要解决的技术问题是通过以下的技术方案来实现的。本实用新型是 一种防粘连硅微粉球化煅烧炉的膛壁冷却装置，其特点是，在煅烧炉的炉体与膛壁之间设 有风冷夹套，炉体的上部设有若干个冷却风给风管，冷却风给风管与鼓风机连接；在风冷夹 套内设有螺旋状导风隔板，螺旋状导风隔板侧边的膛壁上设有膛壁气孔。本实用新型所要解决的技术问题还可以通过以下的技术方案来进一步实现。以上 所述的防粘连硅微粉球化煅烧炉的膛壁冷却装置，其特点是所述的冷却风给风管为4根， 对称设置。本实用新型所要解决的技术问题还可以通过以下的技术方案来进一步实现。以上 所述的防粘连硅微粉球化煅烧炉的膛壁冷却装置，其特点是所述的冷却风给风管切向安 装在炉体上。本实用新型所要解决的技术问题还可以通过以下的技术方案来进一步实现。以上 所述的防粘连硅微粉球化煅烧炉的膛壁冷却装置，其特点是所述的膛壁气孔切向设置在
膛壁上。与现有技术相比，本实用新型使用时，在螺旋状导风隔板的作用下，进入风冷夹套 内的冷却风受到膛壁加热后由膛壁气孔进入膛壁内，进入膛壁内的冷却风紧贴炉壁形成螺 旋式气膜，使得部分脱离火焰的颗粒不与炉壁相接触，能有效的防止熔融后硅微粉微珠与 炉壁粘结现象，可实现连续化生产。
图1为本实用新型的一种结构示意图。
具体实施方式
以下参照附图，进一步描述本实用新型的具体技术方案，以便于本领域的技术人 员进一步地理解本发明，而不构成对其权利的限制。实施例1。参照图1。一种防粘连硅微粉球化煅烧炉的膛壁冷却装置，在煅烧炉的 炉体7与膛壁4之间设有风冷夹套6，炉体7的上部设有若干个冷却风给风管2，冷却风给 风管2与鼓风机1连接；在风冷夹套6内设有螺旋状导风隔板5，螺旋状导风隔板5侧边的 膛壁4上设有膛壁气孔3。实施例2。在实施例1所述的防粘连硅微粉球化煅烧炉的膛壁冷却装置中所述 的冷却风给风管2为4根，对称设置。实施例3。在实施例1或2所述的防粘连硅微粉球化煅烧炉的膛壁冷却装置中 所述的冷却风给风管2切向安装在炉体7上。实施例4。在实施例1或2或3所述的防粘连硅微粉球化煅烧炉的膛壁冷却装置中所述的膛壁气孔3切向设置在膛壁4上。
权利要求一种防粘连硅微粉球化煅烧炉的膛壁冷却装置，其特征在于，在煅烧炉的炉体(7)与膛壁(4)之间设有风冷夹套(6)，炉体(7)的上部设有若干个冷却风给风管(2)，冷却风给风管(2)与鼓风机(1)连接；在风冷夹套(6)内设有螺旋状导风隔板(5)，螺旋状导风隔板(5)侧边的膛壁(4)上设有膛壁气孔(3)。
2.根据权利要求1所述的防粘连硅微粉球化煅烧炉的膛壁冷却装置，其特征在于所 述的冷却风给风管(2)为4根，对称设置。
3.根据权利要求1所述的防粘连硅微粉球化煅烧炉的膛壁冷却装置，其特征在于所 述的冷却风给风管⑵切向安装在炉体(7)上。
4.根据权利要求1所述的防粘连硅微粉球化煅烧炉的膛壁冷却装置，其特征在于所 述的膛壁气孔⑶切向设置在膛壁⑷上。
专利摘要本实用新型是一种防粘连硅微粉球化煅烧炉的膛壁冷却装置，其特征在于，在煅烧炉的炉体与膛壁之间设有风冷夹套，炉体的上部设有若干个冷却风给风管，冷却风给风管与鼓风机连接；在风冷夹套内设有螺旋状导风隔板，螺旋状导风隔板侧边的膛壁上设有膛壁气孔。使用时，在螺旋状导风隔板的作用下，进入风冷夹套内的冷却风受到膛壁加热后由膛壁气孔进入膛壁内，进入膛壁内的冷却风紧贴炉壁形成螺旋式气膜，使得部分脱离火焰的颗粒不与炉壁相接触，能有效的防止熔融后硅微粉微珠与炉壁粘结现象，可实现连续化生产。
文档编号C01B33/12GK201553617SQ20092025555
公开日2010年8月18日 申请日期2009年11月23日 优先权日2009年11月23日
发明者汪维桥, 阮建军 申请人:连云港东海硅微粉有限责任公司