绿色可热处理双银低辐射镀膜玻璃及其制备方法与流程

技术特征：

1.一种绿色可热处理双银低辐射镀膜玻璃，其特征在于：所述镀膜玻璃包括玻璃基板和自所述玻璃基板一表面向外依次叠设的第一电介质膜层、第一复合功能膜层、第二电介质膜层、第二复合功能膜层、第三电介质膜层；

其中，所述第一复合功能膜层和所述第二复合功能膜层均为三明治结构；所述三明治结构的中间层为银膜层，所述银膜层两相对表面叠设有保护膜层。

2.如权利要求1所述的绿色可热处理双银低辐射镀膜玻璃，其特征在于：所述保护膜层由Zn、Cr、Nb、Ti、CrO_x、NbO_x、TiO_x、NiCrO_x、CrN_x、NbN_x、TiN_x、NiCrN_x中的任一种形成，或者至少两种混合后形成；其中，表示不完全氧化或氮化。

3.如权利要求1～2任一所述的绿色可热处理双银低辐射镀膜玻璃，其特征在于：所述第一电介质膜层的厚度为5nm～60nm；和/或

所述第二电介质膜层的厚度为60nm～100nm；和/或

所述第三电介质膜层的厚度为5nm～60nm。

4.如权利要求1～2任一所述的绿色可热处理双银低辐射镀膜玻璃，其特征在于：所述第一复合功能膜层和/或所述第二复合功能膜层的厚度为3nm～30nm；和/或所述银膜层厚度为5nm～20nm。

5.如权利要求3所述的绿色可热处理双银低辐射镀膜玻璃，其特征在于：所述第一电介质膜层、第二电介质膜层和第三电介质膜层由TiO₂、ZnO、SnO₂、ZnSnO₃中的任一种形成，或者至少两种混合后形成。

6.如权利要求1所述的绿色可热处理双银低辐射镀膜玻璃，其特征在于：所述玻璃基板为白玻。

7.一种如权利要求1～6任一所述的绿色可热处理双银低辐射镀膜玻璃的制造方法，至少包括在所述玻璃基板一表面向外，依次叠设第一电介质膜层、第一复合功能膜层、第二电介质膜层、第二复合功能膜层、第三电介质膜层。

8.如权利要求7所述的绿色可热处理双银低辐射镀膜玻璃的制造方法，其特征在于：所述叠设膜层的方式为蒸镀、磁控溅射或喷镀中的任一种。

9.如权利要求7所述的绿色可热处理双银低辐射镀膜玻璃的制造方法，其特征在于：所述磁控溅射腔室的真空度小于5×10^-5mbar，磁控溅射时气压5×10^-4mbar～5×10^-2mbar。