一种利用管式炉生长大面积单晶二氧化钒薄膜方法与流程

文档序号:11147588阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种利用管式炉生长大面积单晶二氧化钒薄膜方法,其特征在于:具体步骤如下:

(1)将实验基片和石英舟分别用丙酮、无水乙醇超声清洗,确保实验基片和石英舟表面干净,无油脂和污染物;

(2)在步骤(1)中获得的实验基片和石英舟中放入五氧化二钒粉末,并按次序放入到石英管内,每次实验需要用到三个石英舟,第一个石英舟放置石英管的内侧温区中间;第二个石英舟放置于石英管的外侧温区中间;第三个石英舟里放置于第二个石英舟的上游;五氧化二钒粉末均匀的放置在石英舟里,实验基片放入到第一个和第二个石英舟内;

(3)在步骤(2)中放置好的石英舟后,对石英管进行封腔,抽真空至50~80mTorr,然后通入氩气,流量为5~20SCCM,将外侧温区和内侧温区的温度升到800~1000℃,用时40~100分钟,调节抽真空口的气压阀使其石英管内气压控制在200~900mTorr的范围内,控制升温速率在10~20℃/min,温度达到800~1000℃后进行温度保持,保持时间为180~360分钟,然后控制降温速率1~2℃/min,当温度显示低于30℃后打开石英管,取出实验基片。

2.根据权利要求1所述的一种利用管式炉生长大面积单晶二氧化钒薄膜方法,其特征在于:该管式炉包括管式炉控制系统和石英管,所述石英管一端为进气口,所述进气口的管路上设置真空计,所述石英管内放入实验基片和石英舟,所述实验基片和石英舟中放入五氧化二钒粉末,所述石英管另一端为出气口。

3.根据权利要求1所述的一种利用管式炉生长大面积单晶二氧化钒薄膜方法,其特征在于:第一个石英舟放有的五氧化二钒粉末、第二个石英舟放有的五氧化二钒粉末和第三个石英舟里放有的五氧化二钒粉末的质量比为1.5~3:1~2:1.5~6。

4.根据权利要求1所述的一种利用管式炉生长大面积单晶二氧化钒薄膜方法,其特征在于:实验基片选用SiO2/Si、Si3N4/Si、硅、石英或蓝宝石。

5.根据权利要求1所述的一种利用管式炉生长大面积单晶二氧化钒薄膜方法,其特征在于:外侧温区和内侧温区温度分别从室温升到900~1000℃和800~900℃。

当前第2页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1