一种可以均匀散热的多晶铸锭炉的制作方法

本实用新型涉及一种可以均匀散热的多晶铸锭炉。

背景技术：

多晶铸锭炉是多晶硅片生产中的一个重要环节，它是利用晶体定向凝固的原理，对方形陶瓷石英坩埚中的硅料进行加热熔化，最后通过铸锭炉热场提供的温度梯度，产生定向凝固的方形多晶硅锭。多晶铸锭采用定向凝固生长方式简便，易于生长大尺寸晶体，且容易自动化控制，进一步降低了硅片材料成本。

热场结构是多晶铸锭炉的重要组成部分，热场是多晶铸锭炉在加热过程中产生的温度分布，它对多晶硅晶体的生产至关重要。在晶体生长过程中，热场的温度梯度和分布是决定固液界面形状和晶体质量的主要原因，在晶体冷却过程中，热场的散热结构又是导致晶体热应力分布的主要因素。由于现有的多晶铸锭炉大部分都是顶、侧五面加热方式，热场结构导致在硅锭的中心与四周温度分布不一致，温度梯度不均匀，中心与四周散热速率不一致，最终影响了多晶硅锭四周晶体的质量，从而影响了硅片的电池转换效率。

技术实现要素：

本实用新型其目的就在于提供一种可以均匀散热的多晶铸锭炉，解决了现有热场的中心与四周温度分布不一致，温度梯度不均匀的问题，从而解决了由该原因导致的四周晶锭质量下降、固液界面不平整等现象，同时也能在冷却过程中更均匀的散热，减少硅锭中热应力的产生，具有热场散热更均匀、保温性能更好、铸锭能耗低的特点。

实现上述目的而采取的技术方案，包括壳体，所述壳体内设有底座，底座上设有石墨支柱，石墨支柱上设有热场散热板，所述热场散热板四周设有边部保温条，热场散热板内设有若干个呈中心对称均匀分布的散热孔，热场散热板上设有DS块，所述DS块底部设有6个圆周阵列的螺纹孔，DS块上设有保温条，所述保温条上设有坩埚，坩埚外设有隔热笼。

有益效果

与现有技术相比本实用新型具有以下优点。

1. 改善长晶过程的固液界面平整度，提升晶锭四周硅块的晶体质量，降低位错密度，提升四周区域硅片转换效率0.1~0.2%；

2. 改善温度梯度分布，提高热场的排杂性能，降低多晶硅锭的杂质和阴影比例1~2%，得率提升1~2%；

3. 使热场散热更均匀，保温性能更好，降低铸锭能耗200度/锭。

附图说明

以下结合附图对本实用新型作进一步详述。

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型中热场散热板的结构示意图。

具体实施方式

本装置包括壳体1，所述壳体1内设有底座8，底座8上设有石墨支柱7，石墨支柱7上设有热场散热板5，如图1、图2所示，所述热场散热板5四周设有边部保温条11，热场散热板5内设有若干个呈中心对称均匀分布的散热孔9，热场散热板5上设有DS块4，所述DS块4底部设有6个圆周阵列的螺纹孔，DS块4上设有保温条6，所述保温条6上设有坩埚2，坩埚2外设有隔热笼3。

所述边部保温条11通过连接螺栓10固定在热场散热板5的四周。

所述散热孔9为圆形或与圆形面积等同的方形、矩形、菱形、多边形。

所述保温条6为四个，采用平插方式放置。