一种蒸发法孕育碳化硅晶体生长装置的制作方法

文档序号:11836581阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种蒸发法孕育碳化硅晶体生长装置,包括反应釜本体、转轴、碳化硅晶体盛放盒、换热器,其特征在于,所述反应釜本体的顶部设置有开口,并在开口上安装有液封盖,所述的转轴贯穿过液封盖设置于反应釜本体内部,并在转轴前端设置有若干搅拌桨,在搅拌桨的底部再安装有碳化硅晶体盛放盒,所述换热器设置在反应釜本体的侧边,在反应釜本体底部设置有加热管,所述的反应釜本体内设置有温度感应装置。

2.如权利要求1所述的蒸发法孕育碳化硅晶体生长装置,其特征在于,所述反应釜本体的侧壁设置若干限位槽孔。

3.如权利要求1所述的蒸发法孕育碳化硅晶体生长装置,其特征在于,所述的反应釜本体上安装有控制开关。

4.如权利要求1所述的蒸发法孕育碳化硅晶体生长装置,其特征在于,所述的搅拌桨与碳化硅晶体盛放盒可拆卸连接。

5.如权利要求2所述的蒸发法孕育碳化硅晶体生长装置,其特征在于,所述的反应釜本体与限位槽孔相互焊接。

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