技术总结
本实用新型公开了一种蒸发法孕育碳化硅晶体生长装置，包括反应釜本体、转轴、碳化硅晶体盛放盒、换热器，所述反应釜本体的顶部设置有开口，并在开口上安装有液封盖，所述的转轴贯穿过液封盖设置于反应釜本体内部，并在转轴前端设置有若干搅拌桨，在搅拌桨的底部再安装有碳化硅晶体盛放盒，所述换热器设置在反应釜本体的侧边，在反应釜本体底部设置有加热管，所述的反应釜本体内设置有温度感应装置。通过装置上设计的转轴带动搅拌桨转动，使得防止在反应釜本体内的水溶液能充分流动，同时使得放置在碳化硅晶体盛放盒内的碳化硅晶体籽料能与水溶液充分接触，且受热均匀，整个装置操作便捷，使用方便，可被进一步推广应用。
技术研发人员：张新峰
受保护的技术使用者：张新峰
文档号码：201620586809
技术研发日：2016.06.15
技术公布日：2016.11.30