技术总结
本实用新型公开了一种实现硅烷分离回收的多级乙硅烷精馏装置，包括第一精馏塔、第二精馏塔、第三精馏塔和辅助精馏塔；第二精馏塔、第三精馏塔和辅助精馏塔的排气口分别与第二废弃罐、第三废弃罐和辅助废弃罐连接；第一精馏塔、第二精馏塔、第三精馏塔和辅助精馏塔下方分别与第一再沸器、第二再沸器、第三再沸器和辅助再沸器连接；第一精馏塔、第二精馏塔、第三精馏塔和辅助冷凝器内分别设有第一冷凝器、第二冷凝器、第三冷凝器和辅助冷凝器；第二精馏塔的出料口与第三精馏塔连接，第三精馏塔的出料口与乙硅烷存储罐连接。本实用新型的有益之处在于：辅助精馏塔能对硅烷进行回收，保证硅烷的安全；第三精馏塔针对氨气进行二次精馏，保证乙硅烷的纯度。
技术研发人员：徐昕;郑春宁;何波
受保护的技术使用者：南京亚格泰新能源材料有限公司
文档号码：201621035955
技术研发日：2016.08.30
技术公布日：2017.06.06