一种用于硅芯拉制的吹气装置的制作方法

文档序号:11365050阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种用于硅芯拉制的吹气装置,包括进气管(1)、吹气嘴(6)和吹气孔(11),其特征在于:环绕每一根硅芯设置一个吹气嘴(6),吹气嘴(6)上开设多个吹气孔(11),使从吹气孔(11)吹出的气体沿多个方向均匀吹向每根硅芯。

2.如权利要求1所述的吹气装置,其特征在于:在所述吹气嘴(6)的上游设置一个或多个进气通道,通过连接管(5)将吹气嘴(6)与进气通道相连通,所述的多个进气通道之间通过多个进气孔(15)相互连通,使进入吹气装置的气流在所述的进气通道及吹气嘴(6)内重新分布。

3.如权利要求2所述的吹气装置,其特征在于:所述的进气通道为多个平行叠置的环形通道,冷却气体经进气管(1)进入之后,由第一进气通道(13)进入第二进气通道(14),再经连接管(5)进入第三进气通道(16),后由吹气孔(11)吹向硅芯。

4.如权利要求3所述的吹气装置,其特征在于:第一进气通道(13)和第二进气通道(14)均设置在圆环形的吹气环(4)内,第一进气通道(13)设置在吹气环(4)的上方,第二进气通道(14)设置在吹气环(4)的下方,通过多个进气孔(15)相互连通。

5.如权利要求4所述的吹气装置,其特征在于:所述的若干个吹气嘴(6)设置在吹气环(4)下方,第三进气通道(16)位于吹气嘴(6)内部,通过连接管(5)将其与第二进气通道(14)相连通,吹气孔(11)设置在吹气嘴(6)上,对准硅芯的结晶区。

6.如权利要求4所述的吹气装置,其特征在于:吹气环(4)具有一开口A(8),该开口A(8)与第一进气通道(13)及第二进气通道(14)端部相对应的位置设有排污口,在排污口处设有封堵螺钉(7)。

7.如权利要求4所述的吹气装置,其特征在于:所述吹气环(4)上设有若干个固定柱(3),用于安装导心板。

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