技术特征：
技术总结
本发明关于单晶炉辅助设备领域，特别涉及一种应用于单晶炉的主炉室结构。包括主炉室、上法兰、下法兰与隔水组件；主炉室为由内筒体与外筒体组成的双层筒体结构，内筒体侧壁上开有孔，在外筒体侧壁上的相应位置也开有孔并在此处焊接有测温口法兰；上法兰与下法兰分别焊接于主炉室的顶端与底端，内部设有水槽，侧部均开有Rc螺纹孔，Rc螺纹孔与水槽均相互连通；隔水组件焊设于内筒体与外筒体间，包括第一隔水条、导水槽与出水嘴；第一隔水条组成环形水道，导水槽与主炉室轴线平行设置，出水嘴设于导水槽末端。本发明提高了主炉室的密封性能；并提高了冷却效率，从而降低单晶炉的硅棒单次生产时间，降低辅助材料的替换频率。
技术研发人员：曹建伟;傅林坚;韦韬;胡建荣;倪军夫;陈杭;陈新旺
受保护的技术使用者：浙江晶鸿精密机械制造有限公司
技术研发日：2018.10.16
技术公布日：2019.01.11