半导体光伏用石英管自动控制加料生产设备的制作方法

文档序号:15504049发布日期:2018-09-21 22:56阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种半导体光伏用石英管自动控制加料生产设备,包括炉盖(12)、炉体(9)以及设置在炉体(9)内部的坩埚(7),炉体(9)和坩埚(7)之间设有加热保温装置(8),其特征在于:所述炉盖(12)上设有两个及以上的加料口(2),加料口(2)与自动加料控制系统(3)相连,炉盖(12)上还设有液面探测系统(5),炉体(9)下方的石英管出口(10)处设有产量测量仪(11),所述的液面探测系统(5)和产量测量仪(11)分别与自动加料控制系统(3)相连。

2.根据权利要求1所述的半导体光伏用石英管自动控制加料生产设备,其特征在于:所述炉盖(12)内部还设有激光料面测量系统(4),所述激光料面测量系统(4)与自动加料控制系统(3)相连。

3.根据权利要求2所述的半导体光伏用石英管自动控制加料生产设备,其特征在于:所述加料口(2)与多爪下料口(6)相连。

4.根据权利要求3所述的半导体光伏用石英管自动控制加料生产设备,其特征在于:所述的多爪下料口(6)包含2-12个爪。

5.根据权利要求4所述的半导体光伏用石英管自动控制加料生产设备,其特征在于:液面探测系统(5)包括两个及以上的液面探测针。

当前第2页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1