技术总结
本实用新型提供一种籽晶夹头，被用于固定在侧壁顶部设置有籽晶缺口的籽晶：包括插销、中空的夹头本体和中空的石墨套；所述石墨套底部设置有向外侧凸起的石墨套卡台，石墨套侧壁设置有连通石墨套内部的石墨套缺口；所述夹头本体底部设置有与石墨套配合使用的凹槽，夹头本体侧壁上设置有与石墨套缺口配合使用的凹槽缺口；所述凹槽缺口与凹槽连通；所述石墨套卡台与夹头本体底部抵接，石墨套伸入凹槽中，凹槽缺口与石墨套卡口连通形成销通道；所述籽晶的顶部伸入石墨套中，籽晶缺口与销通道连通，插销经过销通道后插入籽晶缺口内。本实用新型长期使用后，石墨套孔径逐渐变大，可以直接更换石墨套，更换方便，造价便宜。
技术研发人员：潘金平;余俊军;陈洪;杨国梁;王伟棱;郑春松;饶伟星
受保护的技术使用者：浙江海纳半导体有限公司
技术研发日：2018.06.12
技术公布日：2019.01.15