1.一种石英坩埚,其特征在于,所述石英坩埚的制备方法包括如下步骤:
(1)将金属氧化物或金属盐溶于水溶液中,加酸调节ph为1-3,与高纯石英砂混合,于90-150℃条件下搅拌12h以上;
(2)将经过步骤(1)处理的产物进行去离子水漂洗,至漂洗后废液为中性,停止漂洗;
(3)将经过步骤(2)漂洗后的产物与步骤(1)所述金属对应的金属氢氧化物混合;
(4)将步骤(3)制得的混合物在600-1050℃下烘干,制得预处理的高纯石英砂;
(5)将步骤(4)所得预处理的高纯石英砂通过电弧法成型制得所述石英坩埚。
2.根据权利要求1所述的石英坩埚,其特征在于,步骤(1)中所述金属氧化物为氧化铝、氧化铂中的一种或两种混合;所述金属盐为硝酸铝、氯化铝、硝酸铂、氯化铂中的一种或多种。
3.根据权利要求1所述的石英坩埚,其特征在于,步骤(1)中所述酸为盐酸、氢氟酸、硝酸中的一种或多种。
4.根据权利要求1所述的石英坩埚,其特征在于,步骤(1)中所述金属氧化物或金属盐相对于高纯石英砂的用量为500-800ppm;步骤(3)中所述金属氢氧化物相对于高纯石英砂的用量为500-800ppm。
5.根据权利要求1所述的石英坩埚,其特征在于,步骤(1)中所述金属盐替换为氯化钡、硝酸钡或碳酸钡。
6.根据权利要求5所述的石英坩埚,其特征在于,所述石英坩埚的制备方法为:
(1)将氯化钡、硝酸钡或碳酸钡溶于水溶液中,加酸调节ph为1-3,与高纯石英砂混合,于90-150℃条件下搅拌12h以上,制得混合液;
(2)向步骤(1)制得混合液中通入二氧化碳,之后漂洗脱酸,过滤,收集沉淀物;
(3)将步骤(2)制得的沉淀物在600-1050℃下烘干,制得预处理的高纯石英砂;
(4)将步骤(3)所得预处理的高纯石英砂通过电弧法成型制得所述石英坩埚。
7.根据权利要求6所述的石英坩埚,其特征在于,步骤(1)中所述氯化钡的用量为0.02-0.16g/kg石英砂;所述硝酸钡的用量为0.03-0.2g/kg石英砂;所述碳酸钡的用量为0.02-0.16g/kg石英砂。
8.根据权利要求6所述的石英坩埚,其特征在于,步骤(2)中所述二氧化碳用量为10-50l/吨高纯石英砂。
9.根据权利要求1或6所述的石英坩埚,其特征在于,所述电弧法成型的具体过程为:将预处理的高纯石英砂放入旋转的坩埚模具中,在离心力作用下形成坩埚状,然后再坩埚模具上方的电极通入电流,形成2000℃以上的高温状态的电弧,缓慢将预处理的高纯石英砂熔化并形成坩埚基体,待坩埚基体熔融成型后,自然冷却至室温后脱模、喷砂、研磨,制得所述石英坩埚。