一种带有内部水冷单晶炉用涂层热屏的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及单晶炉热屏装置领域，尤其涉及一种带有内部水冷单晶炉用涂层热屏。
【背景技术】
[0002]目前，随着科学技术的发展，单晶炉热屏的应用越来越多，现有的单晶炉热屏主要有内热屏、外热屏和中间的保温层构成，这样有利于单晶硅棒热量的释放，提高其生长效率，但是传统的炉热屏不能主动散热，使单晶硅的成长处于非常被动的状态。
【发明内容】
[0003]为了克服上述现有技术的缺陷，本发明的目的是提供一种带有内部水冷单晶炉用涂层热屏。
[0004]本发明是采取以下技术方案来实现的:一种带有内部水冷单晶炉用涂层热屏，它包括外热屏、内热屏和保温层，所述外热屏、内热屏和保温层以炉热屏中心轴为中心均匀设置；所述炉热屏由外向内设有外热屏、保温层和内热屏；所述内热屏的中心位置设有冷却管道；所述冷却管道贯穿整个保温层且在炉热屏的顶端两侧位置分别设有冷却水管入口和冷却水管出口；所述内热屏和外热屏均采用静压石墨制成；所述单晶炉用涂层热屏的保温层材料为石墨软毡。
[0005]综上所述本发明具有以下有益效果:本发明单晶炉用涂层热屏具有操作简单、使用方便和控温效果好等优点，所设置的冷却水管能有效的加大晶体的散热，提高晶体的生长速度；所述的保温层能进一步降低开炉功耗，节省了成本。
【附图说明】
[0006]图1为本发明结构示意图；
其中:1、内热屏层；2、外热屏层；3、内衬保温层；4、冷却水管道；5、冷却水管入口 ；6、冷却水管出口。
【具体实施方式】
[0007]如图1所示，一种带有内部水冷单晶炉用涂层热屏，它包括外热屏、内热屏和保温层，所述外热屏、内热屏和保温层以炉热屏中心轴为中心均匀设置；所述炉热屏由外向内设有外热屏、保温层和内热屏；所述内热屏的中心位置设有冷却管道；所述冷却管道贯穿整个保温层且在炉热屏的顶端两侧位置分别设有冷却水管入口和冷却水管出口 ；所述内热屏和外热屏均采用静压石墨制成；所述单晶炉用涂层热屏的保温层材料为石墨软毡。
[0008]以上所述是本发明实施例，故凡依本发明申请范围所述的构造、特征及原理所做的等效变化或修饰，均包括于本发明专利申请范围内。
【主权项】
1.一种带有内部水冷单晶炉用涂层热屏，它包括外热屏、内热屏和保温层，其特征在于:所述外热屏、内热屏和保温层以炉热屏中心轴为中心均匀设置；所述炉热屏由外向内设有外热屏、保温层和内热屏；所述内热屏的中心位置设有冷却管道；所述冷却管道贯穿整个保温层且在炉热屏的顶端两侧位置分别设有冷却水管入口和冷却水管出口。2.根据权利要求1所述的一种带有内部水冷单晶炉用涂层热屏，其特征在于:所述内热屏和外热屏均采用静压石墨制成。3.根据权利要求1所述的一种带有内部水冷单晶炉用涂层热屏，其特征在于:所述单晶炉用涂层热屏的保温层材料为石墨软毡。
【专利摘要】本发明公开了一种带有内部水冷单晶炉用涂层热屏，它包括外热屏、内热屏和保温层。所述外热屏、内热屏和保温层以炉热屏中心轴为中心均匀设置；所述炉热屏由外向内设有外热屏、保温层和内热屏；所述内热屏的中心位置设有冷却管道；所述冷却管道贯穿整个保温层且在炉热屏的顶端两侧位置分别设有冷却水管入口和冷却水管出口。本发明单晶炉用涂层热屏具有操作简单、使用方便和控温效果好等优点。
【IPC分类】C30B15/14
【公开号】CN105316759
【申请号】CN201410311347
【发明人】徐建
【申请人】安徽旭特电子科技有限公司
【公开日】2016年2月10日
【申请日】2014年7月2日