片玻璃成为所需的厚度，且不产生内部应力的方式，进而以不产生翘曲的方式冷却。
[0053]在切断步骤(ST7)中，将缓冷后的片玻璃切断成特定的长度，由此获得板状的玻璃基板。将经切断的玻璃基板进而切断成特定的尺寸而制作目标尺寸的玻璃基板。
[0054]图2是进行本实施方式的熔解步骤(STl)?切断步骤(ST7)的玻璃基板的制造装置的概略图。如图2所示，玻璃基板的制造装置主要具有熔解装置100、成形装置200、及切断装置300。熔解装置100具有熔解槽101、澄清管102、搅拌槽103、移送管104、105、及玻璃供给管106。
[0055]在图2所示的熔解槽101中设置有未图示的燃烧器等加热器件。向熔解槽中投入添加有澄清剂的玻璃原料而进行熔解步骤(ST1)。在熔解槽101中熔融的熔融玻璃经由移送管104而供给至澄清管102。
[0056]在澄清管102中，调整熔融玻璃MG的温度而利用澄清剂的氧化还原反应来进行熔融玻璃的澄清步骤(ST2)。澄清后的熔融玻璃经由移送管105而供给至搅拌槽103。
[0057]在搅拌槽103中，利用搅拌棒110搅拌熔融玻璃而进行均质化步骤(ST3)。将在搅拌槽103中得以均质化的熔融玻璃经由玻璃供给管106而供给至成形装置200(供给步骤ST4)。
[0058]在成形装置200中，利用溢流下拉法而自熔融玻璃成形片玻璃SG(成形步骤ST5)，且进行缓冷(缓冷步骤ST6)。
[0059]在切断装置300中，形成自片玻璃SG切下的板状的玻璃基板(切断步骤ST7)。
[0060](成形装置)
[0061]其次，对本实施方式的成形装置200进行说明。图3是表示成形装置200的概略图，图4是图3的IV-1V箭视视图。
[0062]成形装置200的炉壁是由形成有氧化被膜的SiC构件、耐火砖、耐火隔热砖、纤维系隔热材料等耐火物、及不锈钢等金属的组合而形成。如图3、图4所示，成形装置200的内部空间划分为成形炉201、及成形炉201下部的缓冷炉202。在成形炉201中进行成形步骤(ST5)，且在缓冷炉202中进行缓冷步骤(ST6)。
[0063]成形炉201通过环境分隔构件260(0)划分为上部成形炉201A与下部成形炉201B。
[0064]在上部成形炉201A中设置有成形体210及多个冷却材220。
[0065]对成形体210通过图2所示的玻璃供给管106而自熔解装置100供给熔融玻璃。
[0066]成形体210是由耐火砖等构成的细长的构造体，如图4所示剖面形成楔形状。在成形体210的上部设置有成为引导熔融玻璃MG的流路的槽212。槽212与第3配管106连接，通过第3配管106流动而来的熔融玻璃MG沿槽212流动。槽212的深度越靠近熔融玻璃MG的玻璃流的下游则变得越浅，因此在槽212中流动的熔融玻璃MG慢慢自槽212溢出，并沿成形体210的两侧的侧壁流下，在成形体210的下方端部213合流、融合并向铅垂下方流下。由此，在成形装置200内形成自成形体210朝铅垂下方的片玻璃SG。
[0067]此外，成形体210的下方端部213的正下方的片玻璃SG的温度是相当于105.7?107.5泊(poise)的粘度的温度，例如为1000?1130°C。
[0068]如图3及图4所示，多个冷却材220设置在成形体210下部的与熔融玻璃MG合流而形成片玻璃SG的部分相同高度的位置。各冷却材220是在与片玻璃SG的宽度方向垂直的方向上延伸的棒状的构件，且并列配置在片玻璃SG的宽度方向上。各冷却材220以可通过利用未图示的移动机构在与片玻璃SG的宽度方向垂直的方向移动而调整与片玻璃SG的距离的方式，安装在上部成形炉201A的壁面。
[0069]冷却材220通过屏蔽来自设置在上部成形炉201A内的未图示的加热器的辐射热而局部地抑制片玻璃SG的加热量。此外，来自片玻璃SG的辐射热被冷却材220吸收，由此促进片玻璃SG的局部冷却。
[0070]构成与冷却材220相同高度的位置上的片玻璃SG的玻璃的粘度优选处于105.7?ΙΟ7.5泊的范围。
[0071]另外，冷却材220可仅设置在片玻璃SG的一面侧，也可设置在两侧。
[0072]冷却材220包含耐热性、耐侵蚀性优异、且热导率高于上部成形炉201Α内的环境的材料(例如耐火砖、氧化铝、铂或铂合金等耐火物)。可通过调整冷却材220与片玻璃SG的距离而局部地促进来自片玻璃SG的宽度方向的任意位置的散热。
[0073]各冷却材220的形状、位置及冷却材220的数量可根据通过下述的检测装置290检测出的凹部及凸部的位置、凹部的自基准面的凹下量、及凸部的自基准面的突出量而适当变更。
[0074]此处，“基准面”是指在通过后述的光学式的表面检查装置测量片玻璃SG的板厚偏差时，以板厚偏差成为特定基准值的范围内的平坦区域为基准的面。以平坦区域为基准的面例如既可为平坦区域的平均面，也可为穿过平坦区域上的突出量为基准值以下的凸部或凹陷量为基准值以下的凹部且与平均面平行的面。
[0075]另外，“基准值”是指根据对玻璃板要求的规格而任意决定的值。基准值可设为例如0.06μηι。
[0076]环境分隔构件260(0)设置在成形体210的下方端部213的下方附近，将成形炉201的内部空间划分为上部成形炉201Α与下部成形炉201Β。环境分隔构件260(0)是一对板状的隔热材料，以自厚度方向(图中X方向)的两侧隔着片玻璃SG的方式设置在片玻璃SG的厚度方向的两侧。在片玻璃SG与环境分隔构件260(0)之间，以不使环境分隔构件260(0)与片玻璃SG接触的程度设置有间隙。环境分隔构件260(0)将成形装置200的内部空间分隔开，由此阻断环境分隔构件260(0)的上方的成形炉201与下方的缓冷炉202之间的热移动。
[0077]在下部成形炉201Β中设置有一对冷却辊230与冷却装置240。
[0078]冷却辊230及冷却装置240设置在环境分隔构件260(0)的下方。
[0079]如图3、图4所示，一对冷却辊230以自厚度方向的两侧隔着片玻璃SG的方式设置在片玻璃SG的厚度方向的两侧。冷却辊230对片玻璃SG的宽度方向两端部以降低至相当于约109.*3泊以上的粘度的温度(例如900°C)以下的方式进行冷却。冷却辊230为中空，通过对内部供给冷却介质(例如空气等)而急冷。冷却辊230的直径小于下述的搬送构件2501、
2502.....250η，向炉内的插入长度也较短，此外进行急冷，因此产生变形(偏芯)的担心较少。
[0080]冷却装置240包含多个冷却单元(端部冷却单元241及中央冷却单元242)，对片玻璃SG进行冷却。
[0081]端部冷却单元241对片玻璃SG的宽度方向两端部以降低至相当于1014.5泊以上的粘度的温度的方式进行冷却。
[0082]如图4所示，中央冷却单元242具备例如空冷管或水冷管等冷却管244，将片玻璃SG的宽度方向的中央部自高于软化点的温度冷却至缓冷点附近为止。此处，所谓片玻璃SG的中央部是指除在片玻璃成形后切断的对象以外的区域，且是以使片玻璃SG的板厚成为均匀的方式制造的区域。
[0083]中央冷却单元242将自成形体210的下端213离开的片玻璃SG急冷至软化点附近为止，其后，将片玻璃SG自软化点附近缓慢地冷却至缓冷点附近为止。例如，中央冷却单元242在流动方向上划分为多个，对片玻璃SG的流动方向的冷却速度进行调整。
[0084]本实施方式中，如图3、图4所示，在片玻璃SG的宽度方向的任意位置上，在片玻璃SG与冷却管244之间配置有保温材243。
[0085]保温材243包含耐热性、耐侵蚀性优异、且热导率低于上部成形炉201A内的环境的材料(例如耐火隔热砖、纤维系隔热材料等隔热材料)。通过将保温材243设置在片玻璃SG的宽度方向的任意位置上，可局部地抑制片玻璃SG的自宽度方向的任意位置的散热。
[0086]构成与保温材243相同高度的位置上的片玻璃SG的玻璃的粘度优选处于10