密封用树脂组合物和半导体装置的制作方法

文档序号:12284720阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种密封用树脂组合物,其用于将半导体元件和与所述半导体元件连接并且以Cu为主成分的接合线密封,其特征在于,含有:

环氧树脂;和

固化剂,

且在以下的条件1下测定的pH(1)与在以下的条件2下测定的pH(2)之差(pH(1)-pH(2))为1.1以下,

条件1:将使所述密封用树脂组合物在175℃、4小时的条件下热固化而得到的固化物粉碎,得到粉碎物;接着,将刚粉碎后的所述粉碎物5g放入纯水50ml中后,在125℃、20小时的条件下对该纯水进行热水提取处理,测定所得到的提取液的pH(pH(1)),

条件2:将使所述密封用树脂组合物在175℃、4小时的条件下热固化而得到的固化物粉碎,得到粉碎物;接着,将所述粉碎物在175℃保管500小时;接着,将保管后的所述粉碎物5g放入纯水50ml中后,在125℃、20小时的条件下对该纯水进行热水提取处理,测定所得到的提取液的pH(pH(2))。

2.根据权利要求1所述的密封用树脂组合物,其特征在于:

pH(1)为5以上7以下。

3.根据权利要求1或2所述的密封用树脂组合物,其特征在于:

还含有离子捕捉剂。

4.根据权利要求3所述的密封用树脂组合物,其特征在于:

相对于所述密封用树脂组合物的固态成分整体,所述离子捕捉剂的含量为0.05质量%以上1质量%以下。

5.一种半导体装置,其特征在于,具备:

半导体元件;

接合线,其与所述半导体元件连接并且以Cu为主成分;和

密封树脂,其由权利要求1至4中任一项所述的密封用树脂组合物的固化物构成,并且将所述半导体元件与所述接合线密封。

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