酰亚胺系树脂膜制造系统及酰亚胺系树脂膜制造方法与流程

文档序号:11141306阅读:来源:国知局

技术特征:

1.酰亚胺系树脂膜制造系统,其为制造多孔性酰亚胺系树脂膜的制造系统,所述制造系统具备下述单元:

膜形成单元,所述膜形成单元从包含聚酰胺酸、聚酰亚胺、聚酰胺酰亚胺或聚酰胺、及微粒的膜中将所述微粒除去,从而形成所述多孔性酰亚胺系树脂膜;和

化学浸蚀单元,所述化学浸蚀单元将所述酰亚胺系树脂膜的一部分溶解。

2.如权利要求1所述的酰亚胺系树脂膜制造系统,其中,所述化学浸蚀单元具备:

储存部,所述储存部对浸蚀液进行储存;和

膜输送部,所述膜输送部使所述酰亚胺系树脂膜浸渍于所述储存部内的浸蚀液中。

3.如权利要求1或2所述的酰亚胺系树脂膜制造系统,其中,所述酰亚胺系树脂膜是以带状形成的,所述化学浸蚀单元将从所述膜形成单元中送出的所述酰亚胺系树脂膜依次引入。

4.如权利要求1~3中任一项所述的酰亚胺系树脂膜制造系统,其具备卷绕部,所述卷绕部将从所述化学浸蚀单元中排出的所述带状的酰亚胺系树脂膜进行卷绕。

5.如权利要求1~4中任一项所述的酰亚胺系树脂膜制造系统,其中,所述膜形成单元包含下述单元:

涂布单元,所述涂布单元将包含聚酰胺酸、聚酰亚胺、聚酰胺酰亚胺或聚酰胺、及微粒的液体涂布于基材而形成未烧成膜;

烧成单元,所述烧成单元对在所述涂布单元内或所述涂布单元外从所述基材剥离的所述未烧成膜进行烧成,从而形成包含所述微粒的烧成膜;和

除去单元,所述除去单元将所述微粒从所述烧成膜中除去,从而形成多孔性的所述酰亚胺系树脂膜,

所述化学浸蚀单元与所述除去单元连接。

6.酰亚胺系树脂膜制造方法,其为制造多孔性酰亚胺系树脂膜的制造方法,所述方法包括下述工序:

从包含聚酰胺酸、聚酰亚胺、聚酰胺酰亚胺或聚酰胺、及微粒的膜中将所述微粒除去,从而形成所述多孔性酰亚胺系树脂膜的工序;和

进行化学浸蚀处理的工序,所述化学浸蚀处理将所述酰亚胺系树脂膜的一部分溶解。

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