专利名称：涂布装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及涂布装置，使设有供给涂布液的狭缝状排出口的涂布用涂布头相对 于被涂布体相对移动，将涂布液从所述排出口供给到被涂布体的表面，尤其，其特 征在于，即使在使用高粘度的涂布液的场合，也可将这种高粘度的涂布液较薄地且 平滑而均匀地涂布在被涂布体的表面上。
背景技术：
以往，在制造等离子显示板、有机电致发光显示板、液晶显示板等时，在玻璃 基板、树脂薄膜、金属箔等各种被涂布体的表面上利用涂布装置涂布各种涂布液。
作为这种涂布装置，例如，如图l所示使用如下结构将前端设有狭缝状 排出口 11的涂布用涂布头IO置于离板状的被涂布体1表面隔有规定间隔的间 隙Gp的位置， 一边使该涂布用涂布头IO相对于所述被涂布体1进行移动，一 边将涂布液2从该涂布用涂布头10的狭缝状排出口 11供给到所述被涂布体1 的表面，将涂布液2涂布在被涂布体1的表面上。
近年来，研究了如下一种情况当像上述那样将涂布液2涂布在被涂布体 1的表面上时，为降低涂布液2等的成本而减少涂布液2中所含有的溶剂量， 并减薄涂布在被涂布体1表面上的涂布液2的厚度。
这里，如上所述，当减少涂布液2中所含有的溶剂量时，该涂布液2的粘 度就高，这样，当为了将如此高粘度的涂布液2像上述那样较薄地涂布在被涂 布体1的表面上而提高涂布用涂布头10的移动速度时，供给到被涂布体1表 面上的涂布液2就会被涂布用涂布头10拉伸，由此产生涂布不均或发生断液 的问题。
另外，为抑制上述那种涂布不均和断液的情况，在减小涂布用涂布头10与 被涂布体l表面之间的间隙Gp的场合，如图2所示，从排出口 ll供给到被涂 布体1表面上的涂布液2就会回流到涂布用涂布头10的移动方向相反侧的部 分，以此形态涂布在被涂布体1表面上，存在涂布在被涂布体1表面上的涂布 液2的表面就会产生凹凸的问题。
近年来，还提出了如下的方案当将涂布液从上述那样的涂布用涂布头涂布在由架设在支承辊上进行移动的条板所构成的被涂布体上时，如日本专利公
报2003 — 236434号公报所揭示的那样，相对于所述涂布用涂布头在由条板构 成的被涂布体的移动方向上游侧设置减压室，利用该减压室使涂布液从涂布用 涂布头供给到被涂布体上的上游侧部分成为减压状态，控制供给到被涂布体上 的涂布液的圆形部分(日文匕一，部分)，抑制涂布不均的发生等。
但是，如图3所示，在涂布用涂布头10的移动方向下游侧设置减压室3， 通过调整阀3a利用减压泵3b将该减压室3内减压到规定压力，当将涂布液2 从涂布用涂布头IO供给到被涂布体1表面上的下游侧部分成为减压状态时， 若该减压室3的下端与被涂布体1的表面之间的间隙的间隔s变大，则外部大 气通过该间隙而进入减压室3内，就不可能适当地将涂布液2供给到被涂布体 1表面的下游侧部分予以减压，尤其像上述那样在将高粘度的涂布液2较薄地 涂布在被涂布体1表面上的场合，仍然有发生涂布不均等问题。
另一方面，在为抑制外部大气通过减压室3的下端与被涂布体1的表面之 间的间隙进入减压室3内而将该间隙的间隔s做得非常小的场合，有如下问题 因涂布用涂布头10移动时的振动或被涂布体1的表面凹凸等而使该减压室3 的下端与被涂布体1的表面接触，会损伤被涂布体1的表面。
发明内容
本发明目的在于提供如下一种涂布装置以解决上述那样的问题，使前端设 有供给涂布液的狭缝状排出口的涂布用涂布头相对于被涂布体相对移动，将涂 布液从所述排出口供给到被涂布体的表面。
艮P，在本发明中，其目的是即使在使用了高粘度的涂布液的场合，也能将 这种高粘度的涂布液较薄地且平滑而均匀地涂布在被涂布体的表面上。
为解决上述那样的问题，本发明的涂布装置，使前端设有供给涂布液的狭 缝状排出口的涂布用涂布头相对于被涂布体相对移动，将涂布液从所述排出口 供给到被涂布体的表面，在将涂布液从所述排出口供给到被涂布体的位置附近 设置有使气体喷出到涂布用涂布头的移动方向下游侧部分的气体喷出装置，使 气体从该气体喷出装置倾斜地喷出到涂布用涂布头的移动方向下游侧。
这里，为了利用所述气体喷出装置而在供给涂布液的位置附近使气体稳定 地喷出到涂布用涂布头的移动方向下游侧部分，最好将该气体喷出装置安装在 所述涂布用涂布头上。
另外，在所述涂布装置中，最好将所述气体喷出装置的气体喷出口形成为 沿所述狭缝状排出口的全长连续的狭缝状。
在如上所述使气体从气体喷出装置倾斜地向涂布用涂布头的移动方向下游
侧喷出时，最好相对垂直于所述被涂布体的方向以10。 70。的范围将气体倾斜
地喷出到涂布用涂布头的移动方向下游侧，以20。 40。的范围将气体倾斜喷出 则更好。
在本发明的涂布装置中，当如上所述一边使涂布用涂布头相对于被涂布体 相对移动一边将涂布液从设在涂布用涂布头前端上的狭缝状排出口供给到被 涂布体的表面时，由于在供给涂布液的位置附近的涂布用涂布头的移动方向下 游侧部分，使气体从气体喷出装置倾斜地喷出到涂布用涂布头的移动方向下游 侧，因此，在供给涂布液的位置附近，涂布用涂布头的移动方向下游侧部分的 空气由所述气体吸引而成为减压状态。由此，可适当地控制供给到被涂布体上 的涂布液的圆形部分，且即使被涂布体的表面存在尘埃等，该尘埃等也可因所 述气体而从被涂布体的表面上除去。
其结果，能以适当的状态且均匀地将涂布液涂布在尘埃等被除去后的被涂 布体的表面上，即使在使用了高粘度的涂布液的场合，也能将这种高粘度的涂 布液较薄地且平滑而均匀地涂布在被涂布体的表面上。
另外，若将所述气体喷出装置的气体喷出口形成为沿涂布用涂布头前端的 狭缝状排出口的全长连续的狭缝状，则可利用从所述气体喷出口喷出的气体适 当地将从所述排出口供给涂布液的被涂布体表面上的尘埃等除去，并且，涂布 用涂布头的移动方向下游侧部分的空气沿涂布用涂布头的排出口的全长均匀 地被吸引而成为均匀的减压状态。
其结果，以更加均匀的状态将涂布液供给到被涂布体的表面，能更加均匀 地将涂布液涂布在被涂布体的表面上，即使在使用了高粘度的涂布液的场合， 也能将这种高粘度的涂布液较薄地且平滑而均匀地涂布在被涂布体的表面上。
另外，当如上所述使气体从气体喷出装置倾斜地向涂布用涂布头的移动方 向下游侧喷出时，若相对垂直于被涂布体的方向以10。 70。的范围将气体倾斜 地向涂布用涂布头的移动方向下游侧喷出时，在供给涂布液的位置附近，涂布 用涂布头的移动方向下游侧部分的空气由所述气体适当吸引而成为减压状态， 涂布液以适当的状态被供给到被涂布体的表面。尤其，若以20。 40。的范围使 所述气体倾斜喷出，则即使减少喷出的气体量，也可获得适当的减压状态。
本发明的目的、优点及特征通过下述的描述、附图和本发明实施例可得到 理解。
图1是表示在以往的涂布装置中将涂布液涂布在被涂布体表面上的状态的 大致说明图。图2是表示在以往的涂布装置中当减小涂布用涂布头与被涂布体的表面之 间的间隙时供给到被涂布体表面的涂布液从排出口回流到涂布用涂布头的移 动方向相反侧部分的状态的大致说明图。
图3是表示在涂布用涂布头的移动方向下游侧设置减压室的以往的涂布装 置中将涂布液涂布在被涂布体的表面上的状态的大致说明图。
图4是表示在本发明的一实施形态的涂布装置中将涂布液涂布在被涂布体 表面上的状态的大致说明图。
图5是在该实施形态的涂布装置中从设置了气体喷出装置的涂布用涂布头 的移动方向下游侧开始的大致侧视图。
图6是表示该实施形态的涂布装置中将涂布液涂布在被涂布体的表面上的 状态的放大说明图。
具体实施例方式
下面，根据附图具体说明本发明的实施形态的涂布装置。本发明的涂布装 置不限定于下面的实施形态，在不改变发明宗旨的范围内可作适当变更实施。
在本实施形态的涂布装置中，如图4所示，将前端设有狭缝状排出口 11的 涂布用涂布头10置于离板状的被涂布体l表面隔有规定间隔的间隙Gp的位置。
并且， 一边使该涂布用涂布头IO相对于所述被涂布体1相对移动， 一边从 该涂布用涂布头10的狭缝状排出口 11将涂布液2供给到所述被涂布体1的表 面，将涂布液2涂布在被涂布体1的表面上。
这里，在该实施形态的涂布装置中，如图4及图5所示，如上所述，在将 涂布液2涂布在被涂布体1的表面上时的涂布用涂布头IO的移动方向下游侧， 沿涂布用涂布头10的长度方向安装有气体喷出装置20,高压气体就会通过压 力调整阀22而从气体供给泵21供给到该气体喷出装置20。
另外，使气体喷射喷嘴23从该气体喷出装置20向从所述涂布用涂布头10 的排出口 11供给涂布液2的被涂布体1的表面侧延伸出，并将该气体喷射喷 嘴23的前端部折弯成朝向涂布用涂布头10的移动方向下游侧，在该气体喷射 喷嘴23的前端设置有狭缝状的气体喷出口 23a。并且，使高压气体从该气体喷 出口 23a倾斜地喷出到涂布用涂布头10的移动方向下游侧。该气体喷射喷嘴 23前端的狭缝状的气体喷出口 23a沿所述涂布用涂布头IO前端的狭缝状排出 口 11的全长连续形成。
并且，在该实施形态的涂布装置中，当将涂布液涂布在被涂布体1的表面 上时，如上所述， 一边使涂布用涂布头10相对于被涂布体1移动， 一边将涂 布液2从该涂布用涂布头IO的狭缝状排出口 ll供给到所述被涂布体1的表面。如此，在距离涂布液2被供给到被涂布体1的表面位置的、涂布用涂布头10
的移动方向下游侧附近，利用所述气体喷出装置20将高压气体从气体喷射喷 嘴23前端的狭缝状的气体喷出口 23a倾斜地喷出到涂布用涂布头10的移动方 向下游侧。
如此，当使高压气体从气体喷射喷嘴23前端的狭缝状的气体喷出口 23a倾 斜地向涂布用涂布头10的移动方向下游侧喷出时，存在于被涂布体1表面的 尘埃等因该高压气体而从被涂布体1的表面上除去，且如图6所示，距离供给 涂布液2位置的涂布用涂布头10的移动方向下游侧附近的空气如上所述由喷 出的高压气体吸引而成为减压状态，由此，可适当地控制供给到被涂布体1的 涂布液2的圆形部分2a。
并且，通过如此适当地控制供给到被涂布体1的涂布液2的圆形部分2a， 即使在使用了高粘度的涂布液2的场合，也可增大涂布用涂布头10前端的狭 缝状排出口 11与被涂布体1的表面之间的间隙Gp，将如此的高粘度的涂布液 2较薄地且平滑而均匀地涂布在被涂布体1的表面上。
这里，当如此将涂布液2从涂布用涂布头10前端的狭缝状排出口 11供给 到被涂布体1的表面而将涂布液2涂布在被涂布体1的表面上时，例如在将粘 度为10000cps左右的高粘度的涂布液2涂布在被涂布体1的表面上而成为10 3(Him范围内的规定膜厚d的场合，以往技术中若涂布用涂布头IO前端的狭缝 状排出口 11与被涂布体1的表面的间隙Gp变大，则会发生涂布不均或断液的 情况，而若减小所述间隙Gp，则如前述的图2所示，从排出口ll供给到被涂 布体1表面的涂布液2成为回流到涂布用涂布头10的移动方向相反侧的状态， 涂布在被涂布体1表面上的涂布液2的表面就会产生凹凸，难以将上述那样的 高粘度的涂布液2较薄地且均匀地涂布在被涂布体1的表面上。
对此，如上述的实施形态所示的涂布装置那样，当使高压气体从气体喷射 喷嘴23前端的狭缝状喷出口 23a倾斜地向涂布用涂布头IO的移动方向下游侧 喷出时，即使将涂布用涂布头IO前端的狭缝状排出口 11与被涂布体1的表面 的间隙Gp相对于规定的膜厚d设定在1.2SGp/d《2.0的范围，也不会发生涂布 不均或断液的情况，可将高粘度的涂布液2较薄地且平滑而均匀地涂布在被涂 布体1的表面上。
在上述的实施形态的涂布装置中，虽然是使涂布用涂布头IO相对于被涂布 体1移动，但也可将该涂布用涂布头10固定而使被涂布体1移动。
尽管本发明通过实施例作了描述，但本技术人员作各种改变和变化是显而 易见的。
因此，除非这种改变和变化脱离本发明范围，否则它们被解释为包含在本发明中。
权利要求
1. 一种涂布装置，使前端设有供给涂布液的狭缝状排出口的涂布用涂布头相对于被涂布体相对移动，将涂布液从所述排出口供给到被涂布体的表面，其特征在于，在将涂布液从所述排出口供给到被涂布体的位置附近设置有使气体喷出到涂布用涂布头的移动方向下游侧部分的气体喷出装置，使气体从该气体喷出装置倾斜地喷出到涂布用涂布头的移动方向下游侧。
2. 如权利要求1所述的涂布装置，其特征在于，所述气体喷出装置安装在 所述涂布用涂布头上。
3. 如权利要求1所述的涂布装置，其特征在于，所述气体喷出装置的气体 喷出口形成为沿所述狭缝状排出口的全长连续的狭缝状。
4. 如权利要求2所述的涂布装置，其特征在于，所述气体喷出装置的气体 喷出口形成为沿所述狭缝状排出口的全长连续的狭缝状。
5. 如权利要求1所述的涂布装置，其特征在于，当使气体从所述气体喷出 装置倾斜地向涂布用涂布头的移动方向下游侧喷出时，相对垂直于被涂布体的 方向以10。 70。的范围将所述气体倾斜地喷出到涂布用涂布头的移动方向下游 侧。
6. 如权利要求2所述的涂布装置，其特征在于，当使气体从所述气体喷出 装置倾斜地向涂布用涂布头的移动方向下游侧喷出时，相对垂直于被涂布体的 方向以10。 70。的范围将所述气体倾斜地喷出到涂布用涂布头的移动方向下游
7. 如权利要求3所述的涂布装置，其特征在于，当使气体从所述气体喷出 装置倾斜地向涂布用涂布头的移动方向下游侧喷出时，相对垂直于被涂布体的 方向以10。 70。的范围将所述气体倾斜地喷出到涂布用涂布头的移动方向下游 侧。
全文摘要
一种涂布装置，使涂布用涂布头(10)相对于被涂布体(1)相对移动，将涂布液(2)从设在涂布用涂布头前端上的狭缝状排出口(11)供给到被涂布体的表面，在从所述排出口将涂布液供给到被涂布体的位置附近设置有使气体喷出到涂布用涂布头的移动方向下游侧部分的气体喷出装置(20)，使气体从该气体喷出装置倾斜地喷出到涂布用涂布头的移动方向下游侧。采用本发明，当使涂布用涂布头相对于被涂布体相对移动而从设在涂布用涂布头前端上的狭缝状排出口将涂布液供给到被涂布体的表面时，即使使用了高粘度的涂布液，也可将该涂布液较薄地且平滑而均匀地涂布在被涂布体的表面上。
文档编号B05C5/02GK101204691SQ20071012804
公开日2008年6月25日 申请日期2007年6月22日 优先权日2006年12月15日
发明者泽田英之, 肥田充弘 申请人:中外炉工业株式会社