专利名称：涂布装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及将涂布液涂布在玻璃基板等的基板表面上用的涂布装置。
背景技术：
作为将涂布液涂布在基板上用的装置，例如揭示在专利文献1至4等中。 该涂布装置通过使喷嘴对吸附保持在保持台(载物台)上的规定位置上的基板的 表面扫描进行。该喷嘴的扫描是使保持在与基板表面空开微小间隙的状态的喷 嘴进行移动的动作，但在该扫描时若喷嘴与基板的间隔产生变化，就不能进行 涂布液的均匀涂布。因此，往往采用如下结构将放置基板的载物台重叠在石 台(门形载物台)上，可调整表面的高度水平，在载物台两侧配置喷嘴扫描用的 导轨。
例如，专利文献1 4揭示的装置具有图5A那样的结构。该装置的保持基 板用的吸附载物台51配置在石台52上，通过垫片56等进行吸附载物台的水 平调整。另外，为使喷嘴无摆动、无偏移地扫描，在石台52的表面两端配置2 根截面为矩形的导轨53，并具有与该导轨卡合的滑块54。在滑块54上设置喷 嘴55，通过利用未图示的驱动装置使滑块54沿导轨53移动，喷嘴55在基板 表面上进行扫描。另外，为顺利地进行滑块54与导轨53间的移动，如图5B 所示，在滑块54与导轨53相对的3个面分别设置空气轴承57。
专利文献l:日本特开2006 — 65296号公报
专利文献2:日本特开2006—167639号公报
专利文献3:日本特开2006 — 49384号公报
专利文献4:日本特开2003 — 275648号公报
但是，如此构成的涂布装置具有如下的问题。
在上述结构的装置中，由于具有2根导轨，故必须以高精度平行配置导轨， 若导轨的平行度精度低，则在滑块移动时会发生对2根导轨互相咬入或分离的 所谓振动现象。因此，必须高精度调整导轨的平行度，在制造时需要时间。另 外，为了设置导轨，必须在石台上保留敷设导轨用的空间，导致装置的大型化。
另外，必须分别准备保持基板用的载物台和石台，零件个数多。并且，当 将两者组合时，必须进行高度的水平调整以使安装位置及载物台与石台的表面
完全平行，装置装配的工时多。
此外，因装置的输送时等会发生石台与载物台间的水平偏移。因此，在以 往的装置中，在输送装置后，在安装到工厂等的设置部位后，要再次进行石台 与载物台间的水平调整，直至实际使装置工作，增加了所需的时间。
另外，载放在石台上的载物台成为重负荷而有时使石台发生挠曲。在该场 合，该变形影响到安装在石台表面上的导轨。在该状态下，在驱动喷嘴时，喷 嘴发生移动不良，容易使涂布工序不良。
发明内容
因此，本发明为解决上述问题，提供了一种可节省制造及安装工夫、可使 滑块顺利移动的小型轻量的涂布装置。
本发明为实现上述目的，提供如下结构的涂布装置。
本发明的涂布装置具有
保持玻璃基板的基板保持载物台；
喷嘴，该喷嘴比保持在所述基板保持载物台上的玻璃基板的宽度尺寸长， 且比所述基板保持载物台的宽度尺寸短；
滑块，该滑块具有在所述基板保持载物台的宽度方向并排配置的一对保持 构件，将所述喷嘴架设在所述保持构件之间并使所述喷嘴接近于所述载物台上 的玻璃基板的表面而保持成非接触的状态，且可沿所述基板保持载物台的长度 方向移动，其特征在于，
所述基板保持载物台的表面具有设在中央部的基板保持区域、设在从所述 基板保持区域的宽度方向外侧至侧缘的位置的平滑区域，
所述滑块的保持构件分别在其下端的所述基板保持载物台侧缘外侧位置具 有沿所述基板保持载物台的侧面方向延伸的卡合部，所述下端的所述基板保持 载物台侧缘内侧载放在所述平滑区域上，同时将所述卡合部沿侧面配置，从而 能不在所述基板保持载物台的宽度方向偏向地沿所述基板保持载物台的长度 方向滑动。
所述保持构件，最好在其与所述平滑区域及基板保持载物台侧面相对的2 个面上具有空气轴承。
在上述各结构中，所述平滑区域的表面最好构成为由jis (日本工业标准) B0602规定的平面度在5pm以下。
采用本发明，保持基板用的构件为基板保持载物台的基板保持区域，应安 装使滑块滑动的导向件的构件分别相当于平滑区域及侧缘。这些都由称为基板 保持载物台的l个构件构成。另外，通过在滑块的保持构件的下端设置卡合部
而构成截面为钥匙型，不偏向该基板保持载物台的侧缘地进行卡合。因此，可 减少零件个数、设置工时，并在装置输送时不会发生基板吸附载物台的水平偏 移。另外，对于以往石台的表面配置必要的导轨的区域，本发明通过利用基板 保持载物台的侧缘而可将装置小型化和轻量化。
另外，保持基板用的构件和使滑块滑动用的导向件，作为基板保持载物台 而构成一体型，不需要进行以往装置所需要的石台与载物台间的水平调整。这样，可获得平面精度高的载物台。
此外，基板保持载物台的上表面配置滑块和喷嘴，由于载放在上表面的构 件是轻量的，故可将负荷引起的挠曲量抑制得较小。这样，难以发生因挠曲所 造成的移动不良，可进行稳定的涂布。
另外，以往是使用2根导轨，但本发明通过作成像用l根导轨构成的形状， 从而消除了为不发生振动现象而调整2根导轨平行度的时间和发生这种现象之 虞。
本发明的这些效果和其它目的及特征，从附图及有关较佳实施形态的如下 描述可知。
图1是表示本发明的实施形态的涂布装置的基板保持时的结构的立体图。
图2是表示图1的涂布装置的基板保持载物台与滑块的位置关系的大致结构图。
图3是表示图1的涂布装置的基板保持载物台的结构的立体图。
图4是图1的涂布装置的保持构件的部分放大立体图。
图5A是表示以往的涂布装置的结构的大致结构图。
图5B是图5A的部分放大图。
具体实施例方式
在继续描述本发明前，在附图中对相同零件标上相同参照符号。下面，根 据
本发明的一实施形态的涂布装置。
图1是表示本发明的实施形态的涂布装置的结构的立体图，表示玻璃基板 载放在载物台上的状态。本实施形态的涂布装置1具有对玻璃基板(下面简称为 基板)100进行保持的基板保持载物台2和沿该基板保持载物台2的长度方向可 滑动的滑块3。
基板保持载物台2具有用于涂布涂布液且比基板100面积大的上表面6， 其宽度方向相对的侧缘10a成为平行，由此构成长方体形状的构件。本实施形
态的基板保持载物台2是对花岗石进行研磨作成的。基板保持载物台2如图3 所示，其上表面6具有设在中央部分的基板保持区域11和在从基板保持区域 的宽度方向外侧至侧缘10a的区域设置的平滑区域10。
基板保持区域11是用于保持基板100的区域，通过从设在表面的吸引孔 lla(参照图3)进行真空吸附而牢牢地保持基板100。基板保持区域11的宽度方 向尺寸B做得比成为处理对象的基板的宽度方向还大。对基板保持区域11也 可构成为将多个基板并排配置。
平滑区域10是基板保持区域的外侧区域，其宽度尺寸A最好约是100 500mm左右。在本实施形态中是300mm。若将基板保持区域的尺寸做得太大， 则基板保持载物台2的尺寸变大而使装置平白无故的大型化。而若做得太小， 则难以顺利进行后述的滑块3的移动。对平滑区域10作平滑研磨以使得比基 板保持区域11还要平滑。平滑区域的平滑程度最好是基于JIS B0602的平面度 为5|im以下。
在基板保持载物台2上设置未图示的起动加注装置(7°，< $ y夕"手段)。 起动加注装置的用途是，例如在涂布动作后，擦去残留在喷嘴5的排出口处的 多余的涂布液，均匀地将排出口清洁化。起动加注装置由以向喷嘴5的延伸方 向延伸的轴为中心进行旋转驱动的滚轮等构成，使喷嘴5的排出口与该滚轮的 表面接触，进行喷嘴5的清洁化。最好在基板保持载物台2的表面设置凹部， 起动加注装置搭载在该凹部内。
滑块3具有在基板保持载物台2的宽度方向并排配置的一对保持构件4和 架设在保持构件间的喷嘴5。喷嘴5是线状的喷嘴，其可向上下方向移动，根 据所使用的基板的厚度尺寸等可调整其位置，如图2所示，构成为比处理对象 即基板100的宽度尺寸长且比基板保持载物台2的宽度尺寸短，并可在其延伸 方向均匀排出涂布液。该喷嘴5根据不同的涂布液种类与基板100空开80至 150(im左右的极小间隙，通过一边排出涂布液一边在基板IOO上扫描，从而将 涂布液涂布在基板100的表面上。此时，若喷嘴5与基板100的间隔产生变化， 涂布液的涂膜发生厚度不均，故尽量确保平行度地沿基板IOO的表面扫描，这 是这些涂布装置的一般要求。
滑块3的保持构件4载放在基板保持载物台2的上表面6上。各自的保持 构件4的下端，在基板保持载物台侧缘外侧位置沿基板保持载物台2的侧面设 置卡合部13。该保持构件4的下端部分，由该卡合部13和保持构件4的下表 面形成截面为钥匙型的形状。
保持构件4配置成其下端的钥匙型形状与基板保持载物台2的周缘形状对 应。即，保持构件4的下端部位于基板保持载物台2的平滑区域10的上侧，.卡合部13沿基板保持载物台2的侧面配置。如此，通过将滑块3设在基板保
持载物台2上，滑块3通过互相夹住基板保持载物台2构成为对称的卡合部13 而与侧缘10a卡合，防止滑块3在基板保持载物台2的宽度方向偏位。
另外，为了顺利进行后述的滑块的移动，如图4所示，在保持构件4的与 基板保持载物台2相对的载物台相对面14上设置空气轴承7。空气轴承7，通 过将从未图示的高压空气缘供给的高压空气排出，使互相相对配置的面稍许隔 开，减小它们之间产生的摩擦力，容易向沿着该相对面的方向滑动。即，可顺 利地进行滑块3相对基板保持载物台2的移动。
滑块3与基板保持载物台2由于配置成在夹住侧缘10a的2个面相对，故 设置空气轴承7的面即载物台相对面14为2个面。这样，与用截面为矩形的 导轨使滑块移动的场合相比，可减少空气轴承的设置个数。
为赋予使滑块3向基板保持载物台2的长度方向滑动的推力，在滑块3或 基板保持载物台2的任一方上设置未图示的驱动装置。
上述结构的涂布装置，由于构成为将滑块3直接安装在保持基板的基板保 持载物台2上，故可使装置的结构简单，另外，可实现装置的小型化及轻量化。 载放滑块3的基板保持载物台2的上表面6其侧缘10a的近旁部分是被平滑处 理的平滑区域IO，在使滑块3滑动的场合，不会向基板100的厚度方向发生偏 移。
另外，通过将载放基板的面与滑块的滑动面配置在同一平面上，喷嘴5与 基板100的间隔可由基板100的厚度尺寸唯一地决定。艮P，若决定了基板100 的厚度尺寸，则滑块与基板的厚度的水平整体只要调整喷嘴高度即可，保持基 板的构件即基板保持载物台2的调整完全不需要。
另外，在具有对滑块进行导向的面即平滑区域10的基板保持载物台2上由 于不载放用于载放基板的构件，故在输送时不发生偏移，且由于不载放重量大 的构件，故还可抑制基板保持载物台2的挠曲，难以产生滑块移动不良。
另外，以往技术中导轨是2根，而本发明由于是像用1根导轨构成的形状， 故不需要调整2根导轨平行度的时间。
如以上说明那样，采用本实施形态的涂布装置，可节省制造及安装的工时， 并可顺利地使滑块移动，可作成小型、轻量。
本发明不限定于上述实施形态，可用其它各种形态实施。
本发明参照附图对较佳实施形态进行了充分描述，对于该技术熟练的人们 来说是明白各种变形和修改的。这种变形和修改，只要不脱离所附的权利要求 书的本发明范围，应被理解为包含在其中。
工业上的实用性
本发明的涂布装置，例如在将涂布液涂布在液晶显示器所用的玻璃基板表 面上的场合等中能较好地使用。
权利要求
1.一种涂布装置，具有保持玻璃基板的基板保持载物台；喷嘴，该喷嘴比保持在所述基板保持载物台上的玻璃基板的宽度尺寸长，且比所述基板保持载物台的宽度尺寸短；以及滑块，该滑块具有在所述基板保持载物台的宽度方向上并排配置的一对保持构件，将所述喷嘴架设在所述保持构件之间并使所述喷嘴接近于所述载物台上的玻璃基板的表面而保持成非接触的状态，且可沿所述基板保持载物台的长度方向移动，其特征在于，所述基板保持载物台的表面具有设在中央部的基板保持区域、以及设在从所述基板保持区域的宽度方向外侧至侧缘的位置的平滑区域，所述滑块的保持构件，分别在其下端的所述基板保持载物台侧缘外侧位置具有向所述基板保持载物台的侧面方向延伸的卡合部，所述下端的所述基板保持载物台侧缘内侧载放在所述平滑区域，且将所述卡合部沿侧面配置，从而能不在所述基板保持载物台的宽度方向上偏向地沿所述基板保持载物台的长度方向滑动。
2. 如权利要求1所述的涂布装置，其特征在于，所述保持构件在其与所述 平滑区域及基板保持载物台侧面相对的2个面上具有空气轴承。
3. 如权利要求1所述的涂布装置，其特征在于，所述平滑区域的表面构成 为由JIS B0602规定的平面度在5|iim以下。
全文摘要
一种涂布装置(1)，具有基板保持载物台(2)和在基板保持载物台的宽度方向并排配置并具有保持喷嘴(5)的一对保持构件(4)的滑块(3)，所述基板保持载物台(2)的上表面(6)具有设在中央部的基板保持区域(11)和设在从所述基板保持区域(11)的宽度方向外侧至侧缘(10a)的位置的平滑区域(10)。保持构件(4)分别在其下端的所述基板保持载物台侧缘外侧位置形成沿所述基板保持载物台的侧面方向延伸的卡合部(13)，所述下端的所述基板保持载物台侧缘内侧载放在所述平滑区域(10)上，并沿侧面配置所述卡合部，因而可防止滑块(3)向所述基板保持载物台(2)的宽度方向偏移。采用本发明，可节省制造及安装的时间，消除喷嘴与基板的间隔窜动，可消除导轨的调整。
文档编号B05C5/02GK101204692SQ20071019980
公开日2008年6月25日 申请日期2007年12月5日 优先权日2006年12月15日
发明者横山雅树, 甲田正纪 申请人:中外炉工业株式会社