专利名称：一种排气装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种排气装置，具体涉及一种半导体业光阻喷涂机台自动排气装置。
背景技术：
半导体业内光阻喷涂机台在更换光阻瓶后往往管路中会有空气进入，为了保证光阻喷涂机台的正常工作，因此需将光阻瓶内的空气有效地清除。传统的排除半导体业内光阻喷涂机台内气泡的方法是手动启闭管路上对应的阀组清除光阻管内的气体；传统的排气方式虽然可以完成排气泡的动作，但由于是人工操作， 往往存在着可靠度低、无法彻底的清除光阻瓶内的气体，影响光阻瓶的性能，且排气速度较慢，对光阻浪费严重等弊端，导致工作效率低下，成本增加等问题。因此，一种排气效率较高，较彻底的排气装置亟待出现。
实用新型内容为解决现有的排气装置由于是人工操作导致排气不彻底，影响光阻瓶的工作性能，且排气速度较慢，对光阻浪费严重，工作效率低下，成本较高等问题，本实用新型公开了一种排气装置，以达到自动启闭阀门进行排气，提高排气速度，排气彻底，减少对光阻的浪费，提高工作效率，减少排气成本的目的。本实用新型的技术方案如下—种排气装置，应用于设有光阻瓶的半导体业光组喷涂机上，所述排气装置包括分别与所述光阻瓶相连通的进气管与出气管，所述出气管深入所述光阻瓶的底部，所述进气管高出所述出气管设置，所述进气管上还设置有进气阀；还包括控制所述进气阀启闭的控制装置；所述控制装置包括pic控制器、与所述进气阀电连接的电磁阀组、以及设置于所述出气管上的用于检测所述出气管内气体的传感器，所述传感器、电磁阀组分别与所述PlC 控制器电连接。优选的，所述出气管尾端还连接有液气分离装置，所述液气分离装置上还连接有排气管，所述排气管高出所述出气管设置。优选的，所述排气管上设置有排气阀，所述排气阀与所述电磁阀组电连接。优选的，所述排气管的尾端还设置有气体消音器。优选的，所述液气分离装置的尾端还设置有排水管。优选的，所述控制装置还包括报警装置。优选的，所述报警装置为声光报警器或蜂鸣报警器。本实用新型公开的排气装置，应用于设有光阻瓶的半导体业光组喷涂机上，所述排气装置包括分别与所述光阻瓶相连通的进气管与出气管，所述出气管深入所述光阻瓶的底部，所述进气管高出所述出气管设置，所述进气管上还设置有进气阀；还包括控制所述进气阀启闭的控制装置，所述控制装置包括Plc控制器、与所述进气阀电连接的电磁阀组、以及设置于所述出气管上的用于检测所述出气管内气体的传感器。通过传感器检测出气管内是否存在气泡，并将信号传递给Plc控制器，Plc控制器通过控制电磁阀组对进气阀进行通断，保证光阻瓶中的气体能够彻底的排出，且排气速度较快，排气效率较高，减少光阻的浪费，成本较低。
为了更清楚地说明本实用新型实施例技术中的技术方案，下面将对实施例技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本实用新型公开的一种排气装置的结构示意图；图2为本实用新型公开的一种排气装置中控制装置的结构示意图。图中的数字或字母所代表的相应部件的名称11、光阻瓶 12、进气管13、出气管14、进气阀15、排气管16、排气阀17、
传感器18、液气分离装置19、消音器20、储气罐21、排水管22、电磁阀组。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。本实用新型公开了一种排气装置，以达到自动启闭阀门进行排气，提高排气速度， 排气彻底，减少对光阻的浪费，提高工作效率，减少排气成本的目的。如图1-3所示，一种排气装置，应用于设有光阻瓶11的半导体业光组喷涂机上，排气装置包括分别与光阻瓶11相连通的进气管12与出气管13，出气管13深入光阻瓶11的底部，进气管12高出出气管13设置，进气管12上还设置有进气阀14 ；进气管12的另一端还连接有储气罐20，储气罐20内设置有氮气。在对光阻瓶11的空气进行清除时，通过打开进气阀14，氮气通过进气管12进入光阻瓶11中，由于进气管12高出出气管13设置，氮气将光阻瓶11内的空气挤压进入出气管13排出。排气装置还包括控制进气阀14启闭的控制装置；控制装置包括pic控制器、与进气阀14电连接的电磁阀组22、以及设置于出气管13上的用于检测出气管13内气体的传感器17，传感器17、电磁阀组22分别与pic控制器电连接。传感器17用于检测出气管13内是否存在气泡，当传感器17检测出出气管13内不存在气泡时，完成对光阻瓶11的排气，进气阀14关闭，停止排气。控制装置还包括报警装置(未视出)，在传感器17检测出出气管13上无气泡一段时间后，报警装置进行报警，提醒工作人员排气工作完毕，警示装置可为声光报警器或蜂鸣报警器等，具体不做限制。传感器可为压力传感器等，可有效检测出管内气体即可，在此不做限制。[0026]出气管13尾端还连接有液气分离装置18，液气分离装置18上还连接有排气管 15，出气管13深入液气分离装置18的底部，排气管15高出出气管13设置。排气管15上设置有排气阀16，排气阀16与电磁阀组电连接，控制排气阀16的启闭。通过设置液气分离装置18，使得经光阻瓶11进入液气分离装置18中的气泡可在液气分离装置18中进行缓存，并使得气泡间挤压，使得气水进行分离，便于气泡的排除，避免由于气泡过大阻塞气管， 影响排气效率。此外液气分离装置18的内壁粗糙设计，提高气泡的分散效率。液气分离装置18的底端还连接有排水管21，气水分离后的气体通过排气管15排出，残留于液气分离装置18底部的水通过排水管21排出，排水管的一端与半导体业光组喷涂机的机台连接，对分离后的水进行重复利用。本实用新型的工作原理如下Plc控制器通过电磁阀组控制进气阀14打开，储气罐20中的氮气通过进气管12 进入光阻瓶11中，光阻瓶11中的空气不断的被进入的氮气挤压进入液气分离装置18中， 并在液气分离装置18内气泡相互挤压使气水分离，当达到设定的排气时间后，排气阀16打开，分解后的气体通过排气管15排出，水通过排水管21排出；当传感器17检测到出气管13 中不存在气泡时并持续一段时间后，排气泡动作完成，警示装置报警。此外，排气管15的尾端还设置有消音器19，有效的消除气体排出时产生的噪声， 保证工作环境的质量。本实用新型公开的排气装置，应用于设有光阻瓶的半导体业光组喷涂机上，所述排气装置包括分别与所述光阻瓶相连通的进气管与出气管，所述出气管深入所述光阻瓶的底部，所述进气管高出所述出气管设置，所述进气管上还设置有进气阀；还包括控制所述进气阀启闭的控制装置，所述控制装置包括Plc控制器、与所述进气阀电连接的电磁阀组、以及设置于所述出气管上的用于检测所述出气管内气体的传感器。通过传感器检测出气管内是否存在气体，并将信号传递给Plc控制器，Plc控制器通过控制电磁阀组对进气阀进行通断，保证光阻瓶中的气体能够彻底的排出，且排气速度较快，排气效率较高，减少光阻的浪费，成本较低。对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新型。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。
权利要求1.一种排气装置，应用于设有光阻瓶的半导体业光组喷涂机上，其特征在于，所述排气装置包括分别与所述光阻瓶相连通的进气管与出气管，所述出气管深入所述光阻瓶的底部，所述进气管高出所述出气管设置，所述进气管上还设置有进气阀；还包括控制所述进气阀启闭的控制装置；所述控制装置包括Plc控制器、与所述进气阀电连接的电磁阀组、以及设置于所述出气管上的用于检测所述出气管内气体的传感器，所述传感器、电磁阀组分别与所述Plc控制器电连接。
2.根据权利要求1所述的排气装置，其特征在于，所述出气管尾端还连接有液气分离装置，所述液气分离装置上还连接有排气管，所述排气管高出所述出气管设置。
3.根据权利要求1所述的排气装置，其特征在于，所述排气管上设置有排气阀，所述排气阀与所述电磁阀组电连接。
4.根据权利要求1所述的排气装置，其特征在于，所述排气管的尾端还设置有气体消首器。
5.根据权利要求2所述的排气装置，其特征在于，所述液气分离装置的尾端还设置有排水管。
6.根据权利要求1-5任一项所述的排气装置，其特征在于，所述控制装置还包括报警直ο
7.根据权利要求6所述的排气装置，其特征在于，所述报警装置为声光报警器或蜂鸣报警器。
专利摘要一种排气装置，应用于设有光阻瓶的半导体业光组喷涂机上，所述排气装置包括分别与所述光阻瓶相连通的进气管与出气管，所述出气管深入所述光阻瓶的底部，所述进气管高出所述出气管设置，所述进气管上还设置有进气阀；还包括控制所述进气阀启闭的控制装置；所述控制装置包括plc控制器、与所述进气阀电连接的电磁阀组、以及设置于所述出气管上的用于检测所述出气管内气体的传感器，所述传感器、电磁阀组分别与所述plc控制器电连接。通过传感器检测出气管内是否存在气体，并将信号传递给plc控制器，plc控制器通过控制电磁阀组对进气阀进行通断，保证光阻瓶中的气体能够彻底的排出，且排气速度较快，排气效率较高，减少光阻的浪费，成本较低。
文档编号B05C11/10GK202224319SQ20112032152
公开日2012年5月23日 申请日期2011年8月30日 优先权日2011年8月30日
发明者吴锦泽, 夏俊东, 张飞, 徐锦宏, 邱柏诚, 项达林 申请人:苏州卫尔弘勒科技有限公司