专利名称：：有机金属化合物的供给装置的制作方法
技术领域：
：本发明涉及通过使载气在填充有室温下为固态的有机金属化合物的容器中流动，以将有机金属化合物连同载气一起供给的装置。
背景技术：
：在化合物半导体器件的制造中，通常使用MOCVD方法(金属有机化学气相沉积方法)。在这种方法中，重要的是使室温下为固态的有机金属化合物稳定地气化以及供应该气化的有机金属化合物。过去，作为用于使在室温下为固态的有机金属化合物气化并且供应该气化的有机金属化合物的供给装置，已知的是在专利文件1中公开的供给装置。在专利文件1中公开的供给装置具有被填充有机金属化合物的容器、从容器的上部插入到容器中用于引入载气的管，以及被安置在管的下部的分散器。容器的上部配备有用于有机化合物气体和载气的出口，而容器的下部配置有与上部相比内径被降低的减小直径部分。然而，因为容器的内部填充有在室温为固态的有机金属化合物，因此仍然存在容器中的有机金属化合物和载气相互不完全接触的，并且形成让载气通过的流动通道这样的问题。因此，在容器中未被载气输送的残留有机金属化合物的比例高。因此，还没有研制出长时间地稳定供给有机金属化合物的令人满意的装置。专利文件l:日本审查专利出版物H05-10320
发明内容本发明的一个目的是提供一种在工业上适合的用于供给有机金属化合物的装置，所述装置能够长时间地稳定供给在室温为固态的有机金属化合物。本发明的目的可以通过一种用于供给有机金属化合物的装置来解3决，所述装置具有填充有在室温为固态的有机金属化合物的第一柱状容器和第二柱状容器，以及用于将第一和第二容器的内部在下端相互连接的连接构件，其中第一容器的上部装备有载气入口，而第二容器的上部装备有含有有机金属化合物的载气的出口。入口可以配备有气体进料管，所述气体进料管被安装在第一容器上，以使引入到第一容器中的载气可以碰撞第一容器的上壁表面。在这种情况下，气体进料管的尖端优选在第一容器的内部指向朝上。备选地，入口可以配备有用于分散被引入到第一容器中的载气的分散器。在这种情况下，分散器可以具有通过使载气与其碰撞而将被引入到第一容器中的载气分散的挡板、被安置在第一容器内部的多孔管、或者被安置在第一容器内部的过滤器。在本发明的用于供给有机金属化合物的装置中，优选将第一容器和第二容器设置成它们相互隔开。此外，连接构件可以具有用于连接第一容器和第二容器的连通管。在这种情况下，连通管可以由单根直管或多根直管组成。根据本发明，可以提供一种在工业上适合的用于供给有机金属化合物的装置，所述装置能够长时间地稳定供给在室温为固态的有机金属化合图1是根据本发明的第一实施方案的用于供给有机金属化合物的装置的示意性横截面图。图2是图1所示供给装置的一个变型实例的示意性横截面图。图3是图1所示供给装置的另一个变型实例的示意性横截面图。图4是根据本发明的第二实施方案的用于供给有机金属化合物的装置的示意性横截面图。图5是根据本发明的第三实施方案的用于供给有机金属化合物的装置的示意性横截面图。图6是图5所示供给装置的一个变型实例的示意性横截面图。图7是图5所示供给装置的另一个变型实例的示意性横截面图。图8是图5所示供给装置的另一个变型实例的示意性横截面图。图9是示出根据本发明的供给装置的一个具体实例的外形的正视图。图10是图9所示供给装置的后视图。图11是图9所示供给装置的右视图。图12是图9所示供给装置的左视图。图13是图9所示供给装置的平面图。图14是图9所示供给装置的仰视图。图15是显示实施例1-1的试验结果的曲线图。图16是显示实施例1-2的试验结果的曲线图。图17是在比较例1和2中使用的供给装置的示意性横截面图。图18是显示比较例1的试验结果的曲线图。图19是显示实施例2-1的试验结果的曲线图。图20是显示实施例3-1的试验结果的曲线图。附图标记的说明1,1'容器2气体进料管3气体排出管4填充口5连通管6分散器具体实施方式(第一实施方案)参考图1，说明根据本发明第一实施方案的用于供给有机金属化合物的装置。该供给装置包括相互平行隔开的两个柱状容器1,r，以及用于在容器i，r的下端将容器i,r的内部相互连接的连通管5。在一侧的容器1的上端部配备有气体进料管2，该气体进料管2构成用于将载气引入到容器i中的气体入口。在另一侧的容器r的上端部配备有气体排出管3，该气体进料管3构成用于将容器r中的气体排出到外部的气体出口。在容器l，l，的外部，气体进料管2和气体排出管3各自的中部都装备有填充口4，用于使在室温下为固态的有机金属化合物填充容器i,r的内部。填充口4被构造成它可以打开和关闭。通过打开填充口4，容器i,r的内部可以被有机金属化合物填充。容器i，r的形状可以是任意形状，只要它是柱状的即可，并且实例包括圆柱形状、三角形管形状、方形管形状、六边形管形状等。在这些形状之中，优选使用圆柱形容器i，r。两个容器i,r的形状可以彼此相同或不同。两个容器i，r的总容量不受特别限制，但是考虑到实际应用，它优选在10至5,000ml的范围内，更优选在10至3,000ml的范围内，并且特别优选在25至l,OOOml的范围内。容器1,l'的容量可以彼此相同或不同。在容器i,r的容量彼此不同的情况下，如图2中所示，其内被引入载气的容器1，即装配有气体进料管2的容器1的容量优选大于装配有气体排出管3的容器r的容量。而且，装配有气体进料管2的容器i的容量与装配有气体排出管3的容器l，的容量的比率优选为1至80，并且更优选为1至40。使载气主要在容器i,r的轴向上流入到容器i,r的内部。因此，容器1,l，的内部尺寸具有优选0.8至10.0、并且更优选为1.2至10.0的高度与直径的比率，因而在容器i,r中流动的载气可以与容器i,r中的有机金属化合物有效地接触。这是在容器i,r为圆柱形时所取的值，但是如果容器不是圆柱形状，则可以由截面面积得到等于其截面面积的区域的圆直径。通过使容器i,r的高宽比在上述范围内，可以抑制允许载气通过而不与有机金属化合物有效地接触的气体流路的形成，并且可以保持稳定所供给的有机金属化合物的量。连通管5的形状和构造不受具体限制，只要它能够连接两个容器i,r的内部使得气体可以在所述容器之间流动即可。例如，以能够在下端通过使直管弯曲而连接两个容器i,r的规定形状所形成的管，通过将多根直管连接在一起成为规定形状而形成的管，以及u形管材料等都可以被用作连通管5。出于设计连通管5的观点，连通管5优选由直管组成。连通管5的长度不受特别限制，并且可以根据两个容器i，r的尺寸和布置适当地设计。此外，连通管5的直径不受特别限制，只要连通管5在与容器i,r的连接部分中，其截面面积比容器i,r的截面面积小即可。气体进料管2和气体排出管3各自相对于容器1,l'的形状、尺寸和安装角不受特别限制，只要将气体进料管2和气体排出管3各自安置在容器i,r的上端部分即可。在本发明中使用的在室温为固态的有机金属化合物的实例包括锂化合物，如叔丁基锂等；有机铟化合物如三甲基铟、二甲基氯铟、环戊二烯基铟、三甲基铟/三甲基胂加合物、三甲基铟/三甲基膦加合物等；有机锌化合物如碘化乙基锌、乙基环戊二烯基锌、环戊二烯基锌等；有机铝化合物如甲基二氯铝、三苯基铝等；有机镓化合物如甲基二氯镓、二甲基氯镓、二甲基溴镓等；镁化合物如双(环戊二烯基)镁等；铋化合物如三苯基铋等；锰化合物如双(环戊二烯基)锰等；铁化合物如二茂铁等；钡化合物如双(乙酰丙酮根合)钡、二戊酰基甲垸根合(methanato)钡/1,10-菲咯啉加合物等；锶化合物如双(乙酰丙酮根合)锶、二戊酰基甲烷根合锶等；铜化合物如双(乙酰丙酮根合)铜、二戊酰基甲烷根合铜等；钙化合物如双(乙酰丙酮根合)钙，二戊酰基甲垸根合钙等；以及镱化合物如二戊酰基甲垸根合镱等。顺便提及，在一些情况下，除有机金属化合物以外，本发明的供给装置还可以用于没有金属的有机化合物和含有金属或没有金属的无机化合物。有机金属化合物可以负载在对有机金属化合物惰性的载体上。作为在这种情况下使用的载体的材料，可以使用例如氧化铝、二氧化硅、莫来石、玻璃化炭黑、石墨、钛酸钾、海绵钛、石英、氮化硅、氮化硼、碳化硅、不锈钢、铝、镍、钛、钨、氟树脂、玻璃等。顺便提及，这些载体可以单独使用，或者可以将两种以上的载体组合使用。而且，载体的形状不受特别限制，并且可以使用例如，各种形状如不确定形状、圆形、带角形状、球形、纤维形状、网状、弹簧形、线圈形、圆柱形等。为了有效地使负载在载体上的有机金属化合物与载气接触，载体的比表面积优选尽可能大。因此，优选使用在其表面上具有约100至约2,000pm的细小凸部和凹部的载体，以及具有许多孔(孔隙)的载体。这些载体的具体实例包括氧化铝球填料、Raschig环(由玻璃或Teflon(注册商标)制成)、7Hdi填料(由玻璃或不锈钢制成)、Dixon填料(由不锈钢制成)、Fenske(由玻璃制成)、海绵钛、无瑕疵的烧结成分、玻璃棉等。在将有机金属化合物填充到填充设备的过程中，可以使用通常实施的已知方法。例如，在惰性气体的气氛中，可以通过将有机金属化合物从填充口4直接原样倒入，而将有机金属化合物填充在容器1,r中。被引入到容器1,l'中的载气不受特别限制，只要它对被填充在容器1,r中的有机金属化合物是惰性的即可。可以使用例如，氩、氮、氦、氢等。顺便提及，这些载气可以单独使用，或者可以将两种以上的气体组合使用。该实施方案的上述供给装置是通过这样使用的在容器i，r的内部被来自填充口4的有机金属化合物填充的情形下，将气体进料管2连接到载气源上，并且将气体排出管3'例如连接到气相外延生长设备上。在将供给装置被保持在恒定温度的情形下，将载气从载气源引入到供给装置中。通过容器i—连通管5—容器r的路径，将引入的载气从气体排出管3供给到气相外延生长设备中。在容器i,r中气化的有机金属化合物伴随着这种载气的流动，由此将气化的有机金属化合物与载气一起从供给装置供给到气相外延生长设备中。根据这种实施方案的构造，因为载气可以与有机金属化合物有效地接触，并且可以用载气极好地输送气化的有机金属化合物，因此最终可以长时间地稳定供给有机金属化合物。尽管在上述实施方案中，在气体进料管2和气体排出管3各自的中部装配有填充口4，但是例如如图3中所示，除气体进料管2以外，还可以单独装配容器1的填充口4。尽管没有示出，但是除气体排出管3以外，还可以单独安置容器l'的填充口4，或者除气体进料管2和气体排出管3以外，还可以单独装配两个容器i,r的填充口4。第二实施方案图4显示了根据本法明的第二实施方案的用于供给有机金属化合物的装置。在该实施方案中，连接到容器1上的气体进料管2的形状不同于第一实施方案的形状。更具体地，使气体进料管2在容器1的内部弯曲，以使被引入到容器1中的载气可以至少碰撞容器1内部的上壁表面和侧壁表面中的上壁表面，并且喷嘴，即其尖端朝上。因为其它构造可以与第一实施方案相同，因此将省略详细描述。通过以这种方式构造气体进料管2，使得载气在从气体进料管2引入到容器1中之后，立即碰撞容器1的内部的上壁表面。使载气碰撞上壁表面，由此将引入的载气分散在整个容器1的内部，并且可以在整个容器l的内部进行载气的流动。结果，可以更稳定地供给含有有机金属化合物的载气。在图4所示的实施方案中，使气体进料管2的尖端部分弯曲，使得基本上垂直于容器1的上壁表面引入载气，但是载气进入容器1的引入角不受特别限制，只要使引入容器1中的载气至少碰撞容器1内部的上壁表面和侧壁表面中的上壁表面。而且，在图4所示的实施方案中，除构造气体进料管2以外，还单独构造容器i的填充口4，并且两个容器i，r的容量不同。然而，可以在气体进料管2的中部装配容器1的填充口4，并且两个容器1,r的容量可以相同。而且，除构造气体排出管3以外，还可以单独构造容器l'的填充口4。第三实施方案根据本发明第三实施方案的用于供给有机金属化合物的装置示出在图5至8中。在该实施方案中，供给装置装配有分散器6，用于将载气分散在其中引入有载气的容器1的内部。分散器6的结构和材料不受限制，只要分散器6被安置在容器1的内部，并且可以将引入的气体分散在容器1中即可。此外，根据容器l的形状和尺寸、被引入的载气的量、气体进料管2的尺寸等，适当地选择分散器6的尺寸。作为分散器6'，可以使用例如由烧结金属、玻璃制等成的过滤器，网状物，蜂窝状物，挡板，多孔管等。可以优选使用烧结金属制成的过滤器、挡板和多孔管，并且可以更优选使用挡板和多孔管。当使用挡板作为分散器6时，优选将挡板平行安置到容器1的上壁表面上，以将引入容器1中的载气良好地分散在容器1中。当使用多孔管作为分散器6时，优选安置多孔管使得在多孔管上形成的孔面向垂直于容器1的上壁表面的方向，以将载气引入容器l中，到达良好地分散在其中。在图5所示的供给装置中，分散器6具有在中心带凹部的被形成为锥形形状的挡板。将挡板在气体进料管2的下部平行安置到容器1的上壁表面，使得凹部面向气体进料管2的喷嘴。使从气体进料管2引入容器1中的载气可以碰撞挡板，由此在载气被引入容器1中后，立即被分散在容器1中。在图6所示的供给装置中，分散器6由通过在其周边表面形成多个孔而得到的多孔管组成，而安置多孔管使得周边表面垂直于容器1的上壁表面。据此，在多孔管中形成的孔面向垂直于容器1的上壁表面的方向。在多孔管中形成的孔的数量和尺寸不受特别限制。而且，孔的位置不受特别限制，但是优选在管的整个周边形成孔，以将载气更均匀地分散在容器l中。由多孔管组成的分散器6在气体进料管2的周边表面开有多个孔，由此它可以构成气体进料管2的一部分。备选地，由多孔管组成的分散器6可以由不同于气体进料管2的构件的多孔管组成。载气从气体进料管2经过作为多孔管的分散器6，并且从形成在其周边表面的孔分散在容器l中，并且被引入其中。在图7示出的供给装置中，分散器6具有包括平板的挡板。将挡板在气体进料管2的下部平行于容器1的上壁表面布置，使得该板面向气体进料管2。从气体进料管引入容器1中的载气可以碰撞该挡板，由此载气在被引入容器1中之后立即被分散在容器1中。在图8所示的供给装置中，分散器6具有被安装在气体进料管2的下端的过滤器。将载气通过过滤器被引入容器1中，并且被允许通过过滤器的细孔，由此将载气引入容器l中以在其中分散。在图5至8中，可以将容器1的填充口4安置在气体进料管2的中部，并且两个容器l,l，的容量可以相同。而且，除构造气体排出管3以外，还可以单独构造容器l'的填充口4。如上所述，本发明是通过第一至第三实施方案示出的，但是本发明不限于上述实施方案，并且可以进行在本发明的技术构思的范围内的各种改变。例如，在上述实施方案中，虽然两个容器1,r被安置成它们是相互隔开的，但是容器可以被安置成相互接触。同样，在上述实施方案中，虽然两个容器1,l'被平行安置，但是相互位置关系不受特别限制，只要两个容器i,r的下端相互连接即可。在图9至14中，将具体示出根据本发明所形成的供给装置的一个实例的外观。图9是正视图，图io是其后视图，图11是其右视图，图12是其左视图，图13是平面图，并且图14是其仰视图。在图9至14中示出的供给装置具有两个圆柱形状的容器，并且其中引入载气的容器的容量大于从中排出载气的容器的容量。在其中引入载气的容器中，除装配气体进料管以外，还单独装配填充口。通过连接到容器下端的连通管，连接两个容器的内部。连通管可以与直管组合构成。实施例现在，在下面参考实施例详细描述本发明。然而，本发明的范围不限于这些实施例。从气体排出管3流出的三甲基铟的浓度通过超声波型气体浓度计(产品名Piezocon(LorexIndustries,Inc.的产品))进行测量。1.直接引入实施例1-1供给三甲基铟(填充量；约25g)过程中的稳定性试验将三甲基铟准备作为室温下的固体有机金属化合物，并且准备Heli填料(不锈钢，1.3mmx2.5mmx2.3mm(TokyoTokushuKanaamiK.K.的产品))作为载体。将38ml的Heli填料和33g的三甲基铟投入到内部容积为250ml的TEFLON(注册商标)容器中，并且将所得到的混合物加热至卯°C，以完全熔化三甲基铟，然后冷却至室温，以将三甲基铟负载在Hdi填料上。随后，将所得材料通过刮刀(spatula)粉碎，然后通过4目和20目筛子筛选，以获得71g粒径为0.84至4.76mm的负载在Heli填料上的三甲基铟。li在氮气氛中，将71g所得到的粒径为0.84至4.76mm的负载在Heli填料上的三甲基铟从填充口4填充如图1所示供给装置的两个容器1,l'。容器1,l，各自都为相同尺寸(内径17.5mm;高度135mm;内部容积31ml)的圆柱形状。连通管5由内径为4.3mm的直管组成。而且，容器1,1，和连通管5由不锈钢制成。将该供给装置安装在被保持3(TC的恒温室中，并且将氩气作为载气从气体进料管2以300ml/min的流量引入到容器1中。结果，从容器l'的气体排出管3获得的三甲基铟的供给量为约0.38g/h，而且一直至85%的使用比率，供给速率都是稳定的(图15)。实施例1-2.供给三甲基铟(填充量；约25g)过程中的稳定性试验在本实施例中，如图3中所示，使用不锈钢供给装置，其中引入载气的容器l的体积大于从中排出载气的容器l，的体积，并且除气体入口2以外，还构造容器1的填充口4。容器1的尺寸是内径为54mm，高度为135mm，并且内部容积为230ml。容器l'的尺寸与在实施例1-1中使用的容器1'的尺寸相同。此外，连通管5由与实施例1-1相同的内径为4.3mm的直管构成。在氮气氛中，以与实施例l-l中相同的方式获得的71g粒径为0.84至4.76mm的负载在Hdi填料上的三甲基铟通过填充口4填充该供给装置。将该供给装置安装被保持3(TC的恒温室中，并且使氩气作为来自气体进料管2的载气以300ml/min的流量流动。结果，从气体排出管3获得的三甲基铟的供给量为约0.38g/h，而且一直至80%的使用比率，供给速率都是稳定的(图16)。实施例1-3供给三甲基铟(填充量；约25g)过程中的稳定性试验在本实施例中，使用以与实施例1-1中所用的相同的方式构成的不锈钢供给装置(参见图2)，不同之处在于其中引入载气的容器1的尺寸是内径为37.1mm，高度为135mm，并且内部容积为138ml。在氮气氛中，12将71g以与实施例1-1中相同的方式获得的粒径为0.84至4.76mm的负载在Heli填料上的三甲基铟通过填充口4填充该供给装置。将该供给装置安装在被保持3(TC的恒温室中，并且使氩气作为来自气体进料管2的载气以300ml/min的流量流动。结果，来自气体排出管3的三甲基铟的供给量为约0.40g/h，而且一直至82%的使用比率，供给速率都是稳定的。实施例1-4供给三甲基铟(填充量；约25g)过程中的稳定性试验在本实施例中，在氮气氛中，将75g以与实施例l-l中相同的方式获得的粒径为0.84至4.76mm的负载在海绵钛上的三甲基铟通过填充口4填充同一供给装置，不同之处在于使用海绵钛(粒径0.84至2.00mm(TohoTitanium股份有限公司的产品))作为用于负载三甲基铟的载体。将该供给装置安装在被保持3(TC的恒温室中，并且使氩气作为来自气体进料管2的载气以300ml/min的流量流动。结果，来自气体排出管3的三甲基铟的供给量为约0.40g/h，而且一直至87%的使用比率，供给速率都是稳定的。供给三甲基铟(填充量；约25g)过程中的稳定性试验在本实施例中，在氮气氛中，将53g以与实施例l-l中相同的方式获得的粒径为0.84至4.76mm的负载在Dixon填料上的三甲基铟通过填充口4填充与实施例1-1中所用供给装置相同的供给装置，不同之处在于使用Dixon填料(由不锈钢制成，cp:3.0mm，高度3,0mm(OkutaniWireNettingMfg股份有限公司的产品))作为用于负载三甲基铟的载体。将该供给装置安装在被保持30。C的恒温室中，并且允许氩气作为来自气体进料管2的载气以300ml/min的流量流动。结果，来自气体排出管3的三甲基铟的供给量为约0.40g/h，而且一直至84%的使用比率，供给率都是稳定的。实施例1-6供给三甲基铟(填充量；约50g)过程中的稳定性试验在本实施例中，除了使用在实施例1-2中所用的供给装置作为供给装置之外，以与实施例1-4相同的方式，使用152g粒径为0.84至4.75mm的负载在海绵钛上的三甲基铟填充供给装置，并且对供给三甲基铟过程中的稳定性进行试验。结果，所供给的三甲基铟的量为约0.40g/h，而且一直至85%的使用比率，供给率都是稳定的。实施例1-7供给三甲基铟(填充量；约100g)过程中的稳定性试验在本实施例中，除了将实施例1-6中负载在海绵钛上的三甲基铟的填充量改变为211g之外，以与实施例1-6相同的方式用粒径为0.84至4.75mm的负载在海绵钛上的三甲基铟填充供给装置，并且对供给三甲基铟过程中的稳定性进行试验。结果，所供给的三甲基铟的量为约0.40g/h，而且一直至85%的使用比率，供给速率都是稳定的。实施例1-8供给三甲基铟(填充量；约25g)过程中的稳定性试验除了将实施例1-1中引入的氩气的量改变为600ml/min之外，以与实施例1-1中相同的方式，用71g粒径为0.84至4.75mm的负载在Heli填料上的三甲基铟填充供给装置，并且对供给三甲基铟过程中的稳定性进行试验。结果，所供给的三甲基铟的量为约0.80g/min，而且一直至84%的使用比率，供给速率都是稳定的。实施例1-9供给三甲基铟(填充量；约25g)过程中的稳定性试验除了将实施例1-4中引入的氩气的量改变为600ml/min之外，以与实施例1_4相同的方式，用75g粒径为0.84至4.75mm的负载在海绵钛上的三甲基铟填充供给装置，并且对供给三甲基铟过程中的稳定性进行试验。结果，所供给的三甲基铟的量为约0.80g/min，而且一直至87%的使用比率，供给速率都是稳定的。实施例1-10供给三甲基铟(填充量；约25g)过程中的稳定性试验除了将实施例1-5中引入的氩气的量改变为600ml/min之外，以与实施例1-5相同的方式，用53g粒径为0.84至4.75mm的负载在Dixon填料上的三甲基铟填充供给装置，并且对供给三甲基铟过程中的稳定性进行试验。结果，所供给的三甲基铟的量为约0.80g/min，而且一直至83%的使用比率，供给速率都是稳定的。实施例1-11供给三甲基铟(填充量；约50g)过程中的稳定性试验除了将实施例1-6中引入的氩气的量改变为600ml/min之外，以与实施例1-6相同的方式，用152g粒径为0.84至4.75mm的负载在海绵钛上的三甲基铟填充供给装置，并且对供给三甲基铟过程中的稳定性进行试验。结果，所供给的三甲基铟的量为约0.80g/h，而且一直至85%的使用比率，供给速率都是稳定的。实施例1-12供给三甲基铟(填充量；约50g)过程中的稳定性试验除了将实施例1-3中的三甲基铟的载体改变为海绵钛，以及将其中安装供给装置的恒温室中的温度改变为2(TC之外，以与实施例l-3相同的方式，用151g粒径为0.84至4.76mm的负载在海绵钛上的三甲基铟填充供给装置，并且对供给三甲基铟过程中的稳定性进行试验。结果，所供给的三甲基铟的量为约0.19g/h，而且一直至85%的使用比率，供给速率都是稳定的。实施例1-13供给三甲基铟(填充量；约50g)过程中的稳定性试验除了将实施例1-12中引入的氩气的量改变为600ml/min之夕卜，以与实施例l-12相同的方式，使用151g粒径为0.84至4.76mm的负载在海绵钛上的三甲基铟填充供给装置，并且对供给三甲基铟过程中的稳定性进行试验。结果，所供给的三甲基铟的量为约0.38g/h，而且一直至85%的使用比率，供给速率都是稳定的。比较例1供给三甲基铟(填充量；约25g)过程中的稳定性试验在氮气氛中，用71g以实施例1-1的方式获得的粒径为0.84至4.76mm的负载在Heli填料上的三甲基铟通过填充口4填充不锈钢供给装置。该供给装置装配有如图17所示的下部形状狭窄、在上部装配有气体进料管2和气体排出管3的容器l(上部的内径69mm;下部的内径20mm;高度154mm;内部容积300ml)。在容器1的内部，气体排出管3延伸至接近容器1的底壁。将该供给装置安装在被保持3(TC的恒温室中，并且使氩气作为来自气体进料管2的载气以300ml/min的流量流动。结果，所供给的三甲基铟的量为约0.36g/h，而供给速率仅仅稳定至55%的使用比率(图18)。比较例2供给三甲基铟(填充量；约25g)过程中的稳定性试验在氮气氛中，以与比较例1相同的方式，用77g粒径为0.84至4.76mm的负载在海绵钛上的三甲基铟通过填充口4填充供给装置，不同之处在于使用与实施例1-4中相同的海绵钛作为比较例1的用于负载三甲基铟的载体。将该供给装置安装在被保持3(TC的恒温室中，并且使氩气作为来自气体进料管2的载气以300ml/min的流量流动。结果，所供给的三甲基铟的量为约0.39g/h，而供给速率仅仅稳定至56%的使用比率。在上述实施例1-1至1-13以及比较例1和2中的主要试验条件和试验结果示出在表1中。16<table>tableseeoriginaldocumentpage17</column></row><table>*1表示填充在供给装置中的三甲基铟的量。*2表示填充在供给装置中的载体和三甲基铟的总量。*3表示在所供给的稳定三甲基铟量(g/h)降低之前的使用比率。从表1中可看出，在比较例1和2的每一个中，三甲基铟的稳定使用的比率为55至56%，而在实施例1-1至1-13的每一个中的比率达到80%或更高，与过去相比，这大大提高了有机金属化合物的稳定使用的比率。2.分散引入(1)实施例2-l供给三甲基铟(填充量；约25g)过程中的稳定性试验以与实施例1-1中相同的方式，获得72g粒径为0.84至4.76mm的负载在Heli填料上的三甲基铟。在氮气氛中，用72g所得到的负载在Heli填料上的三甲基铟通过填充口4填充如图4所示具有两个圆柱形容器1,1，的不锈钢供给装置。装配有气体进料管2的容器1具有37.1mm的内径、135mm的高度，以及138ml的内部容积。装配有气体排出管3的容器1'具有17.5mm的内径、135mm的高度和31ml的内部容积。连通管5由内径为4.3mm的直管组成。在容器l内部的气体进料管2是弯曲的，以使载气被垂直于壁表面引入(引入角90°)。将该供给装置安装在被保持3(TC的恒温室中，并且将氩气作为载气从气体进料管2以300ml/min的流量引入到容器l中。结果，从容器1'的气体排出管3获得的三甲基铟的供给量是约0.40g/h，而且一直至89%的使用比率，供给速率都是稳定的(图19)。实施例2-2供给三甲基铟(填充量；约25g)过程中的稳定性试验除了使用海绵钛(粒径0.84至2.00mm(TohoTitanium股份有限公司的产品))作为实施例2-l中用于负载三甲基铟的载体之外，以与实施例2-l中相同的方式，用77g粒径为0.84至4.76mm的负载在海绵钛上的三甲基铟填充供给装置，并且对供给三甲基铟过程中的稳定性进行试验。结果，所供给的三甲基铟的量是约0.40g/min，而且一直至92%的使用比率，供给速率都是稳定的。实施例2-3供给三甲基铟(填充量；约25g)过程中的稳定性试验除了使用Dixon填料(cp:3.0mm;高度3.0mm(OkutaniWireNettingMfg，股份有限公司的产品))作为实施例2-1中用于负载三甲基铟的载体之外，以与实施例2-1中相同的方式，用51g粒径为0.84至4.76mm的负载在Dixon填料上的三甲基铟填充供给装置，并且对供给三甲基铟的稳定性进行试验。结果，所供给的三甲基铟的量是约0.40g/min，而且一直至89%的使用比率，供给速率都是稳定的。实施例2-4供给三甲基铟(填充量；约50g)过程中的稳定性试验除了将实施例2-1中负载在Heli填料上的三甲基铟的填充量改变为140g之外，以与实施例2-1中相同的方式，使用51g粒径为0.84至4.76mm的负载在Dixon填料上的三甲基铟填充供给装置，并且对供给三甲基铟过程中的稳定性进行试验。结果，所供给的三甲基铟的量为约0.40g/min，而且一直至89%的使用比率，供给速率都是稳定的。实施例2-5供给三甲基铟(填充量；约50g)过程中的稳定性试验除了将实施例2-2中负载在海绵钛上的三甲基铟的填充量改变为153g之外，以与实施例2-2中相同的方式，用153g粒径为0.84至4.76mm的负载在海绵钛上的三甲基铟填充供给装置，并且对供给三甲基铟过程中的稳定性进行试验。结果，所供给的三甲基铟的量为约0.40g/min，而且以直至92%的使用比率，供给速率都是稳定的。实施例2-6供给三甲基铟(填充量；约25g)过程中的稳定性试验除了将实施例2-l中引入的氩气的量改变为600ml/min之外，以与实施例2-1中相同的方式，使用72g粒径为0.84至4.76mm的负载在Heli填料上的三甲基铟填充供给装置，并且对供给三甲基铟过程中的稳定性进行试验。结果，所供给的三甲基铟的量是约0.80g/min，而且一直至87%的使用比率，供给速率都是稳定的。实施例2-7供给三甲基铟(填充量；约25g)过程中的稳定性试验除了将实施例2-2中引入的氩气的量改变为600ml/min之外，以与实施例2-2中相同的方式，使用77g粒径为0.84至4.76mm的负载在海绵钛上的三甲基铟填充供给装置，并且对供给三甲基铟过程中的稳定性进行试验。结果，所供给的三甲基铟的量是约0.80g/min，而且一直至92%的使用比率，供给速率都是稳定的。实施例2-8供给三甲基铟(填充量；约25g)过程中的稳定性试验除了将实施例2-3中引入的氩气的量改变为600ml/min之外，以与实施例2-3中相同的方式，使用51g粒径为0.84至4.76mm的负载在Dixon填料上的三甲基铟填充供给装置，并且对供给三甲基铟过程中的稳定性进行试验。结果，所供给的三甲基铟的量是约0.80g/min，而且一直至88%的使用比率，供给速率都是稳定的。实施例2-9供给三甲基铟(填充量；约50g)过程中的稳定性试验除了将实施例2-4中引入的氩气的量改变为600ml/min之外，以与实施例2-4中相同的方式，使用140g粒径为0.84至4.76mm的负载在Hdi填料上的三甲基铟填充供给装置，并且对供给三甲基铟过程中的稳定性进行试验。结果，所供给的三甲基铟的量是约0.80g/min，而且一直至88%的使用比率，供给速率都是稳定的。实施例2-10供给三甲基铟(填充量；约50g)过程中的稳定性试验除了将实施例2-5中引入的氩气的量改变为600ml/min之外，以与实施例2-5中相同的方式，使用153g粒径为0.84至4.76mm的负载在海绵21钛上的三甲基铟填充供给装置，并且对供给三甲基铟过程中的稳定性进行试验。结果，所供给的三甲基铟的量是约0.80g/min，而且一直至91%的使用比率，供给速率都是稳定的。在实施例1-1至1-10中的主要试验条件和试验结果示出在表2中。<table>tableseeoriginaldocumentpage23</column></row><table>从表2中发现，在实施例2-1至2-10的每一个中，都允许载气碰撞容器(l)的上壁表面，因而可以进一步提高稳定使用的比率。3.分散引入(2)实施例3-1供给三甲基铟(填充量；约25g)过程中的稳定性试验以与实施例1-1中相同的方式，获得71g粒径为0.84至4.76mm的负载在Heli填料上的三甲基铟。在氮气氛中，用71g所得到的负载在Heli填料上的三甲基铟通过填充口4填充如图5所示具有两个圆柱形容器1，r的不锈钢供给装置。装配有气体进料管2的容器1具有37.1mm的内径、D5mm的高度，以及138ml的内部容积。装配有气体排出管3的容器1'具有17.5mm的内径、135mm的高度和31ml的内部容积。连通管5由内径为4.3mm的直管组成。在容器1内部，将由在中心具有凹部的锥形式挡板组成的分散器6安置在气体进料管2的下部。将该供给装置安装在被保持3(TC的恒温室中，并且将氩气作为载气从气体进料管2以300ml/min的流量引入到容器l中。结果，从容器1'的气体排出管3获得的三甲基铟的供给量是约0.40g/h，而且一直至89%的使用比率，供给速率都是稳定的(图20)。实施例3-2供给三甲基铟(填充量；约25g)过程中的稳定性试验除了使用Dixon填料(小3.0mm;高度3.0mm(OkutaniWireNettingMfg股份有限公司的产品))作为实施例3-1中用于负载三甲基铟的载体之外，以与实施例3-l中相同的方式，使用52g粒径为0.84至4.76mm的负载在Dixon填料上的三甲基铟填充供给装置，并且对供给三甲基铟过程中的稳定性进行试验。结果，所供给的三甲基铟的量是约0.40g/min，而且一直至89%的使用比率，供给速率都是稳定的。实施例3-3供给三甲基铟(填充量；约25g)过程中的稳定性试验24除了使用海绵钛(粒径0.84至2.00mm(TohoTitanium股份有限公司的产品))作为实施例3-1中用于负载三甲基铟的载体之外，以与实施例3-1中相同的方式，使用75g粒径为0.84至4.76mm的负载在海绵钛上的三甲基铟填充供给装置，并且对供给三甲基铟过程中的稳定性进行试验。结果，所供给的三甲基铟的量是约0.40g/min，而且一直至93%的使用比率，供给速率都是稳定的。实施例3-4供给三甲基铟(填充量；约25g)过程中的稳定性试验以与实施例1-1中相同的方式，获得71粒径为0.84至4.76mm的负载在Heli填料上的三甲基铟。在氮气氛中，使用71g所得到的负载在Heli填料上的三甲基铟通过填充口4填充如图6所示具有两个圆柱形容器1，r的不锈钢供给装置。容器1，r和连通管5与实施例3-1中所用的那些相同。在容器l内部，将由多孔管组成的分散器6结合在气体进料管2上。将该供给装置安装在被保持3(TC的恒温室中，并且将氩气作为载气从气体进料管2以300ml/min的流量引入到容器l中。结果，从容器1'的气体排出管3获得的三甲基铟的供给量是约0.40g/h，而且一直至89%的使用比率，供给速率都是稳定的。实施例3-5供给三甲基铟(填充量；约25g)过程中的稳定性试验以与实施例1-1中相同的方式，获得71粒径为0.84至4.76mm的负载在Hdi填料上的三甲基铟。在氮气氛中，使用71g所得到的负载在Hdi填料上的三甲基铟通过填充口4填充如图7所示具有两个圆柱形容器1,r的不锈钢供给装置。容器1,l，和连通管5与实施例3-1中所用的那些相同。在容器1内部，将由平板组成的分散器6安置在气体进料管2的下部。将该供给装置安装在被保持3(TC的恒温室中，并且将氩气作为载气从气体进料管2以300ml/min的流量引入到容器l中。结果，从容器T的气体排出管3获得的三甲基铟的供给量是约0.40g/h，而且一直至89%的使用比率，供给速率都是稳定的。实施例3-6供给三甲基铟(填充量；约25g)过程中的稳定性试验以与实施例1-1中相同的方式，获得71g粒径为0.84至4.76mm的负载在Heli填料上的三甲基铟。在氮气氛中，使用71g所得到的负载在Hdi填料上的三甲基铟通过填充口4填充如图8所示具有两个圆柱形容器1，r的不锈钢供给装置。容器1,l'和连通管5与实施例3-1中所用的那些相同。在容器l内部，将由烧结金属过滤器构成的分散器6安置在气体进料管2的下部。将该供给装置安装在被保持3(TC的恒温室中，并且将氩气作为载气从气体进料管2以300ml/min的流量引入到容器1中。结果，从容器1'的气体排出管3获得的三甲基铟的供给量是约0.40g/h，而且一直至88%的使用比率，供给速率都是稳定的。实施例3-7供给三甲基铟(填充量；约25g)过程中的稳定性试验除了使用实施例3-3中具有不同尺寸的容器1,1'的供给装置之外，以与实施例3-3中相同的方式，使用75g粒径为0.84至4.76mm的负载在海绵钛上的三甲基铟填充供给装置，并且对供给三甲基铟过程中的稳定性进行试验。容器1的尺寸是内径为55mm，高度为135mm，并且内部容积为302ml，而容器l'的尺寸是内径为23mm，高度为135mm，并且内部容积为53ml。作为对供给三甲基铟的稳定性进行试验的结果，所供给的三甲基铟的量为约0.40g/min，而且一直至92%的使用比率，供给速率都是稳定的。实施例3-8供给三甲基铟(填充量；约50g)过程中的稳定性试验除了将实施例3-3中负载在海绵钛上的三甲基铟的填充量改变为150g之外，以与实施例3-3中相同的方式，使用153g粒径为0.84至4.76mm的负载在海绵钛上的三甲基铟填充供给装置，并且对供给三甲基铟过程中的稳定性进行试验。结果，所供给的三甲基铟的量是约0.40g/min，而且一直至93%的使用比率，供给速率都是稳定的。实施例3-9至3-22除了改变三甲基铟的填充量、载体、在供给装置中的分散器6的构造、恒温室中的温度以及被引入的氩气量之外，在氮气氛中，使用以与实施例3-1中相同的方式得到的粒径为0.84至4.76mm的负载在载体上的三甲基铟填充供给装置，并且对供给三甲基铟过程中的稳定性进行试验。在实施例3-1至3-22中的主要试验条件和试验结果示出在表3中。[表3]<table>tableseeoriginaldocumentpage28</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage29</column></row><table>权利要求1.一种用于供给有机金属化合物的装置，所述装置包括第一柱状容器和第二柱状容器，所述第一柱状容器和第二柱状容器填充有在室温下为固态的有机金属化合物；以及连接构件，所述连接构件用于将所述第一容器和第二容器的内部在下端相互连接；其中所述第一容器的上部装备有用于载气的入口，并且所述第二容器的上部装备有用于含有所述有机金属化合物的载气的出口。2.根据权利要求l所述的供给装置，其中所述入口装备有气体进料管，所述气体进料管被安装在所述第一容器上，以使被引入所述第一容器中的所述载气碰撞所述第一容器的上壁表面。3.根据权利要求2所述的供给装置，其中所述气体进料管的尖端在所述第一容器的内部指向朝上。4.根据权利要求l所述的供给装置，其中所述入口装备有分散器，所述分散器用于分散被弓I入所述第一容器中的所述载气。5.根据权利要求4所述的供给装置，其中所述分散器具有挡板，所述挡板用于通过允许所述载气与其碰撞以分散被引入所述第一容器中的所述载气。6.根据权利要求4所述的供给装置，其中所述分散器具有被安置在所述第一容器内部的多孔管。7.根据权利要求4所述的供给装置，其中所述分散器具有被安置在所述第一容器内部的过滤器。8.根据权利要求1至7中任一项所述的供给装置，其中所述第一容器和所述第二容器被安置为使它们相互隔开。9.根据权利要求1至8中任一项所述的供给装置，其中所述连接构件具有用于连接所述第一容器和所述第二容器的连通管。10.根据权利要求9所述的供给装置，其中所述连通管由单根直管或多根直管组成。全文摘要本发明公开了一种供给装置，所述供给装置具有两个柱状容器(1，1′)以及连通管(5)，所述连通管(5)用于将所述容器(1，1′)的内部在下端相互连接。所述容器(1，1′)填充有在室温下为固态的有机金属化合物。所述容器(1)的上部配备有用于将载气引入到容器(1)中的气体进料管(2)。所述容器(1′)的上部配备有用于排出含有所述有机金属化合物的所述载气的气体排出管(3)。文档编号B65G53/04GK101472815SQ20078002249公开日2009年7月1日申请日期2007年5月30日优先权日2006年5月30日发明者吉富晋,平塚彻,松重健二,石地浩二,药师神启孝,野口英贵申请人:宇部兴产株式会社