专利名称：掩模盒的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种掩模盒，特别是关于一种于掩模盒上盖体及下盖体内表面的角落
以悬空方式分别配置多个支撑件的掩模盒，用以确保存放于掩模盒内的掩模的稳固性，避 免不必要的碰撞导致存放于掩模盒内的掩模产生位移或受损。
背景技术：
近代半导体科技发展迅速，其中光刻技术(Optical Lithogr即hy)扮演重要的角 色，只要是关于图形(pattern)定义，皆需依赖光刻技术。光刻技术在半导体的应用上，是 将设计好的线路制作成具有特定形状可透光的掩模(Photo mask)。利用曝光原理，则光源 通过掩模投影至硅晶片(silico丽afer)可曝光显示特定图案。由于任何附着于掩模上的 尘埃颗粒(如微粒、粉尘或有机物)都会造成投影成像的质量劣化，用于产生图形的掩模必 须保持绝对洁净，因此在一般的晶片工艺中，都提供无尘室(clean room)的环境以避免空 气中的颗粒污染。然而，目前的无尘室也无法达到绝对无尘状态。现代的半导体工艺皆利 用抗污染的掩模盒(reticle pod)进行掩模的保存与运输，以使掩模保持洁净。
然而，利用掩模盒进行掩模的保存与运输时，需于掩模盒内配置多个支撑件用以 支撑并抵持掩模，当掩模放置于掩模盒中进行保存时，支撑件直接与掩模接触，因而容易与 掩模摩擦产生静电，导致掩模受损，当掩模放置于掩模盒中进行运输时，则容易因运送途中 所产生的震动，导致掩模损坏或破裂，因此如何能使支撑件兼具防静电破坏与防震动的优 点兼具，为一重要的课题。
发明内容
为了解决上述问题，本发明的主要目的在于提供一种掩模盒，其具有多个悬空的 支撑件，用以确保存放于掩模盒内的掩模的稳固性，避免不必要的碰撞导致存放于掩模盒 内的掩模产生位移或受损。 本发明的另一主要目的在于提供一种掩模盒，当上下盖体盖合时，其支撑件抵持 于掩模的棱线，以减少支撑件与掩模的接触面积，避免掩模受到损坏。 本发明的又一主要目的在于提供一种掩模盒，其支撑件、锁扣件与结合部以一体 成型的方式制成，因此除了具有较为简单的构造外，亦可减少零件数，以降低组装所需耗费 的时间与成本。 本发明的再一主要目的在于提供一种掩模盒，其支撑件以悬空方式配置于掩模盒 内，通过此可使得支撑件附有弹性，可吸收掩模盒传送时所产生的震动，提供掩模一保护性 的缓冲效果。 本发明的另一主要目的在于提供一种掩模盒，其支撑件上形成一对鳍部与掩模的 侧边接触，可以增加支撑件在侧方向上支撑掩模力量。 本发明还有一主要目的在于提供一种掩模盒，进一步包含一气密垫圈，可使得掩 模盒具有较佳的气密效果。
本发明还有一主要目的在于提供一种掩模盒，其锁扣件的构造可使掩模盒的盖体 同时具有轻松开启与紧密贴合的功效，以达成一锁扣功能。 本发明还有一主要目的在于提供一种掩模盒，其第一凸缘与第二凸缘的设计可使 掩模盒具有堆叠功能，减少存放掩模盒所需的空间，且第一凸缘与第二凸缘可相互牵制与 干涉，可避免堆叠后的掩模盒因碰撞而歪斜或倾倒。 本发明还有一主要目的在于提供一种掩模盒，其上下盖体的厚度相当，使其可稳 固的平放于桌面上。 本发明还有一主要目的在于提供一种掩模盒，其具有对称的立脚，使其可稳固的 直立置放于桌面上。 本发明还有一主要目的在于提供一种掩模盒，其配置有可放置铭板或条形码的挡 板，且其档板的设计可防止掩模盒倒立放置时，铭板或条形码的掉落。 依据上述目的，本发明提供一种掩模盒，包括一具有第一容置空间的上盖体及一 具有第二容置空间的下盖体，该上盖体与该下盖体各具有一外表面与一内表面，上盖体与 下盖体盖合后形成一第三容置空间，其中掩模盒的特征在于掩模盒具有多个支撑件以悬 空方式分别配置于上盖体及下盖体的内表面的角落，这些支撑件的两端分别与内表面角落 的相邻两侧边相连接以形成一封闭片体，并于封闭片体的转折处形成一缺口。当掩模存放 于掩模盒的第三容置空间时，掩模的四个角落放置于支撑件的缺口中，而当上下盖体盖合 时，支撑件抵持于掩模的棱线，通过此可确保掩模的稳固性，避免不必要的碰撞导致掩模产 生位移或受损。
图l是掩模盒的立体图； 图2A是掩模盒的上盖体与下盖体分离侧视图； 图2B是掩模盒的上盖体与下盖体盖合侧视图； 图3是掩模盒的上盖体与下盖体与气密垫圈的爆炸图； 图4A是掩模盒的上盖体凸部与下盖体气密垫圈分离局部放大图； 图4B是掩模盒的上盖体凸部与下盖体气密垫圈结合局部放大图； 图5A是掩模盒的上盖体与下盖体锁扣部开启示意图； 图5B是掩模盒的上盖体与下盖体锁扣部关闭示意图； 图5C是掩模盒的上盖体与下盖体盖合锁扣侧视图； 图6A是掩模盒的上盖体与下盖体堆叠的上方立体图； 图6B是掩模盒的上盖体与下盖体堆叠的下方立体图； 图6C是掩模盒的上盖体与下盖体堆叠的侧视图； 图7是掩模盒的上盖体与下盖体平放的侧视图； 图8A是掩模盒的上盖体与下盖体直放的立体图； 图8B是掩模盒的上盖体与下盖体直放的立体图； 图9是掩模盒挡板的示意图； 图10是掩模盒的立体图。主要元件符号说明
1掩模盒10上盖体11外表面12内表面121缓冲件13顶盖部分14第一凸缘20下盖体21外表面22内表面23底盖部分24第二凸缘30掩模31气密垫圈32凸部33结合部34插梢35第一锁扣部351第一n型斜板352第二n型斜板353锁扣槽36第二锁扣部361锁扣勾部362锁扣板363第一斜面364第二斜面37立脚38挡板40支撑件41中央转折处42缺口42a斜面43第一侧边44第二侧边45鳍部
具体实施例方式
由于本发明揭露一种掩模盒，特别是一种于掩模盒上盖体及下盖体内表面的角落 以悬空方式分别配置多个支撑件的掩模盒，用以确保存放于掩模盒内的掩模的稳固性，避免不必要的碰撞导致存放于掩模盒内的掩模产生位移或受损。由于，本发明所利用到的一些掩模或掩模盒的详细制造或处理过程，是利用现有技术来达成，故在下述说明中，并不作完整描述。而且下述内文中的图式，亦并未依据实际的相关尺寸完整绘制，其作用仅在表达与本发明特征有关的示意图。 请参考图l，其根据本发明的掩模盒的一较佳实施例示意图。如图1所示，一种掩模盒l，包括一具有第一容置空间的上盖体10及一具有第二容置空间的下盖体20，上盖体10与下盖体20各具有一外表面11、21与一内表面12、22，上盖体10的外表面11具有一顶盖部分13，下盖体20的外表面21具有一底盖部分23，上盖体10与下盖体20盖合后形成一第三容置空间，且上盖体10的顶盖部分13与下盖体20的底盖部分23为相对应，其中掩模盒1的特征在于掩模盒1具有多个支撑件40悬空配置于上盖体10内表面12及下盖体20内表面22的角落处，支撑件40的两端分别与内表面12、22角落的相邻两侧边连接以形成一封闭片体，此封闭片体的相对两端分别与上盖体10内表面12及下盖体20内表面22的角落延伸的两侧边相连接，并于此封闭片体的接近中央处形成一转折41，其中此封闭片体的中央转折处41的一侧边具有一缺口 42。 根据上述，支撑件40的缺口 42以中央转折处41为中心，形成一对称的形状，此对称形状可为U型、V型、半多边型等形状，而图1所揭露的支撑件40的对称形状为一半六边型的形状，其为本发明的一较佳实施例，此多边型支撑件40的缺口 42的对称的两侧各具有一第一侧边43与一第二侧边44，而第一侧边43与第二侧边44可形成一约30度至150度的斜面42a，因此，当掩模30置放于盒体内时，掩模30的侧边的底部会与具有斜面42a的第二侧边44接触，而第一侧边43则会与掩模30的侧边接触；此外，支撑件40的中央转折处41的相对左右两侧可形成一约30度至150度的夹角。由于支撑件40系悬空配置于掩模盒1内的上盖体10内表面12或下盖体20内表面22的角落，使得支撑件40与上盖体10内表面12间以及与下盖体20内表面22间形成一空隙，通过此空隙的设计使得支撑件40可以有上下位移的空间，故可吸收掩模盒1传送时所产生的震动，提供掩模30 —保护性的缓冲效果；此外，为避免支撑件40与上盖体10内表面12间以及与下盖体20内表面22间的空隙太大，造成支撑件40过多的位移，而可能使得掩模30失去平衡或是可能破坏支撑件40与掩模盒1盒体的接合处，故本发明进一步于支撑件40与上盖体10内表面12间以及与下盖体20内表面22间的空隙下方，配置至少一缓冲件121，通过此可调空隙的大小，特别要说明的是，缓冲件121位于支撑件40的中央转折处41的下方。 接着，本发明于支撑件40具有缺口 42的一侧边可延伸出一鳍部45，且此鳍部45以中央转折处41为中心对称配置；故当掩模盒1的上盖体10与下盖体20盖合后，此鳍部45可以与掩模30的侧边接触，可以增加支撑件40在侧方向上支撑掩模30力量。更进一步说明，当上盖体10与下盖体20的内表面12、22的相对位置上均配置有支撑件40时，于掩模盒1的上盖体10与下盖体20盖合后，会使得位于上盖体10支撑件40上的鳍部45与位于下盖体20支撑件40上的鳍部45以交错方式与掩模30的侧边接触，因此，当掩模盒1在运输过程中，掩模30的每一角落的均有两个鳍部45抵持，故可以明显地增加支撑件40在侧方向上支撑掩模30力量。 而本发明的支撑件40与掩模盒1为一体成型的方式所制成，因此除了具有较为简单的构造外，亦可减少零件数，以降低组装所需耗费的时间与成本。
请继续参考图1，当掩模存放于掩模盒1的第三容置空间时，掩模30的四个角落放置于支撑件40的缺口中，接着请参考图2A与图2B，当上盖体10与下盖体20盖合时，支撑件40抵持于掩模30的棱线上，通过此可确保掩模的稳固性，避免不必要的碰撞导致掩模产生位移或受损，此外，由于掩模30与支撑件40所接触的面积仅限于棱线部分，因此可减少掩模30与支撑件40的接触面积，避免掩模30受到损坏。 请参考图3，本发明的掩模盒1可进一步包含一气密垫圈31，气密垫圈31设于上盖体10第一容置空间的开口处或下盖体20第二容置空间的开口处，通过此可使得掩模盒1具有较佳的气密效果，此气密垫圈31可为一空心的环形体或一实心的环形体，而材质则为一弹性材质(如橡胶)的材料所制成；本发明的掩模盒1可进一步包含一凸部32设于上盖体10第一容置空间的开口处或下盖体20第二容置空间的开口处；请参考图4A与图4B，当上盖体10与下盖体20盖合时，凸部32会紧压气密垫圈31，通过此可使掩模盒1达成气密效果。 请参考图3，本发明的掩模盒1可进一步包含至少一对结合部33分设于上盖体10与下盖体20的一侧边，此对结合部33以插梢34相互枢接，而结合部33与掩模盒1为一体成型的方式所制成，因此具有较为简单的构造。 请参考图5A，本发明的掩模盒1可进一步包含至少一对锁扣件分设于上盖体10与下盖体20的一侧边，锁扣件具有一第一锁扣部35与一第二锁扣部36，第一锁扣部35设于上盖体10的一侧边，第二锁扣部36设于下盖体20的一侧边，且第一锁扣部35与第二锁扣部36大致对应，且此锁扣件与掩模盒1为一体成型的方式所制成，因此具有较为简单的构造。第一锁扣部35具有一第一n型斜板351与一第二n型斜板352，此n型斜板为三方封闭侧与一方开放侧所形成的n型斜板，第一n型斜板351的封闭侧自上盖体10的一侧边向下盖体20方向延伸，并以大致T型方式直交于第二 n型斜板352的开放侧，因此第一 n型斜板351与第二n型斜板352可大致直交处形成一锁扣槽353。第二锁扣部36具有一对锁扣勾部361与一锁扣板362，锁扣板362设于一对锁扣勾部361之间并大致直交于一对锁扣勾部361，此对锁扣勾部361大致为一三角体且三角体的一面体用以与下盖体20相连接，三角体的二面体分别为一第一斜面363与一第二斜面364，第一斜面363与锁扣板362大致直交。请参考图5B与图5C，当上盖体10与下盖体20盖合时，锁扣板362可穿设锁扣槽353，第二n型斜板352的一端会顺着锁扣勾部361的第一斜面363滑动，使得第一n型斜板351与第二 n型斜板352的T型直接处可扣住锁扣勾部361 ，第一 n型斜板351贴合于第一斜面363，第二 n型斜板352贴合并抵持于第二斜面364，通过此使上盖体10与下盖体20可紧密的贴合，以达成一锁扣功能；当欲打开掩模盒1时，轻压锁扣板362与第二n型斜板352，即可以单手轻松开启掩模盒1。 请参考图6A与图6B，本发明的掩模盒1可进一步包含至少一第一凸缘14与至少一第二凸缘24，第一凸缘14设于上盖体10的顶盖部分13 (如图6A所示)，第二凸缘24设于下盖体20的底盖部分23 (如图6B所示)，其中第一凸缘14与第二凸缘24为一环型结构(如矩形)，或是分段配设于上盖体10或下盖体20的角落，此外第一凸缘14所圈围的区域大小与第二凸缘圈围24圈围的区域大小为不相等，而在本发明的较佳实施例中，上盖体10的第一凸缘14所圈围的区域较下盖体20的第二凸缘24所圈围的区域为小，接着请参考图6C，在半导体工艺中，为了能有效的利用厂内空间，因此会将掩模盒1进行堆叠，而经由本
7发明的第一凸缘14与第二凸缘24的设计方式，不仅可使掩模盒1具有堆叠的功能外，又能减少存放掩模盒1所需的空间，且第一凸缘14与第二凸缘24可相互牵制与干涉，通过此亦可避免堆叠后的掩模盒1因碰撞而歪斜或倾倒。 请参考图7，本发明的掩模盒1的上盖体10厚度与下盖体20厚度为大致相同，而第一凸缘14厚度与第二凸缘24厚度亦可大致相同，因此当掩模盒1的上盖体10与下盖体20摊开置放于桌面上时，能完全平贴于桌面，不会造成单边上盖体10或下盖体20的翘曲，使掩模盒1得以稳固的平放于桌面上。 请参考图8A与图8B，本发明的掩模盒1可进一步包含至少一对立脚37设于掩模盒的1外表面11、21的两相对的对称侧边上，因此掩模盒1得以稳固的直立置放于桌面上。
请参考图9，本发明的掩模盒1可进一步包含至少一挡板38设于掩模盒1上，其配置方式可成对设置于掩模盒1上盖体10的顶盖部分13，或可以n字型方式设置于掩模盒1上盖体10的一侧边上，其中挡板38为一 L型长条结构，且此L型长条结构的一端与掩模盒l相连接，因此于挡板38中放置铭板或条形码(bar code)时，若掩模盒1倒立放置时，可防止铭板或条形码的掉落。 除上述之外，本发明掩模盒1的上盖体10与下盖体20外型可为四边形立方体(如图l所示)或八边形立方体(如图IO所示)的设计，亦涵盖于本发明的权利范围内。
以上所述仅为本发明的较佳实施例，并非用以限定本发明的权利范围；同时以上的描述，对于熟知本技术领域的专门人士应可明了及实施，因此其它未脱离本发明所揭示的精神下所完成的等效改变或修饰，均应包含在本发明的申请专利范围中。
权利要求
一种掩模盒，包括一具有第一容置空间的上盖体及一具有第二容置空间的下盖体，该上盖体与该下盖体各具有一外表面与一内表面，该上盖体的该外表面具有一顶盖部分及该下盖体的该外表面具有一底盖部分，该上盖体与该下盖体盖合后形成一第三容置空间，且该上盖体的顶盖部分与该下盖体的底盖部分为相对应，其特征在于该掩模盒具有多个支撑件以悬空方式分别配置于该上盖体及该下盖体的内表面的角落上，这些支撑件的两端分别与该内表面角落的相邻两侧边连接以形成一封闭片体。
2. 如权利要求1所述的掩模盒，其特征在于该支撑件与该掩模盒为一体成型制成。
3. 如权利要求1所述的掩模盒，其特征在于该封闭片体的转折处形成一缺口，该支撑 件的缺口以该转折处为中心形成的一对称形状。
4. 如权利要求3所述的掩模盒，其特征在于进一步包括至少一鳍部延伸自该支撑件 具有该缺口的一侧边。
5. 如权利要求1所述的掩模盒，其特征在于进一步包含一气密垫圈设于该上盖体第 一容置空间的开口处或该下盖体第二容置空间的开口处。
6. 如权利要求1所述的掩模盒，其特征在于进一步包含至少一对锁扣件分设于该上 盖体与该下盖体的一侧边，该锁扣件具有一第一锁扣部与一第二锁扣部，其中该第一锁扣 部设于该上盖体的一侧边，该第二锁扣部设于该下盖体的一侧边，且该第一锁扣部与该第 二锁扣部为相对应。
7. 如权利要求1所述的掩模盒，其特征在于进一步包含至少一第一凸缘与至少一第 二凸缘，该第一凸缘设于该上盖体的顶盖部分，该第二凸缘设于该下盖体的底盖部分。
8. 如权利要求1所述的掩模盒，其特征在于进一步包含至少一对立脚设于该掩模盒 外表面的两相对侧边。
9. 一种掩模盒，包括一具有第一容置空间的上盖体及一具有第二容置空间的下盖体， 该上盖体与该下盖体各具有一外表面与一内表面，该上盖体的该外表面具有一顶盖部分及 该下盖体的该外表面具有一底盖部分，该上盖体与该下盖体盖合后形成一第三容置空间， 且该上盖体的顶盖部分与该下盖体的底盖部分为相对应，其特征在于该掩模盒具有多个支撑件以悬空方式分别配置于该上盖体及该下盖体的内表面的角 落上，这些支撑件的两端分别与该内表面角落的相邻两侧边连接以形成一封闭片体。
10. —种掩模盒，包括一具有第一容置空间的上盖体及一具有第二容置空间的下盖体， 该上盖体与该下盖体各具有一外表面与一内表面，该上盖体的该外表面具有一顶盖部分及 该下盖体的该外表面具有一底盖部分，该上盖体与该下盖体盖合后形成一第三容置空间， 且该上盖体的顶盖部分与该下盖体的底盖部分为相对应，其特征在于该掩模盒具有多个支撑件以悬空方式分别配置于该上盖体及该下盖体的内表面的角 落上，这些支撑件的两端分别与该内表面角落的相邻两侧边连接以形成一封闭片体，并于 该封闭片体的转折处形成一具有斜面的缺口，以及于该缺口的两个边缘各自再延伸出一鳍 部。
全文摘要
本发明公开了一种掩模盒，包括一具有第一容置空间的上盖体及一具有第二容置空间的下盖体，上盖体与下盖体盖合后形成一第三容置空间，其中掩模盒的特征在于掩模盒具有多个支撑件以悬空方式分别配置于上盖体及下盖体的内表面的角落上，这些支撑件的两端分别与内表面角落的相邻两侧边相连接以形成一封闭片体，并于封闭片体的转折处形成一缺口。当掩模存放于掩模盒的第三容置空间时，掩模的四个角落放置于悬空的支撑件的缺口中，而当上下盖体盖合时，支撑件抵持于掩模的棱线，通过此可确保掩模的稳固性，避免不必要的碰撞导致掩模产生位移或受损。
文档编号B65D81/02GK101750872SQ200810185499
公开日2010年6月23日 申请日期2008年12月16日 优先权日2008年12月16日
发明者吕保仪, 林志铭 申请人:家登精密工业股份有限公司