机器人、机器人的设置方法和制造装置的制作方法

专利名称：机器人、机器人的设置方法和制造装置的制作方法
机器人、机器人的设置方法和制造装置技术领域
公开的实施方式涉及机器人、机器人的设置方法和制造装置。
背景技术：
以往，公知有搬送工件的机器人。作为搬送机器人公知有例如水平多关节机器人， 该水平多关节机器人利用在水平方向伸缩的臂来搬送工件(参照专利文献I)。
搬送机器人例如在半导体制造装置或液晶制造装置等中用于搬送半导体晶片或 玻璃基板等工件。在这种装置中对工件的处理多在减压后的真空罩内进行。因此，搬送机 器人也多配置在真空罩内。
在将搬送机器人组装到真空罩的情况下，例如利用桥式起重器等起重器装置吊起 搬送机器人移动到真空罩的上方之后，使起重器装置下降并将搬送机器人搬入真空罩内。
专利文献1:日本特许第3881579号公报
可是，近年来玻璃基板或半导体晶片等工件逐渐大型化，并且搬送机器人和真空 罩伴随这些工件的大型化也变得大型化。因此，具有难以将搬送机器人设置到真空罩内的 可能性。
例如，搬送机器人越大型化，其高度尺寸就越容易变大。因此，为了使大型化的搬 送机器人位于真空罩的上方，优选确保搬送机器人的搬入空间、即真空罩上表面的上方的 空间更宽敞。但是，当搬送机器人的高度尺寸变大时，收纳搬送机器人的真空罩的高度尺寸 也变大，因此难以确保搬送机器人的搬入空间宽敞。
这样，搬送机器人越大型化，可能就越难将搬送机器人设置到真空罩内。发明内容
实施方式的一个形态的目的在于，提供能够容易地设置到罩内的机器人、机器人 的设置方法和制造装置。
实施方式的一个形态的机器人具备第一单元和第二单元。第一单元从罩的上方被 搬入罩内，并且被固定于罩。第二单元从罩的上方被搬入罩内，并且与已固定于罩内的第一 单元相连接。
此外，实施方式的一个形态的机器人的设置方法包括固定工序和连接工序。在固 定工序中，将机器人的第一单元从罩的上方搬入罩内并固定于罩。在连接工序中，将机器人 的第二单元从罩的上方搬入罩内并连接至已固定于罩内的第一单元。
此外，实施方式的一个形态的制造装置具备罩和被设置于罩的机器人。并且，机器 人具备第一单元和第二单元。第一单元从罩的上方被搬入罩内，并且被固定于罩。第二单 元从罩的上方被搬入罩内，并且与已固定于罩内的第一单元相连接。
根据实施方式的一个形态，能够提供容易地设置到罩内的机器人、机器人的设置 方法和制造装置。


图1是第一实施方式的机器人的示意立体图。
图2是示出将机器人设置于真空罩后的状态的示意侧视图。
图3是示出机体部和基座部的结构的示意剖视图。
图4是真空罩上方的搬入空间的高度尺寸和机器人的高度尺寸的比较图。
图5A是示出机体部向真空罩设置的设置方法的说明图。
图5B是示出臂单元向真空罩设置的设置方法的说明图。
图6是示出臂单元相对于机体部的大致定位方法的说明图。
标号说明
1:机器人
10 :机体部
11 :壳体
12:凸缘部
125、126:引导部件
15 :升降凸缘部
15a :第一对接凸缘(docking flange)
15b :第二对接凸缘
151 :定位销
152、154:贯通孔
153 :卡合孔
20 :臂单元
21:固定基座部
22 :第一臂部
23 :第二臂部
24 :可动基座部
25 :辅助臂部
30 :真空罩
31:开口部
32:盖部
40 :升降装置
42 :变换机构
43 :轴部
60:回转装置
61:带减速器的电动机
61a:电动机
61b :减速器
62 :轴部
622 :贯通孔
300 :配线
450 ；:引导体
600 ；:悬吊工具
602a>603a :贯通孔
610 ；:套环
700 ；:桥式起重机
701 ；:钩
751 ；:行驶道
800 ；:悬吊工具
810 ；:套环具体实施方式
以下，参照附图，对本申请公开的机器人、机器人的设置方法和制造装置的实施方式详细进行说明。并且，本发明并不受以下所示的实施方式限定。
首先，利用图1对本实施方式的机 器人的结构进行说明。图1是实施方式的机器人的示意立体图。
如图1所示，机器人I是具备在水平方向伸缩的两个伸缩臂的水平多关节机器人。 具体来说，机器人I具备机体部10和臂单元20。
机体部10为设在臂单元20下部的单元。所述机体部10在筒状的壳体11内具备升降装置，利用所述升降装置使臂单元20沿铅直方向升降。升降装置的结构利用图3进行说明。
在壳体11的上部形成有凸缘部12。通过将该凸缘部12支承于在真空罩形成的开口部的边缘部，机器人I成为设置于真空罩的状态。关于这一点，利用图2进行说明。
臂单元20是经由升降凸缘部15与机体部10连接的单元。具体来说，臂单元20 具备固定基座部21、第一臂部22、第二臂部23、可动基座部24以及辅助臂部25。并且，在本实施方式中，固定基座部21、第一臂部22、第二臂部23以及可动基座部24分别对应于第一部件、第二部件、第三部件以及第四部件。
固定基座部21相对于升降凸缘部15被支承成能够旋转。固定基座部21具备由电动机或减速器、轴等构成的回转装置，所述固定基座部21利用所述回转装置进行旋转。利用图3对回转装置的结构进行说明。
第一臂部22的基端部经由减速器以能够旋转的方式连接于固定基座部21的上部。另外，第二臂部23的基端部经由减速器以能够旋转的方式连接于第一臂部22的末端上部。
并且，可动基座部24以能够旋转的方式连接于第二臂部23的末端部。可动基座部24在上部具备用于保持工件的末端执行器24a，该可动基座部24随着第一臂部22和第二臂部23的旋转动作而移动。
在机器人I中，通过使用一个电动机使设于第一臂部22的基端部的减速器和设于第一臂部22的末端部的减速器同步地动作，来使末端执行器24a直线移动。
具体来说，在机器人I中，以第二臂部23相对于第一臂部22的旋转量为第一臂部 22相对于固定基座部21的旋转量的2倍的方式，使第一臂部22和第二臂部23旋转。例如，在机器人I中，以这样的方式使第一臂部22和第二臂部23旋转在第一臂部22相对于固定基座部21旋转了 α度的情况下、第二臂部23相对于第一臂部22旋转2 α度。由此， 末端执行器24a直线移动。
从防止真空罩内的污染等观点出发，减速器、电动机这些驱动机构被收纳在保持为大气压的第一臂部22的内部。由此，即使是将机器人I放置于减压环境下的情况，也能够防止润滑脂等润滑油的干燥，此外，还能够防止因产生灰尘而使真空罩内被污染。
辅助臂部25为连杆机构,其以移动中的末端执行器24a总是朝向固定的方向的方式与第一臂部22和第二臂部23的旋转动作联动地对可动基座部24的旋转进行限制。
具体来说，辅助臂部25具备第一连杆部25a、中间连杆部25b以及第二连杆部 25c。
第一连杆部25a的基端部以能够旋转的方式与固定基座部21连接,第一连杆部 25a在末端部以能够旋转的方式与中间连杆部25b的末端部连接。另外，中间连杆部25b的基端部被与第一臂部22和第二臂部23之间的连接轴同轴地轴支承，中间连杆部25b的末端部以能够旋转的方式与第一连杆部25a的末端部连接。
第二连杆部25c在基端部以能够旋转的方式与中间连杆部25b连接，第二连杆部 25c在末端部以能够旋转的方式与可动基座部24的基端部连接。另外，可动基座部24在末端部以能够旋转的方式与第二臂部23的末端部连接，可动基座部24在基端部以能够旋 转的方式与第二连杆部25c连接。
第一连杆部25a与固定基座部21、第一臂部22以及中间连杆部25b —同形成第一平行连杆机构。即，当第一臂部22以基端部为中心旋转时，第一连杆部25a和中间连杆部 25b 一边保持分别与第一臂部22和固定基座部21平行的状态一边旋转。
另外，第二连杆部25c与第二臂部23、可动基座部24以及中间连杆部25b —同形成第二平行连杆机构。即，当第二臂部23以基端部为中心旋转时，第二连杆部25c和可动基座部24 —边保持分别与第二臂部23和中间连杆部25b平行的状态一边旋转。
中间连杆部25b通过第一平行连杆机构一边保持与固定基座部21平行的状态一边旋转。因此，第二平行连杆机构的可动基座部24也一边保持与固定基座部21平行的状态一边旋转。其结果是，安装在可动基座部24上部的末端执行器24a —边保持与固定基座部21平行的状态一边直线移动。
这样，机器人I利用第一平行连杆机构和第二平行连杆机构这两个平行连杆机构，保持末端执行器24a的方向恒定。因此，与例如将带轮或传动带设在第二臂部内、并利用这些带轮或传动带将末端执行器的方向维持为固定方向的情况相比，能够抑制因带轮或传动带而引起的灰尘产生。
另外，通过辅助臂部25能够提高整个臂的刚性，因此能够降低末端执行器24a动作时的振动。因此，与使用带轮或传动带将末端执行器的方向维持为固定方向的情况相比， 还能够抑制因末端执行器24a动作时的振动而导致产生灰尘。
另外，本实施方式的机器人I具备两组由第一臂部22、第二臂部23、可动基座部24 以及辅助臂部25构成的伸缩臂部。因此，机器人I能够同时平行地进行例如使用一个伸缩臂从某搬送位置取出工件、同时使用另一个伸缩臂将新工件搬送至所述搬送位置等两个作业。
接下来，在对具有本实施方式的机器人I和真空罩的制造装置的结构进行说明之 后，对对接凸缘周围的结构和机器人I向真空罩设置的设置方法进行具体说明。
图2是示出制造装置的结构的示意侧视图。如图2所示，制造装置100具备机器 人I和收纳机器人I的真空罩30。
机器人I的形成于机体部10的凸缘部12经密封部件固定在开口部31的缘部，所 述开口部31形成于真空罩30的底部。由此，真空罩30成为被密闭的状态，利用真空泵等 减压装置使真空罩30内部保持为减压状态。并且，机体部10的壳体11从真空罩30的下 部突出，位于对真空罩30进行支承的支承部35内的空间。
机器人I在该真空罩30内进行工件的搬送作业。例如，机器人I通过使用第一臂 部22和第二臂部23使末端执行器24a直线移动，来经未图示的闸阀从与真空罩30连接的 其它真空罩取出工件。
接着，机器人I在将末端执行器24a拉回后，以回转轴线O为中心使固定基座部21 在水平方向旋转，由此，使臂单元20正对着成为工件的搬送目的地的其它真空罩。然后，机 器人I使用第一臂部22和第二臂部23使末端执行器24a直线移动，由此将工件搬入成为 工件搬送目的地的其它真空罩。
真空罩30与机器人I的形状相对应地形成。例如,如图2所示，在真空罩30的底 面形成有凹部，固定基座部21或升降凸缘部15这样的机器人I的向下方突出的部位收纳 于所述凹部。这样，通过使真空罩30与机器人I的形状相对应地形成，能够减小罩内的容 积。因此，能够容易地维持真空罩30的减压状态。
将真空罩30以能够与外部连通的方式封闭的盖部32设在真空罩30的上部。机 器人I是从盖部32被取下的真空罩30的上方搬入真空罩30内的。
本实施方式的机器人I构成为机体部10和臂单元20在升降凸缘部15能够分割。
具体而言，本实施方式的机器人I的升降凸缘部15由第一对接凸缘15a和第二对 接凸缘15b这两个凸缘构成。第一对接凸缘15a是固定于机体部10侧的凸缘，第二对接凸 缘15b是固定于臂单元20侧的凸缘。本实施方式的机器人I通过利用螺栓等将这些第一 对接凸缘15a和第二对接凸缘15b —体化而成为机体部10和臂单元20 —体化的状态。
而且，在本实施方式中，将机器人I以分割为机体部10和臂单元20的状态搬入真 空罩30内。由此，能够容易地将机器人I设置至真空罩30。
接下来，利用图3说明具有第一对接凸缘15a的机体部10和具有第二对接凸缘 15b的固定基座部21的结构。图3是示出机体部10和固定基座部21的结构的示意剖视 图。
如图3所示，机体部10具备升降装置40。升降装置40是利用未图示的电动机和 变换机构42使轴部43在铅直方向移动的装置。第一对接凸缘15a固定于轴部43的从形 成于凸缘部12的开口部121突出的上端部。
此外，臂单元20具备回转装置60。回转装置60例如通过使带减速器的电动机61 的旋转经带轮64、65和传动带63传递给轴部62，来使轴部62旋转，带减速器的电动机61 由所述电动机61a和减速器61b —体化而构成。轴部62经轴承211可旋转地支承于固定 基座部21，但旋转方向被固定，因此其结果是固定基座部21以轴部62的中心轴线为回转轴 线O在水平方向旋转。
第二对接凸缘15b固定于轴部62的从固定基座部21的下部铅直向下突出的末端 部。
而且，机体部10和臂单元20用螺栓等固定第一对接凸缘15a和第二对接凸缘15b 而一体化，成为机器人I。
这里，如图3所示，在第一对接凸缘15a的上表面设有定位销151，在第二对接凸缘 15b形成有与定位销151卡合的卡合孔153。以定位销151和卡合孔153卡合的状态将第 一对接凸缘15a和第二对接凸缘15b固定，由此相对于机体部10在适当的位置连接臂单元 20。
这样，在本实施方式的机器人I中，作为第一单元的机体部10在上部具有在水平 方向延伸的第一对接凸缘15a，作为第二单元的臂单元20在下部具有在水平方向延伸的第 二对接凸缘15b。这样,在本实施方式的机器人I中，通过固定第一对接凸缘15a和第二对 接凸缘15b，来连接机体部10和臂单元20。因此，能够容易地进行机体部10和臂单元20 的连接作业。
此外，在本实施方式的机器人I中，对第一对接凸缘15a设置作为定位用凸部的定 位销151，在第二对接凸缘15b形成与该定位销151卡合的卡合孔153。因此，相对于机体 部10在正确的位置连接臂单元20。
而且，这里，在第一对接凸缘15a设置定位销151，在第二对接凸缘15b形成卡合 孔153，但还可以在第一对接凸缘15a形成插孔，在第二对接凸缘15b设置定位销。此外，这 里，作为定位用凸部和定位用凹部的一个例子，利用定位销151和卡合孔153进行了说明， 但定位用的凸部和凹部不限定于销和插孔。
此外，这里对回转装置60具有带减速器的电动机61的情况的例子进行了说明，但 电动机和减速器也不一定是一体化的。
接下来，对回转装置60和升降装置40的具体结构进行说明。如图3所示，在回转 装置60的轴部62，沿回转轴线O形成有从轴部62的上端贯通到下端的贯通孔622，在第二 对接凸缘15b也形成有同样的贯通孔154。而且，在这些贯通孔622、154贯穿插入有臂单元 20的配线300。该配线300成为从轴部62的上方通过贯通孔622、154从固定基座部21的 下部垂下的状态。
升降装置40具备变换机构42、轴部43和线性引导部44。变换机构42是将未图示 的电动机的旋转运动变换为直线运动的机构部。具体而言，变换机构42具备滚珠丝杠421 和滚珠螺母422。滚珠丝杠421经轴承112能够旋转地支承于壳体11，滚珠螺母422套装 在滚珠丝杠421上。
轴部43是沿铅直方向延伸的筒状部件。在该轴部43的筒内配设有变换机构42， 变换机构42的滚珠螺母422固定于轴部43的内周面。此外，轴部43在外周面固定于线性 引导部44。
当使未图示的电动机工作时，电动机的旋转经未图示的传动带和带轮而传递给变 换机构42的滚珠丝杠421。然后，通过滚珠丝杠421和滚珠螺母422将电动机的旋转运动 变换为直线运动，固定有滚珠螺母422的轴部43沿线性引导部44升降。
在第一对接凸缘15a沿回转轴线O形成有贯通孔152，臂单元20的配线300经由 该贯通孔152插入轴部43内。插入轴部43内的配线300从形成于轴部43下部的切口部431向轴部43外引出，与设于轴部43外的连接器面板相连接。
这里，变换机构42以靠近轴部43的内周面的状态配置。具体而言，变换机构42以 滚珠丝杠421的中心轴线从轴部43的中心轴线(即回转轴线O)偏移的状态进行配置。由 此，在变换机构42和轴部43的内周面之间形成有配线300的配线空间S。
而且，在轴部43设有引导体450，该引导体450将从上方插入的配线300导向配线 空间S。引导体450是设置成在配线空间S和变换机构42之间覆盖滚珠丝杠421的上部和 侧面的部件，在引导体450，朝向配线空间S形成有倾斜。
这样，在轴部43的筒内设置引导体450，由此不会妨碍滚珠丝杠421和滚珠螺母 422，能够容易地将配线300导向配线空间S。此外，在机器人I的动作中，还能够防止配线 300和变换机构42接触。
下面，对机器人I设置向真空罩30的设置方法进行说明。首先，利用图4对真空 罩30上方的搬入空间的高度尺寸和机器人I的高度尺寸的比较进行说明。图4是真空罩 30上方的搬入空间的高度尺寸和机器人I的高度尺寸的比较图。而且，如图4所示，机器人 I的搬入作业是在取下真空罩30上部的盖部32 (参照图2)的状态下进行的。
机器人I例如利用桥式起重机700被从真空罩30的上方搬入真空罩30内。桥式 起重机700是这样的起重机装置利用钩701将对象物吊起至预定高度，沿着设于顶部750 的行驶道751行驶之后，将吊起的对象物下降到预定位置。
为了将利用桥式起重器700吊起的对象物搬入到真空罩30内，对象物的高度尺寸 必须小于真空罩30上方的搬入空间的高度尺寸X。这里，搬入空间是指用于将位于真空罩 30上方的机器人I搬入真空罩30内的空间，具体而言，是从拉起到最高位置的钩701的下 部到真空罩30的上端部为止的空间。
本实施方式的机器人I的高度尺寸H大于该搬入空间的高度尺寸X。在该情况下， 即使想利用桥式起重机700将机器人I移动到搬入空间，机器人I会与真空罩30的侧壁相 抵触，因此难以将机器人I移动到搬入空间。
因此，本实施方式的机器人I构成为能够将机器人I分割为机体部10和臂单元 20，分别将机体部10和臂单元20搬入真空罩30。
下面，利用图5A和图5B说明本实施方式的机器人I向真空罩30设置的设置方法。 图5A是示出机体部10向真空罩30设置的设置方法的说明图，图5B是示出臂单元20向真 空罩30设置的设置方法的说明图。
如图5A所示，作业者等利用桥式起重器700将机体部10设置至真空罩30。首先， 作业者等将具有套环810的悬吊工具800安装在机体部10之后，将桥式起重器700的钩 701挂到悬吊工具800的套环810将机体部10吊起。
接下来，作业者等通过使桥式起重机700沿行驶道751行驶，使机体部10移动到 真空罩30上方的搬入空间。这里，如图5A所示，机体部10的包含悬吊工具800的高度尺 寸hi小于搬入空间的高度尺寸X。因此，机体部10能够移动到搬入空间而不会与真空罩 30相抵触。
接下来，作业者等操作桥式起重机700使机体部10的壳体11通过真空罩30的开 口部31，将机体部10放置到真空罩30内。由此，机体部10成为在凸缘部12支承于真空 罩30的开口部31的边缘部的状态。
然后，作业者等利用螺栓等将机体部10的凸缘部12与开口部31的边缘部固定。 由此，机体部10向真空罩30的设置结束。而且，在设置到真空罩30的机体部10安装有用 于定位臂单元20的引导部件，关于这一点利用图6进行说明。
机体部10向真空罩30的设置完成之后，作业者等如图5B所示进行臂单元20向 真空罩30的设置。首先，作业者等在将具有套环610的悬吊工具600安装于臂单元20之 后，将桥式起重器700的钩701挂到悬吊工具600的套环610将臂单元20吊起。此时，臂 单元20的配线300成为从臂单元20的下部垂下的状态。
作业者等通过使桥式起重机700沿行驶道751行驶，使臂单元20移动到真空罩30 上方的搬入空间。这里，如图5B所示,臂单元20的包含悬吊工具600的高度尺寸h2小于 搬入空间的高度尺寸X。因此，臂单元20能够移动到搬入空间而不会与真空罩30相抵触。
接下来，作业者等操作桥式起重机700使臂单元20向设置于真空罩30的机体部 10下降。由此，从臂单元20的下部垂下的配线300插入机体部10所具有的升降装置40的 轴部43内(参照图3)。如上所述，在轴部43内，在配线300的配线空间S和变换机构42之 间设有引导体450。因此，作业者等能够使配线300通向配线空间S而不会被变换机构42 妨碍。而且，通到配线空间S的配线300被从切口部431向轴部43外引出，并与连接器面 板相连接。
接下来，作业者等使臂单元20进一步下降，使设于臂单元20下部的第二对接凸缘 15b接近设于机体部10上部的第一对接凸缘15a。
这里，在臂单元20的悬吊工具600形成有与设于机体部10的引导部件成对的定 位用标记，作业者等利用这些引导部件和定位用标记进行臂单元20的大致定位。图6是示 出臂单元20相对于机体部10的大致定位方法的说明图。
如图6所述，在机体部10的凸缘部12上的预定位置安装有圆柱状引导部件125、 126。此外，在臂单元20的悬吊工具600以与引导部件125、126间的间隔相等的间隔形成 有贯通孔602a、603a作为定位用标记。
作业者等将这些引导部件125、126和贯通孔602&、603&作为标记进行臂单元20 的定位。具体而言，作业者等在从上方观察贯通孔602a、603a的情况下，一边调整臂单元20 的位置以使引导部件125、126分别被收于贯通孔602a、603a内，一边使臂单元20向机体部 10下降。
这样，在本实施方式中，在机体部10的凸缘部12设置有能够装卸的定位用的引导 部件125、126，在悬吊工具600形成有与引导部件125、126对应的贯通孔602a、603a。并 且，在本实施方式中，利用这些引导部件125、126和贯通孔602a、603a，进行臂单元20相对 于机体部10的定位。因此，作业者等使臂单元20向机体部10下降的同时能够容易地把握 臂单元20相对于机体部10的大致安装位置。
此外，如上所述，在机体部10的第一对接凸缘15a设有作为定位用凸部的定位销 151，在臂单元20的第二对接凸缘15b设有与定位销151卡合的卡合孔153。由此，作业者 等能够将第二对接凸缘正确地设置于第一对接凸缘15a。
在第一对接凸缘15a上载置第二对接凸缘15b之后，作业者等用螺栓等将第一对 接凸缘15a和第二对接凸缘15b固定。由此，机体部10和臂单元20—体化而成为机器人
而且，如图6所示，臂单元20的悬吊工具600具有上侧支承部件601、下侧支承部 件602、603和连接轴604 606。作业者等首先将下侧支承部件602、603安装于固定基座 部21的下部。安装于固定基座部21的下侧支承部件602、603成为其一部分从固定基座部 21向Y轴负方向突出的状态。在该下侧支承部件602、603的从固定基座部212突出的部分 分别形成有贯通孔602a、603a。
接下来，作业者等将连接轴604、605分别安装于下侧支承部件602、603，将连接轴 606安装于固定基座部21。而且，作业者等将上侧支承部件601安装于连接轴604 606， 用螺栓等将它们紧固。由此，悬吊工具600成为安装于臂单元20的状态。
如上所述，本实施方式中，将机器人构成为能够分割成机体部和臂单元这两个单 元。具体而言，构成为机体部从真空罩的上方搬入真空罩内并且固定于真空罩，臂单元与 固定于真空罩内的机体部相连接。因此能够容易地将机器人设置到真空罩内。
此外，在本实施方式中，机体部的高度尺寸和臂单元的高度尺寸之和大于真空罩 上方的搬入空间的高度尺寸，机体部和臂单元各自的高度尺寸小于搬入空间的高度尺寸。
因此，例如即使在机器人和真空罩大型化而难以确保搬入空间的情况下，通过分 割机器人，也能够容易地进行机器人向真空罩的设置。
而且，在本实施方式中，在机体部设有使臂单元在铅直方向升降的升降装置，在臂 单元设有使伸缩臂以回转轴线为中心旋转的回转装置。由此，与在机体部具有升降装置和 回转装置两者的情况相比，能够将机体部的高度尺寸和臂单元的高度尺寸均等地一致。
因此，与机体部的高度尺寸和臂单元的高度尺寸之差较大的情况相比，即使真空 罩上的搬入空间更小，也能够使机体部和臂单元移动到搬入空间。
而且，在上述的实施方式中，对机器人为搬送工件的搬送机器人的情况的例子进 行了说明，但机器人还可以是进行搬送工件以外的作业的机器人。此外，在上述的实施方式 中，对机器人设于真空罩内的情况的例子进行了说明，但机器人所设置的罩还可以是真空 罩以外的罩。
此外，在上述的实施方式中，对机器人的高度尺寸大于搬送空间的高度尺寸的情 况的例子进行了说明，但机器人的高度尺寸也可以小于搬送空间的高度尺寸。即使在这种 情况下，通过分割机器人向罩内进行搬送，也能够减小一次搬入动作中所搬入的对象物的 重量和大小,能够容易地将机器人搬入到罩内。
此外，在上述的实施方式中，对利用设于建筑物的桥式起重机进行机体部和臂单 元的搬入作业的情况的例子进行了说明，但机体部和臂单元的搬入作业所使用的起重机还 可以是桥式起重机以外的起重机装置。
对本领域人员来说，能够容易地导出进一步的效果和变形例。因此，本发明的更大 范围的方式并不受如以上那样表示并记述的特定的详细内容和代表性的实施方式限定。因 此，只要不脱离由附上的权利要求的范围和其等同物所定义的总的发明的概念的精神或范 围，能够进行各种变更。
权利要求
1.一种机器人,其特征在于，所述机器人具备第一单元，其从罩的上方被搬入所述罩内，并且被固定于所述罩；和第二单元，其从所述罩的上方被搬入所述罩内，并且与已固定于所述罩内的所述第一单元连接。
2.根据权利要求1所述的机器人，其特征在于，所述第一单元的高度尺寸和所述第二单元的高度尺寸之和大于所述罩上方的搬入空间的高度尺寸，所述第一单元和所述第二单元各自的高度尺寸小于所述搬入空间的高度尺寸。
3.根据权利要求1或2所述的机器人，其特征在于，所述第一单元具有使所述第二单元沿铅直方向升降的升降部，所述第二单元具有在水平方向伸缩的臂部和使所述臂部以平行于铅直方向的回转轴线为中心旋转的回转部。
4.根据权利要求3所述的机器人，其特征在于，所述升降部具有电动机、筒状的轴部以及变换机构，所述变换机构配置在所述轴部的筒内，用于将所述电动机的旋转运动变换为直线运动使所述轴部升降，所述轴部具有引导体，该引导体用于将从所述轴部的上方插入的所述第一单元的配线引导向形成在所述轴部的内周面与所述变换机构之间的配线空间。
5.根据权利要求1或2所述的机器人，其特征在于，所述第一单元在上部具有在水平方向延伸的第一凸缘部，所述第二单元在下部具有在水平方向延伸的第二凸缘部，通过将所述第一凸缘部和所述第二凸缘部固定在一起，所述第二单元与所述第一单元连接。
6.根据权利要求5所述的机器人，其特征在于，所述第一凸缘部和所述第二凸缘部中的一方具有定位用的凸部，所述第一凸缘部和所述第二凸缘部中的另一方具有与所述凸部卡合的定位用的凹部。
7.一种机器人的设置方法，其特征在于，所述机器人的设置方法包括固定工序，在该固定工序中，将机器人的第一单元从罩的上方搬入所述罩内并固定于所述罩，和连接工序，在该连接工序中，将所述机器人的第二单元从所述罩的上方搬入所述罩内，并连接至已固定于所述罩内的所述第一单元。
8.根据权利要求7所述的机器人的设置方法，其特征在于，所述连接工序包括设置工序，在该设置工序中，在所述第一单元的预定位置设置定位用部件；和定位工序，在该定位工序中，在将安装有预定工具的所述第二单元从所述罩的上方搬入所述罩内的情况下，利用设置于所述第一单元的定位用部件和形成于所述工具的定位用标记来进行所述第二单元相对于所述第一单元的定位。
9.一种制造装置，其特征在于，该制造装置具备罩和被设置于所述罩的机器人，所述机器人具备第一单元，其从所述罩的上方被搬入所述罩内，并且被固定于所述罩；和第二単元，其从所述罩的上方被搬入所述罩内，并且与已固定于所述罩内的所述第一单元连接。·
全文摘要
本发明提供一种机器人、机器人的设置方法和制造装置。所述机器人能够容易地设置到罩内。实施方式的机器人具备机体部和臂单元。机体部从真空罩的上方被搬入真空罩内，并且被固定于真空罩。此外，臂单元从真空罩的上方被搬入罩内，并且与已固定于罩内的机体部连接。
文档编号B65G49/06GK102992033SQ201210328799
公开日2013年3月27日 申请日期2012年9月7日 优先权日2011年9月8日
发明者古川伸征, 野口忠隆, 大仁健辅 申请人:株式会社安川电机