电子部件输送装置以及电子部件检查装置的制作方法

技术特征：

技术总结
本发明提供一种能够确保作业者的安全并且提高进行维护等时的作业效率的电子部件输送装置以及电子部件检查装置。电子部件输送装置(100)具备能够输送电子部件IC器件(90)的输送部(6)、通过制冷剂进行冷却并能够对输送到的电子部件进行冷却的冷却部、配置有作为冷却部的温度调整部(12)的第一室、以及切换制冷剂的排出目的地的切换部(860)。

技术研发人员：神村辰德
受保护的技术使用者：精工爱普生株式会社
技术研发日：2016.11.11
技术公布日：2017.10.03