并控制所述升降机关闭；
[0033]控制器控制所述升降机处于下电状态，并控制所述驱动组件处于上电状态；
[0034]控制器控制所述驱动组件开启，使所述驱动组件驱动所述移动支架从所述升降平台移出至所述固定平台，当所述移动支架处于所述第二预设位置时，所述第三感应器向所述控制器发出所述第三反馈信号，所述控制器可接收所述第三反馈信号，并控制所述驱动组件关闭；
[0035]控制器控制所述升降机和所述驱动组件均处于下电状态。
[0036]本发明实施例提供的用于上述搬运装置的控制方法，由于当升降平台升降时，控制器控制驱动组件处于下电状态，当移动支架移动时，控制器控制升降机处于下电状态，因此，可防止在升降平台升降的过程中，操作人员的误操作导致移动支架从升降平台或固定平台上移出后发生危险，同时也可防止在移动支架移动的过程中，操作人员的误操作使升降机升降，导致移动支架倾斜后发生危险，从而提高了搬运装置的安全性。
【附图说明】
[0037]图1为现有技术中搬运装置的结构示意图；
[0038]图2为本发明实施例搬运装置的结构示意图；
[0039]图3为本发明实施例搬运装置工作时的示意图；
[0040]图4为本发明实施例搬运装置中驱动组件的结构示意图；
[0041 ]图5为本发明实施例搬运装置中升降平台的结构示意图；
[0042]图6为本发明实施例搬运装置中移动支架的侧视图；
[0043]图7为本发明实施例中高周波匹配箱的端口与真空腔的端口的示意图；
[0044]附图标记:
[0045]1-升降机；11-升降平台；111-限位件；
[0046]12-导轨；2-移动支架；21-滚轮；
[0047]3-待搬运物品；4-驱动组件；41-驱动装置；
[0048]42-齿轮；43-齿条；5_第一感应器；
[0049]51-上升位置感应器；52-下降位置感应器；6-第二感应器；
[0050]7-真空腔；8-固定平台；9-第三感应器。
【具体实施方式】
[0051]下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
[0052]在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
[0053]在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接;可以是机械连接，也可以是电连接;可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
[0054]术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。
[0055]本发明实施例提供了一种搬运装置，如图2所示，包括:升降机1，升降机I包括升降平台11，升降平台11可自动升降;移动支架2，移动支架2用于放置待搬运物品3;驱动组件4，驱动组件4可驱动移动支架2移入升降平台11或从升降平台11上移出。
[0056]本发明实施例提供的一种搬运装置，通过升降平台11的自动升降，使升降平台11移动至所需的高度，然后通过驱动组件4来驱动移动支架2移动，从而带动待搬运物品3移入升降平台11或从升降平台11上移出。由于升降平台11可自动升降，且驱动组件4可驱动移动支架2移入升降平台11或从升降平台11上移出，因此，该搬运装置在升降平台11升降的过程中以及在待搬运物品3移入升降平台11或从升降平台11上移出的过程中，均无需多人操作，从而大幅度节省了人员的手动作业，进而使人工操作更方便，同时也避免了操作人员受伤、周围的其他设备和线路被损坏以及人工成本增加的问题。
[0057]为了使升降平台11能够准确的停止在需要的高度，本实施例中的搬运装置还包括:第一感应器5，第一感应器5用于检测升降平台11的高度;控制器(图中未示出)，所述控制器分别与第一感应器5和升降机I连接；当升降平台11的高度等于预设高度时，第一感应器5可向所述控制器发出第一反馈信号，所述控制器可接收所述第一反馈信号，并控制升降机I关闭。由此使得当升降机I关闭时，升降平台11恰好处于所述预设高度，从而使升降平台11能够准确的停止在需要的高度。
[0058]具体的，参照图4至图6，上述的驱动组件4包括驱动装置41以及相互啮合的齿轮42和齿条43，驱动装置41固定于移动支架2上，齿轮42套接于驱动装置41的输出轴上，齿条43固定于升降平台11上。当驱动装置41开启时，驱动装置41可带动齿轮42转动，从而使齿轮42沿齿条43的延伸方向滚动，进而驱动移动支架2沿齿条43的延伸方向移入升降平台11或从升降平台11上移出。齿轮齿条不仅传动效率高，而且寿命长、工作平稳、可靠性高，可提升搬运装置工作时的稳定性，延长搬运装置的使用寿命。
[0059]为了使移动支架2在升降平台11上的移动更平稳，参照图4和图5，本实施例中移动支架2上设置有滚轮21，升降平台11上设置有导轨12，导轨12优选为两排，滚轮21配合设置于导轨12内，滚轮21可在导轨12内滚动。由此，使得移动支架2可按特定的方向移动，从而减小了移动支架2的晃动，进而使移动支架2在升降平台11上的移动更平稳。
[0060]为了使移动支架2能够准确的停止在升降平台11上的特定位置，参照图5，本实施例中的搬运装置还包括设置于升降平台11上的第二感应器6，第二感应器6和驱动组件4均与所述控制器连接，第二感应器6用于检测移动支架2在升降平台11上所处的位置；当移动支架2处于升降平台11上的第一预设位置时，第二感应器6可向所述控制器发出第二反馈信号，所述控制器可接收所述第二反馈信号，并控制驱动组件4关闭。由此使得当驱动组件4关闭时，移动支架2恰好处于第一预设位置，从而使移动支架2能够准确的停止在升降平台11上的特定位置。
[0061]在上述实施例的基础上，升降平台11包括限位件111，如图5所示，当移动支架2处于所述第一预设位置时，移动支架2与限位件111抵靠，限位件111可阻挡移动支架2的移动。限位件111可以为限位挡板，通过限位件111的限位可以对移动支架2进行二重保护，防止第二感应器6故障不能准确检测移动支架2所处的位置，保证移动支架2能够停在升降平台11上的特定位置。
[0062]为了使升降平台11能够准确的停止在不同的高度，参照图3，第一感应器5包括上升位置感应器51和下降位置感应器52，上升位置感应器51和下降位置感应器52均与所述控制器