贴膜装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及贴膜装置，特别涉及一种利用新颖的蓝膜尺寸搭配切膜结构设计以大幅降低废膜量的贴膜装置。
【背景技术】
[0002]一般晶圆在加工过程中，为了保护晶圆以及由晶圆切割而成的晶粒，通常会利用一台贴膜机将贴膜粘贴在一个载板上，晶圆即可粘贴在贴膜上，并受到该载板的保护。为了制作尺寸大小符合需要的贴膜，如图1A所示，贴膜机大都先在一个机台上架设一个膜卷16及一收废膜卷18，膜卷的宽度大于铁环12尺寸，再凭借切膜机构的一刀具10沿着铁环12中的内圆沿圆形切割胶膜14后，如图1B所示，使膜卷16上的胶膜14被裁切呈现一个个的圆形镂空孔142，接着将废膜卷收至收废膜卷18上。如此贴摸方式，并无法将废膜做后续利用，最后剩下的胶膜成为废料丢弃，而有浪费资源及制程高成本的顾虑。
[0003]有鉴于此，本实用新型遂针对上述【背景技术】的缺失，提出一种贴膜装置，以有效克服上述问题。
【实用新型内容】
[0004]本实用新型的主要目的在于提供一种贴膜装置，其利用最节省的封膜材料完成贴膜效果，以达到有效利用资源及节省胶膜成本的功效。
[0005]为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是:
[0006]一种贴膜装置，其特征在于，包括:
[0007]—工作平台；
[0008]一移载基座，设于该工作平台上，该移载基座包含相邻的一半圆移载盘、一圆形移载盘以及对称的两个第一三角形压膜块，该两个第一三角形压膜块分别位于该半圆移载盘与该圆形移载盘相邻侧的相对位置，该半圆移载盘及该圆形移载盘能够用于承载一铁环；
[0009]一滚轮机构，设于该工作平台上，且位于该移载基座的侧边，该滚轮机构能够将一蓝膜连续贴附于该半圆移载盘的该铁环及该两个第一三角形压膜块上，且该蓝膜的宽度等于或略小于该铁环的环径；及
[0010]一切膜机，设于该工作平台上，且位于该滚轮机构的侧边，该切膜机包含反向相邻设置的两个弧状加热器及对称的两个第二三角形压膜块，该两个第二三角形压膜块分别位于该两个弧状加热器相邻侧的相对位置，该两个弧状加热器的相邻处设有一直热切刀，每一该弧状加热器的两端侧边分别设有一圆弧热切刀，使每一该圆弧热切刀位于该两个第二三角形压膜块与该两个弧状加热器之间，利用该两个第一三角形压膜块及该两个第二三角形压膜块对应压抵，并同时凭借该圆弧热切刀切断该两个第一三角形压膜块上的该蓝膜以形成两个三角形废料，该直热切刀对应该半圆移载盘与该圆形移载盘的相邻位置，用于切断该半圆移载盘与该圆形移载盘上相连的该蓝膜。
[0011]所述的贴膜装置中:该滚轮机构包含一滚轮上下作动器、电性连接该滚轮上下作动器的一蓝膜膜卷及一滚轮，利用该滚轮上下作动器驱动该蓝膜膜卷连续将该蓝膜覆盖于该铁环及该两个第一三角形压膜块上，并经该滚轮压合该蓝膜予以贴附固定。
[0012]所述的贴膜装置中，还包含:
[0013]—斜滚轮，其对应该滚轮设置；以及
[0014]一斜滚轮作动器，其连结该斜滚轮以控制该斜滚轮的滚动，及靠近或远离该滚轮与该蓝膜，在该斜滚轮靠近该滚轮与该蓝膜时，该斜滚轮与该滚轮压着该蓝膜，以将其侧向撑开。
[0015]所述的贴膜装置中，该半圆移载盘及该圆形移载盘上分别设有复数个电磁铁，其对应该铁环的复数个吸嘴部，该复数个电磁铁定位吸附该铁环的该复数个吸嘴部。
[0016]所述的贴膜装置中，该移载基座还包含一倾斜驱动器，能够驱动该半圆移载盘、该圆形移载盘及该两个第一三角形压膜块倾斜作动。
[0017]所述的贴膜装置中，该移载基座还包含一第一驱动器，电性连接该两个第一三角形压膜块，每一该第一三角形压膜块具有复数个开孔，且每一该开孔内设有一上顶销，该第一驱动器驱动该两个第一三角形压膜块作动以撕扯位于其上的该蓝膜，以及使每一该上顶销能够伸出该复数个开孔外并将该两个三角形废料移动至该两个第二三角形压膜块上。
[0018]所述的贴膜装置中，该切膜机还包含电性连接该两个第二三角形压膜块的一第二驱动器及一真空管路，该第二驱动器驱动该两个第二三角形压膜块对应压抵至该两个第一三角形压膜块，该真空管路吸附该两个三角形废料或吹气将该两个三角形废料掉落至一废料桶内。
[0019]所述的贴膜装置中，还包括一切刀上下作动器，设于该工作平台上，电性连接该切膜机，该切刀上下作动器控制该切膜机移动至位于其侧边的该废料桶位置，能凭借该直热切刀切断该半圆移载盘与该圆形移载盘上相连的该蓝膜，并将该两个三角形废料经该真空管路吹气掉落至该废料桶内。
[0020]所述的贴膜装置中，该两个弧状加热器内分别还设有一加热管线，用于导热至该圆弧热切刀，以热融切断位于该两个第一三角形压膜块上的该蓝膜。
[0021]所述的贴膜装置中，该两个第二三角形压膜块分别还设有至少两个弹簧，使该两个第一三角形压膜块压抵后能够弹性复位。
[0022]所述的贴膜装置中，还包括二压铁环机，分别设于该工作平台的相对侧上，并位于该滚轮机构与该切膜机之间，用于压抵位于该铁环上的该蓝膜。
[0023]所述的贴膜装置中，该圆形移载盘还设一晶圆承载座，用于承载一晶圆，且该位于该铁环中间位置，使该蓝膜能够同时覆盖于该铁环及该晶圆上。
[0024]所述的贴膜装置中，该半圆移载盘及该圆形移载盘的周缘分别凸设有一挡块，以抵挡该铁环位移至该半圆移载盘或该圆形移载盘外。
[0025]所述的贴膜装置中，还包括一物料移载机，设于该工作平台上，且位于该切膜机的侧边，该物料移载机移载已完成切膜处理的具有该蓝膜的该铁环至一出料装置，该出料装置位于该工作平台的侧边。
[0026]所述的贴膜装置中，该物料移载机具有一夹持元件，其一侧设有一凹槽，使该铁环的侧边嵌入至该凹槽内，且该凹槽高度大于该铁环厚度，该夹持元件的另一侧为推料端，将具有该蓝膜的该铁环推送至该出料装置。
[0027]所述的贴膜装置中，还包括一翻转机，设于该工作平台上，且位于该物料移载机的侧边，该翻转机能够将已完成切膜处理的具有该蓝膜的该铁环翻转角度为180度，使该蓝膜的粘着面朝上。
[0028]所述的贴膜装置中，还包括一入料机，位于该移载基座的侧边，能够自动或手动将复数个铁环依序放置于该圆形移载盘上。
[0029]与现有技术相比较，采用上述技术方案的本实用新型具有的优点在于:当半圆移载盘及圆形移载盘移动至切膜机的对应位置时，利用两个第一三角形压膜块及两个第二三角形压膜块对应压抵，并同时凭借四片圆弧热切刀切断两个第一三角形压膜块上的蓝膜，以形成两个三角形废料，此时，直热切刀对应半圆移载盘与圆形移载盘的相邻位置，凭借移动切膜机以切断半圆移载盘与圆形移载盘上相连的蓝膜；如此一来，蓝膜只会产生两个三角形废料，能够有效降低废膜量。
【附图说明】
[0030]图1A及图1B为现有技术的贴I旲后裁切状态不意图；
[0031]图2为本实用新型的结构示意图；
[0032]图3为本实用新型的结构俯视图；
[0033]图4为本实用新型的切膜机的热切刀局部放大图
[0034]图5为本实用新型的贴膜后裁切状态示意图；
[0035]图6A?图6G图为本实用新型的贴膜装置的运作流程示意图；
[0036]图7为本实用新型的已贴膜出料的示意图。
[0037]附图标记说明:10刀具；12铁环；14胶膜；16膜卷；18收废膜卷；142圆形镂空孔；20工作平台；21铁环轨道；22移载基座；222倾斜驱动器；224第一驱动器；24滚轮机构；242滚轮上下作动器；244蓝膜膜卷；246滚轮；248蓝膜；249三角形废料；251斜滚轮；253斜滚轮作动器；26切膜机；262第二驱动器；264真空管路；28半圆移载盘；30圆形移载盘；302晶圆承载座；32、32’第一三角形压膜块；322、322’开孔；34铁环