专利名称：推板式连续气氛烧结炉的制作方法
技术领域：
本实用新型属连续式气氛烧结炉技术领域，特别是指一种添加气氛气体来烧结电子组件的推板式连续气氛烧结炉。
背景技术：
在电子组件的制程中，需导入不同的气氛气体于窑炉内烧结，烧结是一个相当重要的制程，因为烧结制程关系到电子组件质量的好坏。以热导管的烧结为例，在烧结时是不允许有氧气存在的，也就是要添加气氛气体如氢气、氮气等气体做为保护，因此在烧结程序中，如何保持炉内气氛环境，已成为电子组件制程中影响质量的关键。现有热导管的烧结大都采用网带式的气氛烧结炉，但是由于网带的输送方式为开放式，无法密封整个炉体，为维持烧结程序的气氛环境，必须不断的提供气氛气体，即由炉体中央导入气氛气体，而由炉体二侧排出，通过排出的气氛气体来防止炉外空气进入炉内，因此消耗的气氛气体量很大，且金属制网带经不断高温、冷却的重复使用，造成表面容易氧化，使其寿命有限成为其缺点。此即为现有技术存在的最大缺陷，此缺陷成为业界亟待克服的难题。
实用新型内容本实用新型的目的在于提供一种推板式连续气氛烧结炉，主要由炉体、内输送道、外输送道及交换系统构成，该内输送道设于炉体内部，并连结设于炉体二侧的交换系统，外输送道设于炉体外部，并连结炉体二侧的交换系统，以做为置放待烧结电子组件载具的输送平台，该炉体为密闭式，并导入保护用气氛气体，且依制程区分有烧结段与冷却段，烧结段内具有耐热材及视烧结程序所需温度的加热组件，冷却段具有冷却装置，设于炉体二侧之交换系统各具有二道气密门，并形成一交换室，当载具被送进炉体前，炉体头端的二道气密门为封闭，待交换室内抽真空并导入气氛气体至与炉体内相同气氛环境后，炉内侧气密门方打开将载具推入炉体内，当载具要送出炉体前，炉体尾端的二道气密门为封闭，且交换室内已经抽真空并导入气氛气体至与炉体内相同气氛环境，炉内侧气密门方打开将载具推入交换室内，具有避免炉体内混入炉外空气来提高电子组件烧结质量的功效；所述内输送道具有凹状炉床。
本实用新型具有以下优点1.本实用新型采用了二道气密门结构，形成了一交换室，有效避免了炉体内混入炉外空气，提高了电子组件烧结的质量。
2.本实用新型采用了凹状炉床，可以很好维持载具的行进路线。
图1为本实用新型实施例的仰视图。
图2为本实用新型实施例的本实用新型实施例剖视图。
图3为本实用新型实施例的本实用新型烧结段剖面图。
图4为本实用新型实施例的头交换系统仰视图。
图5为本实用新型实施例的尾交换系统仰视图。
图中标号说明如下1炉体10烧结段 11冷却段12耐热材 13加热组件14冷却装置2内输送道20凹状炉床3外输送道4交换系统40头交换系统 401气密门
402气密门 403交换室404头承接系统 405头位移系统406头推进系统41尾交换系统411气密门412气密门 413交换室414尾承接系统 415尾位移系统416尾推出系统5载具50推板具体实施方式
如图1、2、3、4和5所示，本实用新型主要由炉体1、内输送道2、外输送道3及交换系统4所构成，该内输送道2系设于炉体1内部，并连结设于炉体1二侧之交换系统4，交换系统4包括有设于炉体1头端的头交换系统40及设于炉体1尾端的尾交换系统41，其内可设有凹状炉床20，该凹状炉床20用为维持载具5的行进路线，其材质选用石墨，可得到较好的导热性、耐热性及润滑度，载具材料也以石墨为好，外输送道3设于炉体1外部，并连结炉体1二侧的交换系统4，以做为置放待烧结电子组件载具5的输送平台，载具5为置设待烧结电子组件用，载具5底端为推板50，载具5可置于推板50上，或与推板50结合成一体，该炉体1为密闭式，并导入保护用气氛气体，且依制程区分有烧结段10与冷却段11，烧结段10内具有耐热材12及视烧结程序所需温度的加热组件13，冷却段11具有冷却装置14，冷却装置14为现有技术，在此不再赘述，设于炉体1二侧的交换系统4各具有二道气密门，头交换系统40具有炉内侧气密门401及炉外侧气密门402，尾交换系统41具有炉内侧气密门411及炉外侧气密门412，头交换系统40于二气密门401、402间形成一交换室403，尾交换系统41于二气密门411、412间形成一交换室413，当载具5被送进炉体1前，头交换系统40的二道气密门401、402为封闭，如图4所示，载具5通过头承接系统404由外输送道3移至交换室403，此时炉内侧气密门401为封闭，而炉外侧气密门402在开启让载具5进入交换室403后再封闭，待交换室403内抽真空并导入气氛气体至与炉体1内相同气氛环境后，炉内侧气密门401方打开将载具5推入炉体1内，当交换室403内达炉内相同气氛环境后，炉内侧气密门401开启，载具5由头位移系统405移至炉头端，再通过头推进系统406推入炉体1内输送道2，当载具5要送出炉体1前，尾交换系统41二道气密门411、412为封闭，交换室413已先抽真空并导入气氛气体至与炉体1内相同气氛环境，炉内侧气密门411方打开将载具5推入交换室413内，如图5所示，载具5通过尾承接系统414由内输送道2移至尾交换系统41，再由尾位移系统415移至交换室413，此时炉外侧气密门412为封闭，而炉内侧气密门411在开启让载具5进入交换室413后再封闭，此时再通过尾推出系统416将载具5推出至外输送道3，而炉外侧气密门412再封闭，并抽真空并导入气氛气体至与炉体1内相同气氛环境，以待下组载具6的被推入，由于炉体1二侧的交换系统4具有封闭的交换室设计，能避免炉外空气混入炉体内，得以保持炉内一致的气氛环境，故能提高电子组件烧结质量的功效，与现有网带式相比，也能有效的降低气氛气体使用量。
以上所述，仅为本实用新型一个较好的可行实施例，不限制本实用新型的保护范围，凡是本领域内的技术人员运用本实用新型说明书及申请专利范围所作的等效结构变化，理应包括于本实用新型的专利保护范围内。
权利要求1.一种推板式连续气氛烧结炉，主要由炉体、内输送道、外输送道及交换系统构成，该内输送道设于炉体内部，并连结设于炉体二侧的交换系统，外输送道设于炉体外部，并连结炉体二侧的交换系统，该炉体为密闭式，依制程区分有烧结段与冷却段，烧结段内具有耐热材及视烧结程序所需温度的加热组件，冷却段具有冷却装置，其特征在于设于炉体二侧的交换系统各具有二道气密门，并形成一交换室。
2.根据权利要求1所述的推板式连续气氛烧结炉，其特征在于该内输送道具有凹状炉床。
专利摘要一种推板式连续烧结炉，其主要由炉体、内输送道、外输送道及交换系统构成，该内输送道设于炉体内部，并连结设于炉体二侧的交换系统，外输送道设于炉体外部，并连结炉体二侧的交换系统，该炉体为密闭式，并导入保护用气氛气体，且依制程区分有烧结段与冷却段，设于炉体二侧的交换系统各具有二道气密门，并形成一交换室，当交换室内抽真空并导入气氛气体至与炉体内相同气氛环境后，炉内侧气密门打开将载具推入炉体内，当载具要送出炉体前，二道气密门为封闭，待交换室内抽真空并导入气氛气体至与炉体内相同气氛环境后，炉内侧气密门方打开将载具推入交换室内，具有避免炉体内混入炉外空气来提高电子组件烧结质量的功效。
文档编号F27D7/00GK2769802SQ20042011560
公开日2006年4月5日 申请日期2004年11月16日 优先权日2004年11月16日
发明者秦文隆 申请人:秦文隆