1.一种改变工件表面活性的清理设备，其特征在于：包括依次设置的真空碳氢清洗装置、真空干燥装置以及气相清洗装置，所述真空碳氢清洗装置、真空干燥装置以及气相清洗装置之间通过传送装置进行工件的传送，所述真空碳氢清洗装置和真空干燥装置之间设置有真空回收装置，所述气相清洗装置包括气相清洗槽、气体供应装置、射频电源以及真空泵，所述气体供应装置和真空泵均与气相清洗槽管道连接，所述射频电源的连接端进入气相清洗槽内部，所述气相清洗槽上设置有接地线。
2.根据权利要求1所述的清理设备，其特征在于：所述真空碳氢清洗装置包括依次连接并形成回路的真空清洗槽、循环泵以及过滤器，所述真空清洗槽内部设置有碳氢溶液。
3.根据权利要求2所述的清理设备，其特征在于：所述真空清洗槽上设置过滤循环装置，所述的过滤循环装置包括依次连接的第一辅槽、过滤罐、蒸馏回收机、第二辅槽以及补液泵，第一辅槽和补液泵均与真空清洗槽连接，所述蒸馏回收机连接有废液槽。
4.根据权利要求2或3所述的清理设备，其特征在于：所述真空碳氢清洗装置的数量为两个，两个真空碳氢清洗装置通过管道连接，其中一个真空碳氢清洗装置与与第一辅槽管道连接，另一个真空碳氢清洗装置与补液泵管道连接。
5.根据权利要求1～3中任一项所述的清理设备，其特征在于：所述真空干燥装置包括真空干燥槽、缓冲罐以及热煤油套，所述热煤油套设置于真空干燥槽的侧面，所述真空干燥槽与缓冲罐管道连接，所述缓冲罐与真空回收装置管道连接。
6.根据权利要求5所述的清理设备，其特征在于：所述真空干燥装置的数量为两个，两个真空干燥装置通过管道连接，两个真空干燥装置的缓冲罐均与真空回收装置连接。
7.根据权利要求6所述的清理设备，其特征在于：两个所述真空干燥装置之间的管道上连接有蒸汽发生装置，所述蒸汽发生装置通过管道分别与第一辅槽和第二辅槽连接。
8.根据权利要求7所述的清理设备，其特征在于：所述真空回收装置包括冷凝罐、真空泵以及真空加速泵，所述冷凝罐由下至上依次设置有凝液槽、冷凝栅格、排气槽以及冷盘管，所述冷盘管内设置有冷却水，所述真空清洗槽通过真空泵与凝液槽管道连接，所述缓冲罐依次通过真空加速泵、真空泵与凝液槽管道连接。
9.根据权利要求1所述的清理设备，其特征在于：所述气体供应装置选自但不局限于氧气瓶、氩气瓶。
10.根据权利要求1所述的清理设备，其特征在于：所述真空泵与气相清洗槽之间的管道上设置有真空加速泵。