歧管清洗装置及歧管清洗方法与流程

本发明涉及管道清洗领域，特别是涉及一种歧管清洗装置及歧管清洗方法。

背景技术：

光刻胶涂布装置需要通过歧管与光刻胶桶连接，以将光刻胶桶中的光刻胶通过歧管传输至光刻胶涂布装置上。该歧管一般由通气歧管和通液歧管组成，cda(cleandryair，压缩空气)通过通气歧管压入到光刻胶桶中，使得光刻胶桶形成正压，在光刻胶桶正压的情况下，光刻胶桶中的光刻胶通过通液歧管传输至光刻胶涂布装置上。

现有的歧管无法进行清洗，只能对歧管表面进行简单擦拭，随着使用次数的增加，歧管内部会形成光刻胶结晶，该光刻胶结晶会对光刻胶涂布装置上的光刻胶管路造成污染。

故，有必要提供一种歧管清洗装置，以解决现有技术所存在的问题。

技术实现要素：

本发明的目的在于提供一种可对歧管进行有效清洗的歧管清洗装置；以解决现有的歧管无法进行有效清洗，从而对光刻胶管路造成污染的技术问题。

本发明实施例提供一种歧管清洗装置，其包括：

歧管清洗容器，具有一设置在所述歧管清洗容器的顶部的密封口以及设置在所述歧管清洗容器的底部的清洗孔；

歧管容器盖，设置在所述歧管清洗容器的开口，用于密封所述密封口，所述歧管容器盖设置有至少一个用于固定歧管的歧管固定孔以及至少一个排气孔；

溶剂清洗管道，设置在所述歧管容器盖的上方，一端与所述歧管连接，另一端输入清洗溶剂；以及

压缩空气清洗管道，设置在所述歧管容器盖的上方，一端与所述歧管连接，另一端输入压缩空气。

在本发明所述的歧管清洗装置中，所述歧管包括通液歧管以及通气歧管，所述歧管固定孔包括用于固定所述通液歧管的通液歧管固定孔以及用于固定所述通气歧管的通气歧管固定孔；

所述通液歧管的一端分别与所述溶剂清洗管道和所述压缩空气清洗管道连接；所述通液歧管的另一端接近所述清洗孔；

所述通气歧管的一端分别与所述溶剂清洗管道和所述压缩空气清洗管道连接；所述通气歧管的另一端接近所述歧管清洗容器的密封口。

在本发明所述的歧管清洗装置中，所述通液歧管的长度大于所述通气歧管的长度。

在本发明所述的歧管清洗装置中，所述溶剂清洗管道包括用于控制所述溶剂清洗管道的第一开关，所述压缩空气清洗管道包括用于控制所述压缩空气清洗管道的第二开关。

本发明还提供一种歧管清洗装置对歧管进行清洗的歧管清洗方法，所述歧管清洗装置包括：

歧管清洗容器，具有一设置在所述歧管清洗容器的顶部的密封口以及设置在所述歧管清洗容器的底部的清洗孔；

歧管容器盖，设置在所述歧管清洗容器的开口，用于密封所述密封口，所述歧管容器盖设置有至少一个用于固定歧管的歧管固定孔以及至少一个排气孔；

溶剂清洗管道，设置在所述歧管容器盖的上方，一端与所述歧管连接，另一端输入清洗溶剂；以及

压缩空气清洗管道，设置在所述歧管容器盖的上方，一端与所述歧管连接，另一端输入压缩空气；其中所述歧管清洗方法包括：

将所述歧管固定在所述歧管固定孔上，并关闭所述清洗孔；

将所述溶剂清洗管道和所述压缩空气清洗管道与所述歧管一端连接；

通过所述溶剂清洗管道输入清洗溶剂，以便所述歧管在所述清洗溶剂中进行浸泡清洗；

开启所述清洗孔将所述清洗溶剂排出；以及

通过所述压缩空气清洗管道输入压缩空气，以便将所述歧管吹干。

在本发明所述的歧管清洗方法中，所述通过所述溶剂清洗管道输入清洗溶剂的步骤之前还包括：

通过所述压缩空气清洗管道输入压缩空气，以便对所述歧管进行吹洗操作。

在本发明所述的歧管清洗方法中，所述歧管包括通液歧管以及通气歧管，所述歧管固定孔包括用于固定所述通液歧管的通液歧管固定孔以及用于固定所述通气歧管的通气歧管固定孔；

所述通液歧管的一端分别与所述溶剂清洗管道和所述压缩空气清洗管道连接；所述通液歧管的另一端接近所述清洗孔；

所述通气歧管的一端分别与所述溶剂清洗管道和所述压缩空气清洗管道连接；所述通气歧管的另一端接近所述歧管清洗容器的密封口。

在本发明所述的歧管清洗方法中，所述通液歧管的长度大于所述通气歧管的长度。

在本发明所述的歧管清洗方法中，所述溶剂清洗管道包括用于控制所述溶剂清洗管道的第一开关，所述压缩空气清洗管道包括用于控制所述压缩空气清洗管道的第二开关。

在本发明所述的歧管清洗方法中，当通过所述溶剂清洗管道输入清洗溶剂时，所述第一开关开启，所述第二开关关闭；

当通过所述压缩空气清洗管道输入压缩空气，所述第一开关关闭，所述第二开关开启。

本发明的歧管清洗装置及歧管清洗方法通过将歧管固定在歧管清洗容器中，随后通过溶剂清洗管道和压缩空气清洗管道进行清洗，从而实现了对歧管的有效清洗，解决了现有的歧管无法进行有效清洗，从而对光刻胶管路造成污染的技术问题。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。其中：

图1为本发明的歧管清洗装置的优选实施例的结构示意图；

图2为本发明的歧管清洗装置对应的歧管清洗方法的流程图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性的劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

请参照图1，图1为本发明的歧管清洗装置的优选实施例的结构示意图。本优选实施例的歧管清洗装置10包括歧管清洗容器11、歧管容器盖12、溶剂清洗管道13以及压缩空气清洗管道14。

歧管清洗容器11具有一设置在歧管清洗容器的顶部的密封口(图中未示出)以及设置在歧管清洗容器的底部的清洗孔111。歧管容器盖12设置在歧管清洗容器的开口，用于密封密封口，歧管容器盖12设置有至少一个用于固定歧管的歧管固定孔以及至少一个排气孔121；溶剂清洗管道13设置在歧管容器盖12的上方，一端与歧管连接，另一端输入清洗溶剂；压缩空气清洗管道14设置在歧管容器盖12的上方，一端与歧管连接，另一端输入压缩空气。

具体的，歧管包括通液歧管151以及通气歧管152，歧管固定孔包括用于固定通液歧管151的通液歧管固定孔121以及用于固定通气歧管152的通气歧管固定孔122；通液歧管151的一端分别与溶剂清洗管道13和压缩空气清洗管道14连接；通液歧管151的另一端接近清洗孔111；通气歧管152的一端分别与溶剂清洗管道13和压缩空气清洗管道14连接；通气歧管152的另一端接近歧管清洗容器11的密封口。其中通液歧管151的长度大于通气歧管152的长度。

此外溶剂清洗管道13包括用于控制溶剂清洗管道13的第一开关131，压缩空气清洗管道14包括用于控制压缩空气清洗管道14的第二开关141。

本优选实施例的歧管清洗装置10使用时，首先将歧管固定在歧管容器盖12的歧管固定孔上，具体的，通液歧管151固定在通液歧管固定孔121上，通气歧管152固定在通气歧管固定孔122上。

随后将歧管容器盖12闭合在歧管清洗容器11的开口处，以密封歧管清洗容器的密封口，同时关闭清洗孔111。

随后打开压缩空气清洗管道14上的第二开关141，关闭溶剂清洗管道13上的第一开关131，压缩空气清洗管道14上的压缩空气对通液歧管151以及通气歧管152进行吹洗操作，即将通液歧管151中残留的光刻胶排出至歧管清洗容器中；同时压缩空气从歧管容器盖12上的排气孔121排出。

然后将压缩空气清洗管道14上的第二开关141关闭，打开溶剂清洗管道13上的第一开关131，清洗溶剂通过溶剂清洗管道13输入至歧管清洗容器12中，这样通液歧管151以及通气歧管152可以在歧管清洗容器11中的清洗溶剂中进行浸泡清洗操作。这里优选将通液歧管151完全浸泡在清洗溶剂中。

随后同时关闭第一开关131和第二开关141，打开歧管清洗容器11底部的清洗孔111，这样从清洗孔111将歧管清洗容器11中的清洗溶剂排出。

然后将溶剂清洗管道13上的第一开关131关闭，打开压缩空气清洗管道14上的第二开关141，这样压缩空气可以对通液歧管151以及通气歧管152上残留的清洗溶剂进行吹干操作。这里优选通液歧管151的另一端接近清洗孔111，通气歧管152的另一端接近歧管清洗容器11的密封口，这样通气歧管152的排出的压缩空气可以很好将清洗溶剂从清洗孔111中排出。

最后将通液歧管151和通气歧管152从歧管容器盖12的歧管固定孔上取出，这样即完成了本优选实施例的歧管清洗装置10的歧管清洗流程。

本优选实施例的歧管清洗装置通过歧管清洗容器的设置可对歧管进行有效清洗。

本发明还提供一种歧管清洗方法，请参照图2，图2为本发明的歧管清洗装置对应的歧管清洗方法的流程图。本优选实施例的歧管清洗方法可使用上述的歧管清洗装置进行实施。

改歧管清洗装置包括歧管清洗容器、歧管容器盖、溶剂清洗管道以及压缩空气清洗管道。

歧管清洗容器具有一设置在歧管清洗容器的顶部的密封口以及设置在歧管清洗容器的底部的清洗孔。歧管容器盖设置在歧管清洗容器的开口，用于密封密封口，歧管容器盖设置有至少一个用于固定歧管的歧管固定孔以及至少一个排气孔；溶剂清洗管道设置在歧管容器盖的上方，一端与歧管连接，另一端输入清洗溶剂；压缩空气清洗管道设置在歧管容器盖的上方，一端与歧管连接，另一端输入压缩空气。

具体的，歧管包括通液歧管以及通气歧管，歧管固定孔包括用于固定通液歧管的通液歧管固定孔以及用于固定通气歧管的通气歧管固定孔；通液歧管的一端分别与溶剂清洗管道和压缩空气清洗管道连接；通液歧管的另一端接近清洗孔；通气歧管的一端分别与溶剂清洗管道和压缩空气清洗管道连接；通气歧管的另一端接近歧管清洗容器的密封口。其中通液歧管的长度大于通气歧管的长度。

溶剂清洗管道包括用于控制溶剂清洗管道的第一开关，压缩空气清洗管道包括用于控制压缩空气清洗管道的第二开关。

本优选实施例的歧管清洗方法包括：

步骤s201，将歧管固定在歧管固定孔上，并关闭清洗孔；

具体的，通液歧管固定在通液歧管固定孔上，通气歧管固定在通气歧管固定孔上，随后将歧管容器盖闭合在歧管清洗容器的开口处，以密封歧管清洗容器的密封口，同时关闭清洗孔。

步骤s202，将溶剂清洗管道和压缩空气清洗管道与歧管一端连接；以便进行清洗操作。

步骤s203，通过压缩空气清洗管道输入压缩空气，以便对歧管进行吹洗操作。

具体的，打开压缩空气清洗管道上的第二开关，压缩空气清洗管道上的压缩空气对通液歧管以及通气歧管进行吹洗操作，即将通液歧管中残留的光刻胶排出至歧管清洗容器中；同时压缩空气从歧管容器盖上的排气孔排出。

步骤s204，通过溶剂清洗管道输入清洗溶剂，以便歧管在清洗溶剂中进行浸泡清洗；

具体的，将压缩空气清洗管道上的第二开关关闭，打开溶剂清洗管道上的第一开关，清洗溶剂通过溶剂清洗管道输入至歧管清洗容器中，这样通液歧管以及通气歧管可以在歧管清洗容器中的清洗溶剂中进行浸泡清洗操作。这里优选将通液歧管完全浸泡在清洗溶剂中。

步骤s205，开启清洗孔将清洗溶剂排出；

具体的，同时关闭第一开关和第二开关，打开歧管清洗容器底部的清洗孔，这样从清洗孔将歧管清洗容器中的清洗溶剂排出。

步骤s206，通过压缩空气清洗管道输入压缩空气，以便将歧管吹干。

具体的，将溶剂清洗管道上的第一开关关闭，打开压缩空气清洗管道上的第二开关，这样压缩空气可以对通液歧管以及通气歧管上残留的清洗溶剂进行吹干操作。这里优选通液歧管的另一端接近清洗孔，通气歧管的另一端接近歧管清洗容器的密封口，这样通气歧管的排出的压缩空气可以很好将清洗溶剂从清洗孔中排出。

最后将通液歧管和通气歧管从歧管容器盖的歧管固定孔上取出。这样即完成了本优选实施例的歧管清洗方法的歧管清洗流程。

本发明的歧管清洗装置及歧管清洗方法通过将歧管固定在歧管清洗容器中，随后通过溶剂清洗管道和压缩空气清洗管道进行清洗，从而实现了对歧管的有效清洗，解决了现有的歧管无法进行有效清洗，从而对光刻胶管路造成污染的技术问题。

综上所述，虽然本发明已以优选实施例揭露如上，但上述优选实施例并非用以限制本发明，本领域的普通技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，均可作各种更动与润饰，因此本发明的保护范围以权利要求界定的范围为准。