一种环保型硅片清洗机的制作方法

本实用新型属于硅片制造技术领域，具体涉及一种环保型硅片清洗机。

背景技术：

半导体器件生产中硅片须经严格清洗，微量污染也会导致器件失效，清洗的目的在于清除表面污染杂质，清除污染的方法有物理清洗和化学清洗，物理清洗主要是采用刷洗或擦洗的方法将硅片表面杂质去除，化学清洗主要采用清洗液直接浸泡清洗，实际生产过程中，直接浸泡时硅片往往放置于吊篮内浸入溶液，由于硅片之间相互叠加，导致清洗不均匀，而且硅片与吊篮的接触面积较大，也容易产生冲洗不干净的质量问题。

中国专利公开号为cn107716440a，发明创造的名称为一种太阳能硅片清洗机，包括清洗机本体，所述清洗机本体的底部四角均开设有调节槽，所述调节槽的两侧内壁上均开设有驱动槽，开设在同一个调节槽上的两个驱动槽相互远离的一侧内壁上均滑动安装有推杆电机，所述调节槽的项部内壁上铰接有两个对称设置的上支杆，所述上支杆的底端延伸至相对应的驱动槽内并与推杆电机的输出轴转动安装，所述推杆电机的输出轴上还转动安装有下支杆，本发明实用性能高，结构简单，操作方便，便于对滚轮进行移动，从而便对清洗机本体进行移动，能够将滚轮收进调节槽内，对滚轮进行保护，增加了滚轮的使用寿命，且便于对滚轮进行拆卸更换，方便了人们的使用。但是现有硅片清洗机多个清洗槽进行清洗作业，容易造成硅片污染，并且清洗机清洗时会发生有机废气污染环境。

技术实现要素：

本实用新型的目的是提供一种结构简单、操作方便快捷、清洗效率高和更加环保的硅片清洗机。

本实用新型的目的是通过以下技术方案实现的：

一种环保型硅片清洗机，包括壳体、支撑脚和上盖，上盖设置在壳体上端，支撑脚固定设置在壳体下端，其特征在于：所述壳体底端固定设置有搅拌电机，所述搅拌电机的输出端贯穿壳体至壳体内部，且输出端与硅片固定装置相连，所述硅片固定装置包括前夹板、后夹板、连接柱、卡槽、锁耳和锁扣，所述前夹板与后夹板相铰接，前夹板尺寸与后夹板相同；所述锁耳焊接在前夹板的两侧；所述锁扣焊接在后夹板的两侧，且与锁耳相匹配；所述连接柱杆焊接在前夹板中部；所述卡槽采用多个，焊接在前夹板的后侧，与硅片尺寸匹配；所述前夹板和后夹板均采用镂空结构，所述壳体内壁四周固定设置有电加热器，所述壳体内壁底部固定设置有超声波发生器，所述壳体侧壁上端设置有进水管，所述加水管向对面的壳体上还设置有排气管，所述排气管与废气处理装置相连，所述壳体侧壁下端设置有排水管。

优选的，所述废气处理装置包括下部的储液箱和上部的喷淋吸收塔，所述储液箱内盛装有吸收液，所述储液箱与喷淋吸收塔的内部相连通，所述喷淋吸收塔从下而上依次为进气室、气液接触填料层、喷淋层、旋流除雾板、除雾填料层和丝网除雾层，所述进气室的一侧设有进气口，所述进气口与排气管相连，所述喷淋吸收塔的顶部设有排空管，所述喷淋层的上部设有吸收液喷头，所述储液箱内的吸收液经循环泵输送至吸收液喷头。

优选的，所述气液接触填料层和除雾填料层内填充的填料为聚乙烯制成的多面空心球。

优选的，所述丝网除雾层内填充的填料为不锈钢丝网或铝合金丝网。

优选的，所述排气管下方的壳体内壁上设置有液位计。

优选的，所述连接柱内部设置有外螺纹。

优选的，所述搅拌电机的输出端上设置有与连接柱内部内螺纹相匹配的外螺纹。

优选的，所述上盖上设置有把手。

本技术方案的有益效果如下：

一、本实用新型提供的一种环保型硅片清洗机，使用时将硅片固定装置取下，将硅片放置在卡槽上，通过锁耳和锁扣将前夹板与后夹板固定好，随后将连接柱与搅拌电机的输出轴相连，将清洗液从进水管流入，然后开启电加热器、超声波发生器和搅拌电机，搅拌电机搅拌和超声波发生器工作带动清洗池内清洗液产生振动，同时对硅片进行清洁，使得硅片清洗效率更高，清洗过程中产生的有机废气从排气管排入废气处理装置，废气处理装置将含有有机废气的气体处理后排放大气，更加环保。使用后的清洗液从排水管排出该装置。本实用新型具有结构简单、操作方便快捷、清洗效率高和更加环保等优点。

二、本实用新型提供的一种环保型硅片清洗机，专门使用喷淋吸收塔来吸收废气中的有机溶剂，能够将绝大多数的有机溶剂吸收掉90％以上，吸收效果好，有效减少了废气中的有机溶剂对人体和大气的危害；采用三层除雾结构，能够有效的防止吸收液的雾滴逸散，避免吸收液扩散中大气中引起二次污染的发生。

三、本实用新型提供的一种环保型硅片清洗机，气液接触填料层和除雾填料层内填充的填料为聚乙烯制成的多面空心球，丝网除雾层内填充的填料为不锈钢丝网或铝合金丝网，使得废气处理更高效，同时多面空心球、不锈钢丝网和铝合金丝网使用寿命更长。

四、本实用新型提供的一种环保型硅片清洗机，液位计的使用，随时监测壳体内的清洗液高度，防止发生清洗液进入废气处理装置。

五、本实用新型提供的一种环保型硅片清洗机，外螺纹与内螺纹的使用，使得连接柱与搅拌电机的输出端相连更简单，方便硅片固定装置取下和安装，使得操作更简单。

六、本实用新型提供的一种环保型硅片清洗机，把手的设置使得上盖开启更方便。

附图说明

本实用新型的前述和下文具体描述在结合以下附图阅读时变得更清楚，附图中：

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是本实用新型硅片固定装置的结构示意图；

图中：1、壳体；2、支撑脚；3、上盖；4、搅拌电机；5、硅片固定装置；5.1、前夹板；5.2、后夹板；5.3、连接柱；5.4、卡槽；5.5、锁耳；5.6、锁扣；6、电加热器；7、超声波发生器；8、进水管；9、排气管；10、排水管；11、废气处理装置；11.1、储液箱；11.2、喷淋吸收塔；11.3、进气室；11.4、气液接触填料层；11.5、喷淋层；11.6、旋流除雾板；11.7、除雾填料层；11.8、丝网除雾层；11.9、进气口；11.10、排空管；11.11、吸收液喷头；11.12、循环泵；12、液位计；13、把手。

具体实施方式

下面通过几个具体的实施例来进一步说明实现本实用新型目的技术方案，需要说明的是，本实用新型要求保护的技术方案包括但不限于以下实施例。

实施例1

作为本实用新型一种最基本的实施方案，本实施例公开了一种环保型硅片清洗机，如图1和图2所示，包括壳体1、支撑脚2和上盖3，上盖3设置在壳体1上端，支撑脚2固定设置在壳体1下端，所述壳体1底端固定设置有搅拌电机4，所述搅拌电机4的输出端贯穿壳体1至壳体1内部，且输出端与硅片固定装置5相连，所述硅片固定装置5包括前夹板5.1、后夹板5.2、连接柱5.3、卡槽5.4、锁耳5.5和锁扣5.6，所述前夹板5.1与后夹板5.2相铰接，前夹板5.1尺寸与后夹板5.2相同；所述锁耳5.5焊接在前夹板5.1的两侧；所述锁扣5.6焊接在后夹板5.2的两侧，且与锁耳5.5相匹配；所述连接柱5.3杆焊接在前夹板5.1中部；所述卡槽5.4采用多个，焊接在前夹板5.1的后侧，与硅片尺寸匹配；所述前夹板5.1和后夹板5.2均采用镂空结构，所述壳体1内壁四周固定设置有电加热器6，所述壳体1内壁底部固定设置有超声波发生器7，所述壳体1侧壁上端设置有进水管8，所述加水管向对面的壳体1上还设置有排气管9，所述排气管9与废气处理装置11相连，所述壳体1侧壁下端设置有排水管10。

本实用新型提供的一种环保型硅片清洗机，使用时将硅片固定装置5取下，将硅片放置在卡槽5.4上，通过锁耳5.5和锁扣5.6将前夹板5.1与后夹板5.2固定好，随后将连接柱5.3与搅拌电机4的输出轴相连，将清洗液从进水管8流入，然后开启电加热器6、超声波发生器7和搅拌电机4，搅拌电机4搅拌和超声波发生器7工作带动清洗池内清洗液产生振动，同时对硅片进行清洁，使得硅片清洗效率更高，清洗过程中产生的有机废气从排气管9排入废气处理装置11，废气处理装置11将含有有机废气的气体处理后排放大气，更加环保。使用后的清洗液从排水管10排出该装置。本实用新型具有结构简单、操作方便快捷、清洗效率高和更加环保等优点。

实施例2

作为本实用新型一种优选的实施方案，本实施例公开了一种环保型硅片清洗机，如图1和图2所示，包括壳体1、支撑脚2和上盖3，上盖3设置在壳体1上端，支撑脚2固定设置在壳体1下端，所述壳体1底端固定设置有搅拌电机4，所述搅拌电机4的输出端贯穿壳体1至壳体1内部，且输出端与硅片固定装置5相连，所述硅片固定装置5包括前夹板5.1、后夹板5.2、连接柱5.3、卡槽5.4、锁耳5.5和锁扣5.6，所述前夹板5.1与后夹板5.2相铰接，前夹板5.1尺寸与后夹板5.2相同；所述锁耳5.5焊接在前夹板5.1的两侧；所述锁扣5.6焊接在后夹板5.2的两侧，且与锁耳5.5相匹配；所述连接柱5.3杆焊接在前夹板5.1中部；所述卡槽5.4采用多个，焊接在前夹板5.1的后侧，与硅片尺寸匹配；所述前夹板5.1和后夹板5.2均采用镂空结构，所述壳体1内壁四周固定设置有电加热器6，所述壳体1内壁底部固定设置有超声波发生器7，所述壳体1侧壁上端设置有进水管8，所述加水管向对面的壳体1上还设置有排气管9，所述排气管9与废气处理装置11相连，所述壳体1侧壁下端设置有排水管10。

优选的，所述废气处理装置11包括下部的储液箱11.1和上部的喷淋吸收塔11.2，所述储液箱11.1内盛装有吸收液，所述储液箱11.1与喷淋吸收塔11.2的内部相连通，所述喷淋吸收塔11.2从下而上依次为进气室11.3、气液接触填料层11.4、喷淋层11.5、旋流除雾板11.6、除雾填料层11.7和丝网除雾层11.8，所述进气室11.3的一侧设有进气口11.9，所述进气口11.9与排气管9相连，所述喷淋吸收塔11.2的顶部设有排空管11.10，所述喷淋层11.5的上部设有吸收液喷头11.11，所述储液箱11.1内的吸收液经循环泵11.12输送至吸收液喷头11.11。

优选的，所述气液接触填料层11.4和除雾填料层11.7内填充的填料为聚乙烯制成的多面空心球。

优选的，所述丝网除雾层11.8内填充的填料为不锈钢丝网或铝合金丝网。

优选的，所述排气管9下方的壳体1内壁上设置有液位计12。

优选的，所述连接柱5.3内部设置有外螺纹。

优选的，所述搅拌电机4的输出端上设置有与连接柱5.3内部内螺纹相匹配的外螺纹。

优选的，所述上盖3上设置有把手13。

本实用新型提供的一种环保型硅片清洗机，使用时将硅片固定装置5取下，将硅片放置在卡槽5.4上，通过锁耳5.5和锁扣5.6将前夹板5.1与后夹板5.2固定好，随后将连接柱5.3与搅拌电机4的输出轴相连，将清洗液从进水管8流入，然后开启电加热器6、超声波发生器7和搅拌电机4，搅拌电机4搅拌和超声波发生器7工作带动清洗池内清洗液产生振动，同时对硅片进行清洁，使得硅片清洗效率更高，清洗过程中产生的有机废气从排气管9排入废气处理装置11，废气处理装置11将含有有机废气的气体处理后排放大气，更加环保。使用后的清洗液从排水管10排出该装置。本实用新型具有结构简单、操作方便快捷、清洗效率高和更加环保等优点。

专门使用喷淋吸收塔11.2来吸收废气中的有机溶剂，能够将绝大多数的有机溶剂吸收掉90％以上，吸收效果好，有效减少了废气中的有机溶剂对人体和大气的危害；采用三层除雾结构，能够有效的防止吸收液的雾滴逸散，避免吸收液扩散中大气中引起二次污染的发生。气液接触填料层11.4和除雾填料层11.7内填充的填料为聚乙烯制成的多面空心球，丝网除雾层11.8内填充的填料为不锈钢丝网或铝合金丝网，使得废气处理更高效，同时多面空心球、不锈钢丝网和铝合金丝网使用寿命更长。液位计12的使用，随时监测壳体1内的清洗液高度，防止发生清洗液进入废气处理装置11。外螺纹与内螺纹的使用，使得连接柱5.3与搅拌电机4的输出端相连更简单，方便硅片固定装置5取下和安装，使得操作更简单。把手13的设置使得上盖3开启更方便。

以上所述的具体实施例，对本实用新型的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本实用新型的具体实施例，并不用于限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。