涂布方法及涂布装置与流程

文档序号:12069821阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种涂布方法,执行多次使液体状材料附着于涂布针的前端部,将所述涂布针配置在对象物上方的预定位置,使所述涂布针下降和上升而将所述液体状材料涂布于所述对象物,来形成由所述液体状材料构成的液体状材料层的工序,从而层积多层所述液体状材料层,其特征在于,

随着执行的所述工序次数增多,使所述涂布针从所述预定位置朝向所述对象物下降的距离减小。

2.如权利要求1所述的涂布方法,其特征在于,

在本次的所述工序中使所述涂布针下降的距离比在前次的所述工序中使所述涂布针下降的距离小在前次的所述工序形成的所述液体状材料层的厚度的量。

3.如权利要求1或2所述的涂布方法,其特征在于,具有:

容器,在该容器的底部开口有孔,并且该容器供所述液体状材料注入;以及

所述涂布针,所述涂布针的前端部具有与所述孔大致相同的直径,

所述涂布方法使所述涂布针下降,并使所述涂布针的前端部从所述孔突出而使所述液体状材料附着于所述前端部,并且将所述涂布针配置在所述预定位置。

4.一种涂布装置,其特征在于,具有:

涂布单元,该涂布单元使液体状材料附着于涂布针的前端部;

定位装置,该定位装置使所述涂布单元与对象物相对移动,并将所述涂布针的前端配置在所述对象物上方的预定位置;

第一驱动装置,该第一驱动装置使所述涂布针下降和上升;以及

控制装置,该控制装置控制所述涂布单元和所述第一驱动装置,执行多次将所述液体状材料涂布于所述对象物,来形成由所述液体状材料构成的液体状材料层的工序,从而层积多层所述液体状材料层,

所述控制装置控制所述第一驱动装置,随着执行的所述工序的次数增多,使所述涂布针从所述预定位置朝向所述对象物下降的距离减小。

5.如权利要求4所述的涂布装置,其特征在于,

所述控制装置使在本次的所述工序中所述涂布针下降的距离比在前次的所述工序中所述涂布针下降的距离减小在前次的所述工序中形成的所述液体状材料层的厚度的量。

6.如权利要求4或5所述的涂布装置,其特征在于,

所述涂布单元包括:

容器,在该容器的底部开口有孔,并且该容器供所述液体状材料注入;

所述涂布针,所述涂布针的前端部具有与所述孔大致相同的直径;以及

第二驱动装置,该第二驱动装置使所述涂布针下降和上升,

所述控制装置控制所述第二驱动装置使所述涂布针下降,并使所述涂布针的前端部从所述孔突出而使所述液体状材料附着于所述前端部。

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