1.一种涂布装置，将涂布液涂布于基板上，所述涂布装置的特征在于包括：
蓄积部，蓄积所述涂布液；
喷嘴，向所述基板喷出所述涂布液；
配管，使所述涂布液从所述蓄积部流通至所述喷嘴；
泵，插设于所述配管而将所述涂布液输送至所述喷嘴；
过滤器，插设于所述蓄积部与所述泵之间的所述配管而去除从所述蓄积部供给的所述涂布液中存在的异物；以及
第1脱气部，插设于所述过滤器与所述泵之间的所述配管而从已穿过所述过滤器的所述涂布液中去除气泡。
2.根据权利要求1所述的涂布装置，其特征在于还包括：
第2脱气部，插设于所述第1脱气部与所述泵之间的所述配管上；
其中，所述第1脱气部对已穿过所述过滤器的所述涂布液进行搅拌而去除气泡，
所述第2脱气部将从所述第1脱气部送来的所述涂布液加以静置而去除比由所述第1脱气部去除的气泡更小的气泡。
3.根据权利要求2所述的涂布装置，其特征在于还包括：
送液控制机构，对从所述第1脱气部向所述第2脱气部的所述涂布液的液体输送进行控制，并对从所述第2脱气部向所述泵的液体输送进行控制；
其中，所述第2脱气部并列设置有多个，
所述送液控制机构包括：多个输入侧阀，插设于每一所述第2脱气部的输入侧的所述配管；多个输出侧阀，插设于每一所述第2脱气部的输出侧的所述配管；以及切换控制部，通过对所述多个输入侧阀及所述多个输出侧阀的开闭进行切换而从所述多个第2脱气部中已完成气泡去除的所述第2脱气部输送所述涂布液，并且在剩下的所述第2脱气部中进行气泡的去除。
4.根据权利要求1所述的涂布装置，其特征在于：
所述第1脱气部在对已穿过所述过滤器的所述涂布液进行搅拌而去除气泡之后，将所述涂布液加以静置而去除比通过搅拌所述涂布液而去除的气泡更小的气泡。
5.根据权利要求1或4所述的涂布装置，其特征在于还包括：
送液控制机构，对从所述过滤器向所述第1脱气部的所述涂布液的液体输送进行控制，并对从所述第1脱气部向所述泵的液体输送进行控制；
其中，所述第1脱气部并列设置有多个，
所述送液控制机构包括：多个输入侧阀，插设于每一所述第1脱气部的输入侧的所述配管；多个输出侧阀，插设于每一所述第1脱气部的输出侧的所述配管；以及切换控制部，通过对所述多个输入侧阀及所述多个输出侧阀的开闭进行切换而从所述多个第1脱气部中已完成气泡去除的所述第1脱气部输送所述涂布液，并且在剩下的所述第1脱气部中进行气泡的去除。
6.根据权利要求1所述的涂布装置，其特征在于还包括：
多个捕集部，并列地插设于所述第1脱气部与所述泵之间的所述配管，分别暂时地蓄积从所述第1脱气部送来的所述涂布液；以及
送液控制机构，对从所述第1脱气部向每一所述捕集部的所述涂布液的液体输送进行控制，并对从每一所述捕集部向所述泵的液体输送进行控制；
其中，所述送液控制机构包括：多个输入侧阀，插设于每一所述捕集部的输入侧的所述配管；多个输出侧阀，插设于每一所述捕集部的输出侧的所述配管；以及切换控制部，通过对所述多个输入侧阀及所述多个输出侧阀的开闭进行切换而从所述多个捕集部中的一个捕集部输送所述涂布液，并且在剩下的所述捕集部中进行所述涂布液的蓄积。
7.一种涂布方法，其特征在于包括如下步骤：
使从蓄积部供给的涂布液穿过过滤器而去除所述涂布液中存在的异物；
从已穿过所述过滤器的所述涂布液中去除气泡；以及
将经所述过滤器去除气泡的所述涂布液输送至喷嘴，并将所述涂布液从所述喷嘴喷出并涂布于基板上。