一种涂布装置及涂布方法与流程

本发明涉及一种涂布装置及涂布方法，属于液晶显示器技术领域。

背景技术：

由于ltpsmobile(低温多晶硅手机)产品对产品品质要求越来越高，同时对产品的品味要求也越来越高，因此产品上的亮点和暗点都会造成产品的ng(长期积累无法售出商品)。由于彩膜通过图形来显示色彩，因此图形的缺失就会造成最后显示的亮点和暗点(如图1所示)。在现有技术中，由于打出来的涂布液体内含有气体，而气体容易造成图形的脱落，因此彩膜的生产过程会产生缺陷。其中，彩膜单制程的流程包括由玻璃依次经洗净装置1、涂布装置2、真空干燥装置3、预烘烤装置4、曝光装置5、显影装置6、宏观检7和烘烤装置8，完成彩膜制作后的玻璃移出(如图2所示)。现有涂布装置包括涂布液体桶9，涂布液体桶9连接缓冲罐10，缓冲罐10通过csp(convolutionsyringepump螺旋注射泵)11连接用于涂布的喷嘴12，同时在喷嘴12的下方设置基板13(如图3所示，基板13也称为基板)。现有涂布的流程如下：涂布液体进入涂布液体桶9中，在cda(洁净干燥的压缩气体)压力作用下进入缓冲罐10，接着在螺旋注射泵11的作用下，涂布液体经过喷嘴12涂布在基板13上，最后将涂布液体涂布在基板13上。在使用时，首先将涂布液体输送至涂布液体桶9中，随着涂布液体的进入，涂布液体桶9内的空气会向上排走。同时，由于涂布液体桶9内的涂布液体会与涂布液体桶9内的气体发生溶解(如图4所示)，且涂布液体桶9的内部与外部压力需要保持平衡，这样正常进入涂布液体桶9中的涂布液体在到达基板13前会长期与气体进行混合，因此涂布到基板13上会产生气泡，将涂布液体爆破，从而形成缺陷。

技术实现要素：

针对上述问题，本发明的目的是提供一种能够防止彩膜产生缺陷的涂布装置及涂布方法。

为实现上述目的，本发明采取以下技术方案：一种涂布装置，其特征在于，包括用于盛放涂布液体的可伸缩容器，在所述可伸缩容器上设置有第一开口，所述第一开口通过管路连接泵，所述泵通过管路连接用于涂布的喷嘴，在所述喷嘴上设置有用于流出涂布液体的第二开口，在所述第二开口的下方设置有基板。

在所述可伸缩容器的外部固定设置有用于实现可伸缩容器固定的外置夹持部。

所述外置夹持部为外置槽，所述可伸缩容器放置在所述外置槽的内部；在所述外置槽的顶部设置有第三开口。

在所述第一开口处设置有密封盖。

所述可伸缩容器为气囊容器。

在位于所述第一开口与所述泵之间的管路上设置有用于控制涂布液体进入所述泵内速度的第一控制阀；在位于所述泵与所述喷嘴之间的管路上设置有用于控制涂布液体进入所述喷嘴内速度的第二控制阀。

所述泵为注射泵或波纹管泵。

一种涂布方法，其特征在于，包括以下步骤：1)挤压可伸缩容器，使可伸缩容器内的涂布液体输送至泵内；2)将泵内的涂布液体输送至喷嘴内；3)利用喷嘴将涂布液体涂布在基板上。

在所述步骤1)中，在所述可伸缩容器的外部设置有所述外置槽，在所述外置槽的顶部设置有所述第三开口；利用所述外置槽内的气体均匀挤压所述可伸缩容器。

在位于所述第一开口与所述泵之间的管路上设置有用于控制涂布液体进入所述泵内速度的所述第一控制阀，通过打开所述第一控制阀，进行所述泵的抽吸动作，将所述可伸缩容器与所述泵之间的管路内的涂布液体输送至所述泵内，并通过调节所述第一控制阀，使所述可伸缩容器与所述泵之间的管路内的涂布液体压力与所述泵进液端的压力保持一致；在位于所述泵与所述喷嘴之间的管路上设置有用于控制涂布液体进入所述喷嘴内速度的所述第二控制阀，通过打开所述第二控制阀，进行所述泵的喷出动作，将位于所述泵与所述喷嘴之间的管路内的涂布液体输送至所述喷嘴内，通过调节所述第二控制阀，使所述泵出液端的压力与所述喷嘴上喷洒涂布液体的速度保持一致。

本发明带来了以下有益效果：1、本发明装置设置了可伸缩容器，随着可伸缩容器内涂布液体的多或少，可伸缩容器的体积可以变大或变小，同时能够避免气体与涂布液体接触，从而能够防止涂布液体和气体混合，进而防止彩膜产生缺陷。2、本发明设置了外置槽，在外置槽的顶部设置有第三开口，利用外置槽内的气体能够均匀挤压可伸缩容器，使可伸缩容器内的涂布液体排出，本发明涂布液体流动稳定性好，同时能够使可伸缩容器固定在外置槽内。3、本发明在第一开口处设置有密封盖，能够使涂布液体密封在可伸缩容器内，本发明密封性好。4、本发明可伸缩容器为椭圆形的气囊容器，以便于挤压涂布液体，使用方便。5、本发明在位于第一开口与泵之间的管路上设置有第一控制阀，在位于泵与喷嘴之间的管路上设置有第二控制阀，能够控制涂布液体流动的速度，本发明可控性好，结构简单，使用方便。6、本发明利用外置槽内的气体均匀挤压可伸缩容器，能够进一步提高涂布效果。

本发明的其它特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分的从说明书中变得显而易见，或者通过实施本发明而了解。本发明的目的和其他优点可通过在说明书、权利要求书以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。

附图说明

为了更清楚的说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要的附图做简单的介绍：

图1是已有技术彩膜产生亮点和暗点的结构示意图；

图2是已有技术彩膜单制程的流程结构示意图；

图3是已有技术涂布装置的结构示意图；

图4是已有技术涂布的流程结构示意图；

图5是已有技术涂布液体和气体产生溶解的结构示意图；

图6是本发明气囊容器和外置槽的结构示意图；

图7是本发明涂布装置的结构示意图。

具体实施方式

以下将结合附图及实施例来详细说明本发明的实施方式，借此对本发明如何应用技术手段来解决技术问题，并达成技术效果的实现过程能充分理解并据以实施。需要说明的是，只要不构成冲突，本发明中的各个实施例以及各实施例中的各个特征可以相互结合，所形成的技术方案均在本发明的保护范围之内。

如图6、图7所示，本发明提出的涂布装置，包括用于盛放涂布液体的可伸缩容器14，随着可伸缩容器14内涂布液体的多或少，可伸缩容器14的体积可以变大或变小。在可伸缩容器14上设置有第一开口，以便于涂布液体的流入和流出。第一开口通过管路连接泵15，泵15通过管路连接用于涂布的喷嘴12，在位于第一开口和喷嘴12之间的管路作用下，能够防止气体进入涂布液体中。在喷嘴12上设置有用于流出涂布液体的第二开口。在喷嘴12上第二开口的下方设置有基板13，在基板13需要涂布时，涂布液体从喷嘴12的第二开口流出并喷洒基板13。但是，如果涂布液体中混入气体(如空气等)，则会影响基板13的涂布效果。

上述实施例中，第一开口可以设置成矩形、方形、圆形等形状，用于与位于第一开口、泵15之间的管路相配合。

上述实施例中，如图6、图7所示，在第一开口处设置有密封盖141，能够将涂布液体密封在可伸缩容器14内。密封盖141也可以设置成矩形、方形、圆形等形状，以便于与第一开口相配合。

上述实施例中，在可伸缩容器14的外部固定设置有用于实现可伸缩容器14固定的外置夹持部16。使用时，在外置夹持部16的作用下，能够使可伸缩容器14处于固定状态。可以手动挤压可伸缩容器14以排出可伸缩容器14内的涂布液体，同时能够避免气体与涂布液体接触。

上述实施例中，如图6、图7所示，外置夹持部16为外置槽。并将可伸缩容器14放置在外置槽16的内部，同时可伸缩容器14的底部可以与外置槽16的底部接触，在使用时，可伸缩容器14的底部也可以不与外置槽16的底部接触。在外置槽16的顶部设置有第三开口，气体通过第三开口进入外置槽16的内部，也可以利用外置槽16内的气体均匀挤压可伸缩容器14，使可伸缩容器14内的涂布液体通过第三开口稳定地排出，同时能够避免气体与涂布液体接触。

上述实施例中，外置槽16的截面可以设置成长方形(如图6、图7所示)、正方形、圆形等形状。

上述实施例中，如图6、图7所示，第一开口设置在可伸缩容器14的顶部，以便于可伸缩容器14内的涂布液体排出可伸缩容器14。

上述实施例中，可伸缩容器14为气囊容器，由于气囊具有一定的伸缩性，因此随着可伸缩容器14内涂布液体的多、少，该气囊自动变大变小，同时能够避免涂布液体与气体的接触。在一个优选的实施例中，可伸缩容器14为椭圆形气囊容器，以便于利用气体挤压或是手动挤压。使用时，通过气体挤压或是手动挤压挤压可伸缩容器14将涂布液体打出，并实现气体与涂布液体的不完全接触。可伸缩容器14也可以为圆柱形等其它形式的气囊容器。

上述实施例中，可伸缩容器14采用抗腐蚀软性塑胶制成，能够可伸缩容器14被涂布液体腐蚀，同时使可伸缩容器14随内部涂布液体多少进行收缩和扩大。在一个优选的实施例中，可伸缩容器14采用pvc(聚氯乙稀)制成。

上述实施例中，可以在喷嘴12上设置有用于控制喷嘴12相对移动的第二控制装置，这样，喷嘴12一边移动，一边将喷嘴12内的涂布液体均匀地喷洒至基板13上。

上述实施例中，第二开口具有规定的宽度和厚度，以便于涂布液体按照规定的压力流出喷嘴12。

上述实施例中，第二开口可以设置成圆形、椭圆形、长方形、矩形等形状，用于与涂布液体的特性相配合。

上述实施例中，可以在位于可伸缩容器14与喷嘴12之间的管路内、第一开口或第二开口上设置有用于去除涂布液体内杂质的过滤装置。

上述实施例中，如图7所示，在位于第一开口与泵15之间的管路上设置有用于控制涂布液体进入泵15内流速的第一控制阀17。第一控制阀17为吸引阀。在位于泵15与喷嘴12之间的管路上设置有用于控制涂布液体进入喷嘴12内流速的第二控制阀17。第二控制阀17为喷出阀。使用时，利用外置槽16内的气体挤压可伸缩容器14，将可伸缩容器14内的涂布液体挤出，接着挤出后的涂布液体通过第一开口进入位于第一开口与泵15之间的管路，通过打开吸引阀17(此时，可以关闭喷出阀17)，开始进行泵15的抽吸动作，能够将涂布液体均匀地输送至泵15内。接着在泵15的作用下，通过打开喷出阀17(此时，可以关闭吸引阀17)能够将涂布液体输送至喷嘴12内，并利用喷嘴12上的第二开口控制涂布液体匀速地喷洒至基板13上。

上述实施例中，第一控制阀17和第二控制阀17均为膜片阀，能够通过第一、第二控制阀17的开启和关闭，实现对位于可伸缩容器14与喷嘴12之间的管路的连通状态进行切换。

上述实施例中，泵15为注射泵或波纹管泵，能够保证涂布液的洁净性。泵15可以根据涂布液体的种类进行选择。在一个优选的实施例中，泵15为csp泵，能够稳定涂布液体的运行速度，同时提高涂布液体喷洒的均匀性。泵15将可伸缩容器14提供的涂布液体输送至喷嘴12，通过泵15的抽吸动作来收纳基板13所需要量的涂布液体，并能够通过喷出动作将涂布液体输送至喷嘴12内。

上述实施例中，在基板13的底部设置有载台部18，在载台部18上设置有用于支撑基板13的支撑平面，能够将基板13以水平姿态的状态保持在支撑平面上。也可以在载台部18上设置有用于控制基板13相对运动的第一控制装置。通过控制基板13的移动，能够使喷嘴12内的涂布液体均匀地喷洒至基板13上。

上述实施例中，涂布液体为光阻。

上述实施例中，基板13为玻璃基板。

本发明使用时，涂布液体还可以是光阻、抗蚀液、彩色滤光片用液等其它各种用于涂布的液体作为涂布液体。基板13还可以是半导体基板、薄膜液晶用柔性基板、光掩模用基板、彩色滤光片用基板、太阳能电池用基板等其它各种基板作为涂布基板。

在上述装置的基础上，本发明提出的涂布方法，其特征在于，包括以下步骤：

1)挤压可伸缩容器14(如图6、图7所示)，可以将可伸缩容器14内的涂布液体挤出，使涂布液体通过第一开口进入位于可伸缩容器14与泵15之间的管路内，接着进入泵15内，通过控制挤压可伸缩容器14的程度，能够使可伸缩容器14内的涂布液体通过管路均匀地进入泵15内。

2)将泵15内的涂布液体通过位于泵15与喷嘴12之间的管路输送至喷嘴12内。

3)利用喷嘴12的第二开口将涂布液体均匀地涂布在基片13上。

上述实施例中，在步骤1)中，如图6、图7所示，在可伸缩容器14的外部设置有外置槽16。在外置槽16的顶部设置有第三开口，气体通过第三开口进入外置槽16的内部，利用外置槽16内的气体均匀挤压可伸缩容器14，能够使可伸缩容器14内的涂布液体通过第三开口排出，同时能够避免气体与涂布液体接触。

上述实施例中，在步骤1)中，可伸缩容器14为椭圆形气囊容器，可伸缩容器14通过挤压易于发生变形，这样，可伸缩容器14内的涂布液体很容易被挤压出第一开口，继而进入位于可伸缩容器14与泵15之间的管路内。

上述实施例中，在步骤1)中，在位于可伸缩容器14与泵15之间管路内设置有第一控制阀17，通过打开第一控制阀17，开始进行泵15的抽吸动作，能够将可伸缩容器14与泵15之间的管路内的涂布液体输送至泵15内，此时位于泵15进液端的涂布液体的压力急剧降低，通过调节第一控制阀17，能够使可伸缩容器14与泵15之间管路内的涂布液体的压力与泵15进液端的压力快速地保持一致，并使供给到泵15内的涂布液体维持在适当值。这样，不仅能够控制涂布液体均匀地流入泵15内，而且能够提高涂布液体运行的稳定性。

上述实施例中，在步骤2)中，在位于泵15与喷嘴12之间的管路上设置有第二控制阀17，通过打开第二控制阀17，开始进行泵15的喷出动作，将位于泵15与喷嘴12之间的管路内的涂布液体输送至喷嘴12内。此时，泵15进液端的压力暂时降低后，会再次上升。经过一段时间，泵15出液端的压力逐渐上升，通过调节第二控制阀17，能够控制压力使泵15出液端的压力，使涂布液体均匀地输送至喷嘴12内。

上述实施例中，在步骤3)中，通过调节第二控制阀17，使泵15出液端的压力与喷嘴12上喷洒涂布液体的速度快速地保持一致，从而能够提高喷嘴12第二开口喷洒涂布液体至基板13上的均匀性。

结束涂布时，停止泵15的送液，并将第一控制阀17和第二控制阀17关闭。

虽然本发明所公开的实施方式如上，但所述的内容只是为了便于理解本发明而采用的实施方式，并非用以限定本发明。任何本发明所属技术领域内的技术人员，在不脱离本发明所公开的精神和范围的前提下，可以在实施的形式上及细节上作任何的修改与变化，但本发明的专利保护范围，仍须以所附的权利要求书所界定的范围为准。