一种半导体元器件封装工艺段的树脂胶喷涂装置的制作方法

文档序号:15280252发布日期:2018-08-28 23:27阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种半导体元器件封装工艺段的树脂胶喷涂装置,包括树脂胶点涂针(1),以及设置于树脂胶点涂针(1)顶部的树脂胶储存桶(2)和高压气泵(3);所述树脂胶储存桶(2)与树脂胶点涂针(1)之间的输送管路上设置计量式树脂胶输送阀(210),树脂胶储存桶(2)与计量式树脂胶输送阀(210)与之间的管路上设置增压泵(21);

所述高压气泵(3)与树脂胶点涂针(1)之间的输气官道上设置有气动阀(31),气动阀(31)外接气动阀控制开关(310);

所述树脂胶点涂针(1)正下方设置用于对芯片承接基板(100)进行和承接和转接的定位板(4),定位板(4)上设置有用于对芯片承接基板进行装配的基板装配槽(41),定位板(4)装配于活塞式气动推杆(5)上;芯片承接基板(100)上设置有树脂胶点涂位(1001);

所述基板装配槽(41)与树脂胶点涂针(1)正相对设置;

所述树脂胶点涂针(1)呈阵列式布设,阵列式布设的树脂胶点涂针(1)与芯片承接基板(100)上设置的树脂胶点涂位(1001)一一对应;

所述定位板(4)右侧端设置点树脂胶基板输入端输送带(6),定位板(4)左侧端设置点树脂胶基板输出端输送带(7);

所述活塞式气动推杆(5)装配于基座(10)上,基座(10)上还设置有PLC控制器(8),PLC控制器(8)与气动阀控制开关(310)、增压泵(21)及活塞式气动推杆(5)分别连接。

2.根据权利要求1所述的半导体元器件封装工艺段的树脂胶喷涂装置,其特征在于,所述高压气泵(3)下方设置箱式电加热腔(9),计量式树脂胶输送阀(210)、气动阀(31)、气动阀控制开关(310)及树脂胶点涂针(1)均置于箱式电加热腔(9)内部,树脂胶点涂针(1)底端部的点树脂胶嘴穿过箱式电加热腔(9)底端面向下伸出2~3cm高度。

3.根据权利要求1所述的半导体元器件封装工艺段的树脂胶喷涂装置,其特征在于,所述定位板(4)可拆卸地装配于活塞式气动推杆(5)上。

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