校准部11a、校准部Ilb是具有规定面积的区域，因此，即便相对应的第I传感器与第2传感器在相同的轨迹上移动，也存在涂布方向上的检测位置产生偏移的情况。因此，在校准11a、校准部Ilb上进行相对移动的过程中所检测的值中，可使用相同位置的可能性高的特定位置或特定时间中的检测值，也可使用多个检测值的平均值。
[0174]另外，在平台12a存在变形或倾斜时，存在工件SI由此产生倾斜的情况。所述变形、倾斜的存在对涂布厚度测定值的精度并无大的影响。其原因在于:涂布厚度是利用(H2-H1)来求出，因此即便有变形或倾斜，各检测位置中彼此的位置关系仍相同。例如，如图11所示，将涂布开始端设为P1，将中途部设为P2，将涂布终端设为P3。Pl处可利用涂布厚度PHl = (H2P1-H1P1)来计算，P2处可利用涂布厚度PH2 = (H2P2_H1P2)来计算，P3处可利用涂布厚度PH3 = (H2P3-H1P3)来计算。假设设为:P1与P3线性倾斜5臟，且P3比Pl低(-5mm)。即便在该情况下，相对应的各检测位置处的涂布厚度仍如上所述般利用差来求出，因此，倾斜_5mm的影响并未显现。此外，图11表示的是通过使涂布喷嘴1a相对于工件SI移动的相对运动而进行的涂布。
[0175]但是，例如在平台12a存在变形时、或者因驱动机构而平台12a的行走高度相对于涂布喷嘴1a不平行时，相对于涂布喷嘴10a，工件SI的相对移动会产生倾斜。即，相对于涂布喷嘴1a的涂布面的高度发生变化。如果涂布喷嘴1a的狭缝与涂布面的距离(间隔(clearance))在涂布途中发生变化，则会对涂布厚度的均勾化造成影响。在本实施形态中，通过使用基准值Al与基准值BI来检测倾斜度，并修正涂布喷嘴1a的狭缝与涂布面的距离(间隔)，从而可实现涂布厚度的均匀化。
[0176]S卩，即便平台12a进行移动，但只要平行、平坦，则利用同一传感器(图2、图3中为检测部13A的传感器)对平台12a的前端的校准部Ila进行检测而得的值、与对后端的校准部Ilb进行检测而得的值应为相同的检测值。S卩，所述基准值Al与基准值BI相同(差为O) O
[0177]然而，如果如上所述而具有可能会在装置构成上产生的倾斜度(变化、误差)，则基准值Al与基准值BI会变得不同。例如设为:自校准部Ila处于检测部13A的位置的状态起平台12a移动，在校准部Ilb到达检测部13A的位置时，平台12a向离开涂布喷嘴1a的方向倾斜。这样一来，会检测出基准值BI是比基准值Al大的值。得知该差即为倾斜度(变化、误差)。因此，如图11所示，在之后的涂布中，通过与该平台12a的倾斜状态对应地，使涂布喷嘴1a的高度在相对移动过程中变化，可使工件SI的涂布面与涂布喷嘴1a的距离一定，从而可使涂布厚度均匀化。
[0178]虽然也取决于检测部13A、检测部13B、涂布喷嘴1a在涂布方向上的相对位置关系，但例如在为相比于在工件SI的端部开始涂布，检测部13A提早到达校准部Ilb的位置关系时，可在涂布开始之前检测工件SI的倾斜度，因此可使涂布喷嘴1a的高度在相对移动过程中变化，从而可使涂布面与涂布喷嘴1a的狭缝的距离一定。
[0179]另外，在使检测部13A、检测部13B的各检测位置(部位(posit1n))的检测值平均化时，可使用斜率的值作为针对该情况的修正值。在仅所述3点的例子中，用以求出平均值的涂布厚度的累计值为(H2P1+H2P2+H2P3)-(H1P1+H1P2+H1P3)。实际上，所述累计值为连续部位的累计值，因此能以H2、Hl的积分值的差(Σ H2- Σ Hl)的形式表述。然而，该情况下，会对含有因各部位的倾斜导致的误差的值进行积分。因此，在整体倾斜时，需要在利用该倾斜量(A)修正各部位的值之后进行积分，因此为(Σ (Η2-ΔΡη)- Σ (ΗΙ-ΔΡη))。
[0180]此外，如果仅为涂布厚度的测定，则也可使用各部位的各传感器的检测值，一面涂布一面计算，在涂布结束之后，或者在涂布过程中，也可使用暂时存储的各部位的各传感器的检测值来计算涂布厚度。该情况下，也可如上文所述，对于向下一工件Si的涂布而反馈至涂布厚度的调整。
[0181](调整值的计算)
[0182]接着，当进行第2次涂布时，调整部73求出调整值。S卩，基于第I次涂布中所检测的涂布厚度，以最终的涂布厚度成为目标厚度(规定的厚度)、且整体的厚度均匀化的方式，或者以可实现目标厚度与均匀化中的至少其中之一的方式决定各部的调整值。存储部71存储所决定的调整值，且机构控制部70基于所述调整值控制各部。
[0183]调整值有:涂布喷嘴1a距涂布完成的粘接剂R表面为止的距离、粘接剂R自涂布喷嘴1a的喷出量、涂布喷嘴1a与平台12a的相对移动速度等。调整部73可利用这些调整值的任一个或它们的组合来调整第2次粘接剂R的涂布厚度。涂布喷嘴1a距涂布完成的粘接剂R表面为止的距离越远则涂布厚度越厚，越近则越薄。粘接剂R自涂布喷嘴1a的喷出量越多则涂布厚度越厚，越少则越薄。涂布喷嘴1a与平台12a的相对移动速度越快则涂布厚度越薄，越慢则越厚。
[0184]因此，利用这些调整值的任一个或组合，例如在涂布厚度分布中，针对涂布厚度较薄的部位，增厚重叠涂布的粘接剂R，针对涂布厚度较厚的部位，减薄重叠涂布的粘接剂R，并且以最终粘接剂R整体成为所期望的厚度的方式进行调整。也可为根据涂布厚度的平均值，以最终粘接剂R整体成为所期望的厚度的方式进行调整的粗略处理。
[0185]而且，如图11所示，在第2次涂布中，通过与所述平台12a的倾斜状态对应地，使涂布喷嘴1a的高度在相对移动过程中变化，而使工件SI的涂布面与涂布喷嘴1a的距离一定，由此可使涂布厚度均匀化。
[0186](第2次涂布与检测部的检测)
[0187]接着，参照图9⑶?图9 (12)来说明第2次粘接剂R的涂布与检测部13A、检测部13B的检测处理的顺序。以下的⑶?(12)分别对应于图中的⑶?(12)。
[0188](8)涂布喷嘴1a的定位
[0189]首先，平台12a在与第I次涂布相反的方向开始移动，当处于待机位置的涂布喷嘴1a来到工件SI的涂布开始端的正上方时，平台12a暂时停止。并且，位于待机位置的涂布喷嘴1a开始下降，在到达涂布位置后停止，并开始自涂布喷嘴1a喷出粘接剂R，从而将粘接剂R供给至工件SI的涂布完成的粘接剂R上。该涂布位置成为如下位置:为了进行第2次涂布，所述涂布位置相对于涂布完成的粘接剂R的高度已如上所述般进行了调整。
[0190](9)涂布喷嘴1a的涂布
[0191]与所述涂布喷嘴1a的定位及粘接剂R的喷出一起，平台12a再次开始移动。由此，开始向第I次所涂布的粘接剂R的表面涂布粘接剂R。
[0192](10)检测部13A对粘接剂R的检测
[0193]当检测部13A的第I传感器随着平台12a的移动而到达涂布后的工件SI的涂布开始端时，开始检测至第2次涂布完成的粘接剂R表面为止的距离。该检测是自工件SI的涂布开始端连续进行至结束端为止。控制装置7将所检测的值作为检测值H2而存储至存储部71，所述检测值H2表示涂布后的粘接剂R表面的高度。
[0194](11)涂布喷嘴1a的涂布结束
[0195]在检测部13A对涂布后的工件SI进行检测的途中，当涂布喷嘴1a来到工件SI的涂布结束端的正上方时，平台12a暂时停止。并且，涂布喷嘴1a结束粘接剂R的喷出并上升至待机位置。由此，工件SI侧与涂布部10侧的粘接剂R被分离。与此同时，平台12a再次开始向涂布方向移动。
[0196](12)检测部13A对粘接剂R的检测结束
[0197]当检测部13A检测至工件SI的涂布结束端时，平台12a停止。可与上文所述同样地，基于在前一次涂布中已检测出的检测值H1、基准值Al、基准值A2以及第2次的检测值H2来求出粘接剂R的涂布厚度。
[0198]此外，涂布的次数并不限定于2次，也可为3次以上。在进行第3次涂布时，涂布厚度的检测可如第I次般利用检测部13B的第2传感器进行。即，可在奇数次利用第2传感器、在偶数次利用第I传感器来检测涂布厚度。另外，也可设定为:在所检测的涂布厚度达到规定的涂布厚度时不进行下一次重叠涂布，在未达到规定的涂布厚度时进行下一次重叠涂布。例如，控制装置7也可具有判定部，所述判定部将所检测的涂布厚度与预先设定于存储部71的作为最终目标的涂布厚度加以比较，判定所检测的涂布厚度是否达到所述涂布厚度，且控制装置7根据判定部的判定结果来决定是否进一步进行重叠涂布。由此可防止不必要的重叠涂布。
[0199](贴合步骤)
[0200]如上所述，涂布有粘接剂R的工件SI由未图示的拾取部件自涂布装置I搬出，且由搬送装置4搬送而被搬入贴合装置2。此处，工件S2也被搬入贴合装置2。如图5(A)所示，下侧板22对载置于板上的工件SI进行支承。上侧板23利用保持机构保持工件S2。工件SI与工件S2的搬送时序只要以可在贴合装置2交汇的方式调整即可，并不限定于一个时序。
[0201]例如，将工件S2与工件SI同时搬入显示装置用构件制造装置100，但所述工件S2会经过涂布装置I而先行搬入贴合装置2。并且，在利用涂布装置I对工件SI涂布粘接剂R的期间，所述工件S2可在贴合装置2中待机。或者，工件S2也能以比工件SI靠后的时序搬入显示装置用构件制造装置100，并与结束了涂布装置I的涂布的工件SI以相同时序搬入贴合装置2。只要通过兼顾向工件SI的涂布所花费的时间与工件S2向贴合装置2的搬入所花费的时间而不产生损耗时间即可。
[0202]当搬入工件S1、工件S2时，腔室21下降而将内部密闭然后使其减压，在减压环境下，如图5(B)所示，将保持于上侧板23的工件S2按压至支承于下侧板22的工件SI而进行贴合。使工件SI与工件S2贴合而形成的层叠体SlO由未图示的拾取部件自贴合装置2搬出，由搬送装置4搬送并被搬入硬化装置3。
[0203](硬化步骤)
[0204]如图6(A)所示，由搬送装置4搬送的层叠体SlO载置于硬化装置3的平台31。然后，如图6 (B)所示，照射单元33照射使粘接剂R完全硬化所需的量的能量而结束粘接剂R的硬化。
[0205]此外，显示装置用构件制造装置100可在涂布装置1、贴合装置2及硬化装置3的前后或它们之间进行其他步骤。因此，显示装置用构件制造装置100例如可在涂布装置I的前段或贴合装置2的前段具备拍摄工件S1、工件S2的外观而进行位置对准的位置对准部、或捆扎已完成的层叠体SlO的捆带单元(taping unit)等。而且，也可在贴合装置2的后段具备修正贴合时所产生的工件Si与工件S2的偏移的位置对准部、或确保以大气压对产生于贴合面的空隙加压而使其消失的