待机时间的待机部等。
[0206]而且，也可对搬送装置4、涂布装置I或贴合装置2设置使工件SI反转的机构，使涂布有粘接剂R的工件SI反转而保持于贴合装置2的上侧板23。该情况下，可将工件S2载置于下侧板22来进行贴合。当然，也可使工件S2反转而保持于贴合装置2的上侧板23。
[0207][效果]
[0208]如上所述的本实施形态包括:涂布喷嘴10a，对工件SI涂布粘接剂R ;平台12a，一面支承成为涂布喷嘴1a的涂布对象的工件SI，一面相对于涂布喷嘴1a进行相对移动；以及传感器，与支承于平台12a的工件SI的供粘接剂R涂布的面对向设置，对距离进行检测。
[0209]在平台12a相对于涂布喷嘴1a进行相对移动而涂布粘接剂R的涂布方向上，所述传感器在成为由涂布喷嘴1a涂布有粘接剂R的一侧的上游侧、及成为将要涂布的一侧的下游侧分别至少配置一个，从而检测自传感器至工件SI表面为止的距离以及自传感器至涂布于工件SI的粘接剂表面为止的距离中的任一个。而且包括涂布厚度检测部72，在平台12a相对于涂布喷嘴1a进行相对移动而涂布粘接剂R时，基于由配置于下游侧的传感器所检测的至工件SI表面为止的距离、以及由配置于上游侧的传感器所检测的至涂布于工件SI的粘接剂R表面为止的距离，来检测粘接剂R的涂布厚度。
[0210]并且包括调整部73，使平台12a与涂布喷嘴1a的相对移动方向反转而与已检测出涂布厚度的粘接剂R重叠地涂布粘接剂R，并基于由涂布厚度检测部72检测的粘接剂R的涂布厚度来调整所述重叠涂布的粘接剂R的厚度。
[0211]因此，如果使平台12a相对于检测部13A、检测部13B向一个方向移动，则可与粘接剂R的涂布同时地检测涂布厚度。即，可一面利用涂布喷嘴1a进行涂布，一面利用传感器进行检测，因此效率良好。尤其在第I次涂布中，并非在所有的测定结束后计算涂布厚度，而是可实时地在每一处进行涂布厚度的计算处理。通过基于如此般计算的涂布厚度来调整进一步重叠涂布的粘接剂R的厚度，可确保所期望的涂布厚度，并且可进行均匀的涂布。与为了检测涂布厚度而进行多次移动的情况相比，可缩短检测时间。因此，可进行效率良好的涂布作业及检测作业，生产性提高。尤其利用往返动作，可由第I传感器与第2传感器分别测定涂布厚度。由此，可不受限于上游下游的移动方向来进行测定，因此机构简单且效率良好。
[0212]如果设为在粘接剂R的涂布厚度未达到规定的涂布厚度时进行下一次重叠涂布，在达到所述规定的涂布厚度时不进行下一次重叠涂布，则可防止不必要的重叠涂布。
[0213]在涂布喷嘴1a的第I次涂布中，涂布比规定的涂布厚度少的量，且在第2次以后的涂布中，涂布达到规定的涂布厚度的量，因此，可利用第2次以后的涂布进行微调整，与欲利用I次涂布来获得规定的涂布厚度相比，可高精度地获得涂布厚度及其均匀性。
[0214]在涂布喷嘴1a的第2次以后的涂布中，不利用下游侧的传感器进行涂布厚度的检测，因此可简化检测处理。
[0215]检测部13A、检测部13B中相对应的传感器的检测位置追随共同的轨迹，故两检测部的检测值的差也正确地反映工件SI上的粘接剂R的涂布厚度。因此，可实现高精度的涂布厚度的检测。
[0216]此外，在本实施形态中，作为调整部73的调整态样而应用各种态样，由此可高精度地获得涂布厚度及均匀性。更具体而言，当调整部73使涂布喷嘴1a距工件SI的表面为止的距离变化时，驱动机构的控制容易且顺应性高。当使粘接剂R自涂布喷嘴1a的喷出量变化时，单纯控制调整部73即可。当调整部73使涂布喷嘴1a与平台12a的相对移动速度变化时，即便为大型的工件SI等，也容易确保宽度方向的均匀性。此外，根据装置不同，也存在涂布喷嘴1a因采用耐受喷出压力的结构而变得非常重且大型的情况。所述情况下，不利用涂布喷嘴1a的升降、而利用喷出量的变化或者平台12a的移动速度的变化来应对即可。而且，也可使平台12a可升降地构成，从而使其与涂布喷嘴1a的距离变化。在所述实施形态中，也可利用平台12a侧的升降使涂布喷嘴1a与平台12a上的工件SI的间距变化。
[0217]另外，当单纯使用多个检测部13A、检测部13B时，两检测部的检测值有可能产生偏差。但是，本实施形态通过使用校准部11a、校准部Ilb可校准检测部13A、检测部13B的检测值的偏差。因此可求出正确的涂布厚度。并且，校准部11a、校准部Ilb为平台12a的一部分，因此不必追加特别的构件。
[0218]检测部13A、检测部13B中的传感器为了进行校准而检测的校准部Ila是共用的，因此，两检测部的检测值可正确地反应彼此的偏差。
[0219]检测部13A、检测部13B含有多个传感器，因此，检测位置在大范围内连续，可利用一个方向上的相对移动而对宽广范围检测粘接剂R的厚度。因此，可高速地获得以面状涂布的粘接剂R整体的涂布厚度的分布。
[0220]涂布喷嘴1a为狭缝喷嘴，因此可利用自涂布开始端至结束端为止的一次相对移动来对工件SI的整个面涂布粘接剂R。因此，能非常快速地进行粘接剂R的涂布及厚度检测。
[0221]可利用比工件SI的涂布开始端靠上游侧的校准部11a、与比工件SI的涂布结束端靠下游侧的校准部Ilb来检测平台12a的倾斜度。
[0222]检测部13A的传感器的安装位置与检测部13B的传感器的安装位置的位置关系是固定的，因此，即便两传感器的安装位置(高度)存在差异，它们的差也一定，基于所述差的检测值的误差可如上所述般利用校准而消除。
[0223]根据平台12a的倾斜度、工件SI的变形，以使涂布喷嘴1a距工件SI的表面为止的距离一定的方式进行变化，由此可使涂布厚度均匀化。
[0224][其他实施形态]
[0225]此外，粘接剂R只要以为了进行贴合而需要的面状涂布即可。例如，能以遍及工件SI的整个单面的方式涂布，也可具有一部分未经涂布的区域。而且，粘接剂R并非必须完全到达面的边缘。也可具有粘接剂R未到达边缘的部分。
[0226]成为贴合对象的工件S1、工件S2只要如罩面板与显示模块般，是构成显示装置的工件S1、工件S2，且是对单面以面状涂布粘接剂R而贴合的，则其大小、形状、材质等并无限定。显示装置也广泛包含液晶显示器、有机EL显示器等具有供贴合的平板状的工件S且在现在或将来可利用的显示装置。
[0227]涂布有粘接剂R的工件SI可为显示装置的显示模块，也可为罩面板、触摸屏或包含触摸屏的罩面板(复合面板)。然而，具备包含偏光板等的显示面板、驱动电路、印刷基板(卷带自动结合(tape automated bonding, TAB))等多个构件且以多层构成的显示模块的变形大，所述变形的个体差也大。如仅罩面板、仅触摸屏或复合面板般，结构简易的工件的变形少，容易均匀地涂布粘接剂R。
[0228]此外，在对显示模块贴合背光源的导光板等时，导光板也可作为工件S1、工件S2来理解。粘接剂R可涂布于显示模块、导光板的任一个，该情况下，也优选为涂布于结构简易的导光板侧。
[0229]而且，在对供贴合的工件S1、工件S2两工件涂布粘接剂R时，也可应用本发明。在如上所述般对工件S1、工件S2两工件涂布粘接剂R时，如果在所述各工件中具有涂布厚度的误差，则该误差会成倍增加，容易变得不均匀。在工件S1、工件S2的各个中，利用本发明而分别在工件S1、工件S2中获得所期望的涂布厚度且实现均匀化，由此可精密地控制涂布厚度。
[0230]在利用平台12a使工件SI侧移动的情况下，检测部13A、检测部13B的位置关系稳定，因此可正确地进行检测。然而，也可通过使涂布部10及检测部13A、检测部13B侧移动来进行涂布及检测。该情况下，容易产生检测部13A、检测部13B的检测值的偏差，因此本发明的涂布厚度分布的管理变得更有效。另外，也可使平台12a及涂布喷嘴1a同时在相反方向上相对移动。由此，可实质上使涂布时间减半。该情况下，也容易产生检测部13A、检测部13B的检测值的偏差，因此本发明的涂布厚度分布的管理变得更有效。
[0231]在所述实施形态中，在与涂布方向正交的方向排列有多个传感器。但是，并不限定于将多个传感器排列于一直线上的配置。例如，如图12(A)所示，也可在其中一侧与另一侧仅设置一组包含一对传感器的检测部13A、检测部13B。理想的是一对传感器的检测部位也追随相同的轨迹，以期准确性。其中，如果是平台12a的上表面的形状及位置的精度高的情况、或原本未要求高精度的情况，则如图12(B)所示，包含第I传感器的检测部13A与包含第2传感器的检测部13B的追随部位也可不同。
[0232]在所述实施形态中，检测部13A的第I传感器与检测部13B的第2传感器的间距设定为可同时进行第I传感器对校准部Ilb的检测以及第2传感器对校准部Ila的检测的程度(参照图8(4))。但是，如果缩小两传感器的间距，以便包含可同时进行第I传感器对工件SI上表面高度的检测以及第2传感器对粘接剂R表面高度的检测的状态，则可实现更快速的处理。
[0233]校准部11a、校准部Ilb只要是在平台12a的一部分可由检测部13A、检测部13B检测、且与平台12a的位置关系被固定性地决定的区域即可。因此，可不使用特别的构件而将平台12a的一部分用作校准部11a、校准部11b，也可通过将其他构件组装至平台12a的一部分来形成校准部11a、校准部lib。一对传感器可检测彼此的位置关系被固定性地决定但处于不同位置的校准部。如果彼此的位置关系被固定性地决定，则利用该位置关系来修正检测值即可。
[0234]涂布厚度的检测优选为针对每一次涂布来进行。然而，在各构成部的位置关系的经时变化少时，也可定期地进行等而以少的频率进行。即，可在每偶数次、每奇数次、每隔几次时进行。另外，在利用涂布喷嘴1a进行的最上层粘接剂R的涂布中，通过设定为:不进行第I传感器及第2传感器两传感器对涂布厚度的检测、或者仅在特定次数不进行涂布厚度的检测等，也可简化检测处理而使生产性提高。例如，如与图9的(8)?(11)对应的图13的(8)'?(11)'所示，如果省略涂布厚度的检测，则无需进行用以使检测部13A、检测部13B与检测对象进行位置对准的移动，因此生产性提高。如上所述，可设定为:不在第2次进行涂布厚度的测定而以该状态结束；在进行3次以上的涂布时，也可设定为:为了进行之后的调整而检测涂布厚度。当然，在最上层的涂布中，也可进行涂布厚度的检测而以该状态结束，该情况下，也可将最终的涂布厚度作为记录而保留并设为质量管理数据，因此也会确保更高的质量。
[0235]而且，关于检测部13A、检测部13B对校准部11a、校准部Ilb的检测，也可如上所述而省略第2次涂布以后的处理。由此，可简化检测处理而使生产性提高。即，因在第I次涂