简便溶胶设备的制造方法
【技术领域】
[0001 ]本实用新型涉及一种简便溶胶设备。
【背景技术】
[0002]光刻胶是集成电路制造工艺中的一种关键材料，在光刻胶研发及生产过程中需要对胶的组成成分，如树脂、交联剂、溶剂及添加剂等混合溶解均匀。由于任一组成成分配比量的不同都会对胶的整体性能产生较大的影响，因此常常需要配制大量的光刻胶小样进行实验测试，在获得理想结果的胶组分配比后，再进行放大测试与生产。
[0003]因光刻胶原材料多为进口，成本较高，且其对水分和光照的要求极高，为减少原料的浪费，光刻胶小样一般在20ml、50ml、100ml、500ml棕色瓶或玻璃瓶在黄光下密封进行配置。目前业界进行光刻胶的生产主要是由反应釜来进行，但由于反应釜的最小搅拌量为1000克，当配比量在I克到500克时，光刻胶成分未能短时充分有效混合，不利于光刻实验，并且浪费了设备及其他资源，同时降低了光刻胶研发效率，影响研发进程。
[0004]目前国内专业研发光刻胶的单位很少，鲜有报道有专门用于光刻胶小样的溶解方法或设备。实验室制备光刻胶小样时，则主要采用以下常用的固液或液液混合方法。①手动摇晃样品瓶，使原料尽量溶解并混合均匀。本方法耗时又费力，且处理量很少，效率非常低下。②利用超声锅恒温超声混合。超声锅的混合原理主要是使固体分子分散到周围溶液中，超声时一般要求胶量少，胶粘度要小。当胶量大于100克或是胶的粘度较高时，超声混合将变得困难，光刻胶无法充分混合。另外采用超声锅时需要注意超声锅中的水面不宜高过样品瓶，保持水温恒定等条件，因此超声锅的超声溶解能力也非常有限。
[0005]现有的光刻胶样品溶解的方法或设备，耗时费力、处理量小、处理效率低，可操作性差。由于在光刻胶研发和小批量生产时，需要的投料量小，一般小于500克。若利用反应釜生产混合光刻胶，不仅投料量达不到反应釜最小混合量，不利于均匀混合，此方法也浪费设备资源和能源，减慢研发和小批量生产速度，降低效率。
【实用新型内容】
[0006]本实用新型的目的是一种光刻胶的简便混合溶解设备，以解决光刻胶研发过程中因样品溶解混合不均匀，而造成研发效率低、原料设备等资源能源浪费的问题。
[0007]为了实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案。
[0008]为了提高光刻胶的研发效率，本实用新型提供了一种结构简单、操作方便的光刻胶混合溶解设备。该实用新型设备解决了光刻胶研发过程中因样品量小，不能利用恒温超声锅和反应釜设备生产，以及样品混合不均匀等问题，提高了光刻胶研发效率。
[0009]简便溶胶设备，包括支架，支架的侧面设有电机，电机的转子上固定有转盘，转盘上对称安装有若干粘扣，配胶后的塑料瓶绑在粘扣上。
[0010]作为本实用新型的进一步改进，所述电机上设有转速调节装置。
[0011]粘扣用螺丝固定在转盘上。
[0012]在配胶量小于等于IOOOg时，把配胶后的塑料瓶绑在粘扣上，为保证转盘正常旋转，需要对称绑缚，并且对称绑缚的塑料瓶质量相差不大于100g。根据实验进展和光刻胶需要的混合时间及难易程度，使用转速调节装置对转盘速度调节。
[0013]本实用新型的有益效果是，使胶中固体成分溶解快速，组分混合均匀，提高了研发效率，解决了上述光刻胶因混合不均匀导致的研发效率低及反应釜设备等资源能源浪费的问题。光刻胶的研发周期缩短，效率提高，大大减少原料浪费，提高混合物的均匀性。同时该设备减少了设备及原料的浪费。
[0014]当然，实施本实用新型的任一产品并不一定需要同时达到以上所述的所有优点。
【附图说明】
[0015]图I是本实用新型整体结构示意图。
[0016]其中，I、支架;2、电机;3、转盘;4、粘扣。
【具体实施方式】
[0017]下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
[0018]在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0019]在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接;可以是机械连接，也可以是电连接;可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
[0020]如图I所示，简便溶胶设备，包括支架I，支架I的侧面设有电机2，电机2的转子上固定有转盘3，转盘3上对称安装有若干粘扣4，配胶后的塑料瓶绑在粘扣4上，电机2上设有转速调节装置。
[0021]本实施例的支架I为方形金属支架，电机2为小功率电机，转盘3为圆形转盘，粘扣4用螺丝固定在转盘3上。为了使得电机2转速可调节，在电机电源线上连接一个转速调节装置。
[0022]上述虽然结合附图对本实用新型的【具体实施方式】进行了描述，但并非对本实用新型保护范围的限制，所属领域技术人员应该明白，在本实用新型的技术方案的基础上，本领域技术人员不需要付出创造性劳动即可做出的各种修改或变形仍在本实用新型的保护范围以内。
【主权项】
1.简便溶胶设备，其特征是，包括支架（I)，支架（I)的侧面设有电机(2)，电机(2)的转子上固定有转盘(3)，转盘(3)上对称安装有若干粘扣(4)，配胶后的塑料瓶绑在粘扣(4)上。2.如权利要求I所述的简便溶胶设备，其特征是，所述电机(2)上设有转速调节装置。3.如权利要求I所述的简便溶胶设备，其特征是，粘扣(4)用螺丝固定在转盘(3)上。
【专利摘要】本实用新型公开了一种简便溶胶设备，包括支架（1），支架（1）的侧面设有电机（2），电机（2）的转子上固定有转盘（3），转盘（3）上对称安装有若干粘扣（4），配胶后的塑料瓶绑在粘扣（4）上。本实用新型使胶中固体成分溶解快速，组分混合均匀，提高了研发效率，解决了上述光刻胶因混合不均匀导致的研发效率低及反应釜设备等资源能源浪费的问题。光刻胶的研发周期缩短，效率提高，大大减少原料浪费，提高混合物的均匀性。同时该设备减少了设备及原料的浪费。
【IPC分类】B01F1/00, B01F9/00
【公开号】CN205146092
【申请号】CN201520916270
【发明人】刘运, 向容, 孙越
【申请人】潍坊星泰克微电子材料有限公司
【公开日】2016年4月13日
【申请日】2015年11月17日