专利名称：一种单晶炉用真空泵的过滤网的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种单晶炉用真空泵的过滤网。
背景技术：
在单晶生产过程中，单晶炉的真空泵的除尘口的过滤网会经常被氧化物堵塞，如果炉内压力高，氧化物不能及时排出时，会对单晶成晶造成困难，而且抽真空时间过长会影响真空泵使用寿命，并且用油量大，据实践，每四至五炉就需更换一次真空泵油，浪费严重。
发明内容本实用新型的目的是提供不易堵塞一种单晶炉用真空泵的过滤网。本实用新型采取的技术方案是一种单晶炉用真空泵的过滤网，包括圆柱状的内网与圆柱状的外网，外网位于内网外部，其特征在于内网的横截面呈向外凸的齿状，外网横截面呈向内凹的齿状，且内网向外凸的齿与外网向内凹的齿相一一对应衔接。采用本实用新型，可以有效的增大过滤网的过滤面积及过滤效果，使氧化物堵塞过滤网的机率变小，从而提高真空泵用油的使用效率。
图1是本实用新型的俯视示意图。图中序号表示；外网1、内网2、内网凸齿3和外网凹齿4。
具体实施方式
下面对本实用新型作进一步说明。参照图1，该单晶炉用真空泵的过滤网包括圆柱状的内网2与圆柱状的外网1，外网1位于内网2外部，内网2具有若干个内网凸齿3，内网2的横截面呈向外凸的齿状，外网1具有若干个外网凹齿4，外网1的横截面呈向内凹的齿状，且内网凸齿3与外网凹齿4 一一相衔接。这样设计，可以有效的增大过滤网的过滤面积及过滤效果，使氧化物堵塞过滤网的机率变小，从而提高真空泵用油的使用效率。据测试及实践表明，单晶炉内的压力可以减少200帕以上，真空泵用油比原来增加了一至三个炉次，对节约能源，降低成本起到很好的作用。
权利要求1. 一种单晶炉用真空泵的过滤网，包括圆柱状的内网与圆柱状的外网，外网位于内网外部，其特征在于内网的横截面呈向外凸的齿状，外网横截面呈向内凹的齿状，且内网向外凸的齿与外网向内凹的齿相一一对应衔接。
专利摘要本实用新型涉及一种单晶炉用真空泵的过滤网，包括圆柱状的内网与圆柱状的外网，外网位于内网外部，其特征在于内网的横截面呈向外凸的齿状，外网横截面呈向内凹的齿状，且内网向外凸的齿与外网向内凹的齿相一一对应衔接。采用本实用新型，可以有效的增大过滤网的过滤面积及过滤效果，使氧化物堵塞过滤网的机率变小，从而提高真空泵用油的使用效率。
文档编号F04B39/16GK202056031SQ20112016642
公开日2011年11月30日 申请日期2011年5月20日 优先权日2011年5月20日
发明者姜启达 申请人:浙江星宇能源科技有限公司