技术总结
一种微型流体控制装置，包括：一进气板；一共振片，具有一中空孔洞；一压电致动器；一集气板，具有一凹置槽面、一基准表面及一贯穿孔，凹置槽面具有一深度，可供压电致动器、共振片及进气板依序堆叠容置组装定位其中，而凹置槽面底部凹置形成一集气腔室，透过贯穿孔与基准表面连通，且集气腔室受压电致动器承载于上方而封闭；其中该共振片与该压电致动器之间具有一间隙形成一暂存腔室，该压电致动器受驱动时，气体由该进气板进入，流经该共振片，以进入该暂存腔室内再传输至集气腔室，透过贯穿孔排出集气板外，以持续传输气体。
技术研发人员：廖家淯;陈世昌;黄启峰;韩永隆
受保护的技术使用者：研能科技股份有限公司
文档号码：201720042852
技术研发日：2017.01.13
技术公布日：2017.08.25