技术特征：
技术总结
本发明涉及真空泵技术领域，且公开了一种离子镀膜机配套用罗茨真空泵，包括泵体，泵体的顶部开设有进气口，泵体的内部开设有内室，内室的内部活动连接有转子，泵体的顶部位于进气口的一侧固定连接有导向阀盖，导向阀盖的底部固定连接有自重阀头，自重阀头的底部固定连接有密封圈，泵体的底部开设有第一出气口。该离子镀膜机配套用罗茨真空泵，通过设置输油管、油箱、冷却器和过滤器，通过第二油泵将油箱内的油经过冷却器并抽入输油管内，输油管上的出油孔将冷却后的油均匀的滴落在转子的外表面，油滴到转子上之后，随着转子的旋转而均匀的分布在转子的表面上，不仅将转子的热量带走，同时在两个转子表面上形成油膜，防止气体的逆流走。
技术研发人员：穆可刚
受保护的技术使用者：安徽银立方金属科技有限公司
技术研发日：2018.01.23
技术公布日：2018.07.13