一种离子镀膜机配套用罗茨真空泵的制作方法

文档序号:14939194发布日期:2018-07-13 20:03阅读:183来源:国知局

本发明涉及真空泵技术领域,具体为一种离子镀膜机配套用罗茨真空泵。



背景技术:

罗茨真空泵是指泵内装有两个相反方向同步旋转的叶形转子,转子间、转子与泵壳内壁间有细小间隙而互不接触的一种变容真空泵,罗茨真空泵在石油、化工、塑料、农药、汽轮机转子动平衡、航空航天空间模拟等装置上得到了长期运行的考验,同时也广泛用于石油、化工、冶金、纺织等工业,也是离子镀膜机工作运行中尤其重要的工件。目前市场上的罗茨真空泵由于输送和压缩气体而产生热量,这些热量必须从转子传至壳体而散发,但在低压下,气体对热的传导和对流性能极差,致使转子吸收的热量不易散出,造成转子温度永远高于壳体的温度,一旦气体温度大于40℃,则会导致水环泵中的水发生蒸发,从而形成水蒸气而严重影响真空泵机组抽真空的效果,而现有的罗茨真空泵冷却技术多采用空气冷却法和冷水冷却法,冷却效果不佳且成本高昂。



技术实现要素:

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足,本发明提供了一种离子镀膜机配套用罗茨真空泵,具备冷却效果好等优点,解决了现有设备冷却成本高昂的问题。

(二)技术方案

为实现上述冷却效果好的目的,本发明提供如下技术方案:一种离子镀膜机配套用罗茨真空泵,包括泵体,所述泵体的顶部开设有进气口,所述泵体的内部开设有内室,所述内室的内部活动连接有转子,所述泵体的顶部位于进气口的一侧固定连接有导向阀盖,所述导向阀盖的底部固定连接有自重阀头,所述自重阀头的底部固定连接有密封圈,所述泵体的底部开设有第一出气口,所述泵体外壁的一侧开设有第二出气口,所述进气口的内部活动连接有输油管,所述输油管的一端延伸至内室的内部,所述输油管通过固定架固定连接在内室的内壁处,所述输油管的一端贯穿第二出气口的内部并与过滤器的顶部固定连接,所述输油管的另一端与冷却器的一端固定连接,所述冷却器的另一端通过第一管道与油箱的顶部固定连接,所述油箱的底部通过第二管道与过滤器的底部固定连接。

优选的,所述转子的数量为两个,所述转子的规格相同。

优选的,所述第一出气口内壁的底部固定连接有冷却装置。

优选的,所述冷却装置包括冷却外壳,所述冷却外壳的内壁处固定连接有冷却水箱。

优选的,所述冷却外壳的中心处开设有冷却通道,所述冷却通道的内部固定连接有冷凝管。

优选的,所述输油管上开设有出油孔。

优选的,所述输油管上固定连接有第一油泵。

优选的,所述第一管道上固定连接有第二油泵。

优选的,所述第二管道上固定连接有第三油泵。

优选的,所述泵体底部位于第一出气口的两侧固定连接有支腿。

(三)有益效果

与现有技术相比,本发明提供了一种离子镀膜机配套用罗茨真空泵,具备以下有益效果:

1、该离子镀膜机配套用罗茨真空泵,通过设置输油管、油泵、冷却器和过滤器,通过第二油泵将油箱内的油经过冷却器并抽入输油管内,输油管上的出油孔将冷却后的油均匀的滴落在转子的外表面,油滴到转子上之后,随着转子的旋转而均匀的分布在转子的表面上,不仅将转子的热量带走,同时在两个转子表面上形成油膜,防止气体的逆流,而且还能将转子表面上依附的微细尘埃带走,油除冷却转子外,还润滑齿轮和轴承,通过第一油泵将剩余的油抽入过滤器内继而回到油箱内,达到循环利用油的效果,降低了冷却成本,提高了冷却效率。

2、该离子镀膜机配套用罗茨真空泵,通过设置冷却装置,利用冷却水箱和冷凝管对排出第一出气口的气体进行冷却散热,达到了双重冷却泵体的效果,提高了泵体抽真空的工作效率。

附图说明

图1为本发明结构示意图;

图2为本发明图1中a处局部放大结构示意图;

图3为本发明冷却装置结构示意图。

图中:1泵体、2进气口、3内室、4转子、5导向阀盖、6自重阀头、7密封圈、8第一出气口、9第二出气口、10输油管、11固定架、12过滤器、13冷却器、14第一管道、15油箱、16第二管道、17冷却装置、171冷却外壳、172冷却水箱、173冷却通道、174冷凝管、18出油孔、19第一油泵、20第二油泵、21第三油泵、22支腿。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。

请参阅图1-3,一种离子镀膜机配套用罗茨真空泵,包括泵体1,泵体1底部位于第一出气口8的两侧固定连接有支腿22,泵体1的顶部开设有进气口2,泵体1的内部开设有内室3,内室3的内部活动连接有转子4,转子4的数量为两个,转子4的规格相同,两个转子4同步相反方向旋转,转子4之间、转子4与泵体1内壁间有细小间隙而互不接触,泵体1的顶部位于进气口2的一侧固定连接有导向阀盖5,导向阀盖5的底部固定连接有自重阀头6,自重阀头6的底部固定连接有密封圈7,泵体1的底部开设有第一出气口8,第一出气口8内壁的底部固定连接有冷却装置17,冷却装置17包括冷却外壳171,冷却外壳171的内壁处固定连接有冷却水箱172,冷却外壳171的中心处开设有冷却通道173,冷却通道173的内部固定连接有冷凝管174,该离子镀膜机配套用罗茨真空泵,通过设置冷却装置17,利用冷却水箱172和冷凝管174对排出第一出气口8的气体进行冷却散热,达到了双重冷却泵体1的效果,提高了泵体抽真空的工作效率,泵体1外壁的一侧开设有第二出气口9,进气口2的内部活动连接有输油管10,输油管10上开设有出油孔18,输油管10内的油通过出油孔18均匀的滴落在转子4的表面,输油管10上固定连接有第一油泵19,输油管10的一端延伸至内室3的内部,输油管10通过固定架11固定连接在内室3的内壁处,输油管10的一端贯穿第二出气口9的内部并与过滤器12的顶部固定连接,输油管10的另一端与冷却器13的一端固定连接,冷却器13的另一端通过第一管道14与油箱15的顶部固定连接,第一管道14上固定连接有第二油泵20,该离子镀膜机配套用罗茨真空泵,通过设置输油管10、油箱15、冷却器13和过滤器12,通过第二油泵20将油箱15内的油经过冷却器13并抽入输油管10内,输油管10上的出油孔18将冷却后的油均匀的滴落在转子4的外表面,油滴到转子4上之后,随着转子4的旋转而均匀的分布在转子4的表面上,不仅将转子4的热量带走,同时在两个转子4表面上形成油膜,防止气体的逆流,而且还能将转子4表面上依附的微细尘埃带走,油除冷却转子4外,还润滑齿轮和轴承,通过第一油泵19将剩余的油抽入过滤器12内继而回到油箱15内,达到循环利用油的效果,降低了冷却成本,提高了冷却效率,油箱15的底部通过第二管道16与过滤器12的底部固定连接,第二管道16上固定连接有第三油泵21。

该文中出现的电器元件均与外界的主控器及220v市电电连接,并且主控器可为计算机等起到控制的常规已知设备。

在使用时,该离子镀膜机配套用罗茨真空泵,通过第二油泵20将油箱15内的油经过冷却器13并抽入输油管10内,输油管10上的出油孔18将冷却后的油均匀的滴落在转子4的外表面,油滴到转子4上之后,随着转子4的旋转而均匀的分布在转子4的表面上,不仅将转子4的热量带走,同时在两个转子4表面上形成油膜,防止气体的逆流,而且还能将转子4表面上依附的微细尘埃带走,油除冷却转子4外,还润滑齿轮和轴承,通过第一油泵19将剩余的油抽入过滤器12内继而回到油箱15内,通过设置冷却装置17,利用冷却水箱172和冷凝管174对排出第一出气口8的气体进行冷却散热,达到了双重冷却泵体1的效果,提高了泵体抽真空的工作效率。

综上所述,该离子镀膜机配套用罗茨真空泵,通过设置输油管10、油箱15、冷却器13和过滤器12,通过第二油泵20将油箱15内的油经过冷却器13并抽入输油管10内,输油管10上的出油孔18将冷却后的油均匀的滴落在转子4的外表面,油滴到转子4上之后,随着转子4的旋转而均匀的分布在转子4的表面上,不仅将转子4的热量带走,同时在两个转子4表面上形成油膜,防止气体的逆流,而且还能将转子4表面上依附的微细尘埃带走,油除冷却转子4外,还润滑齿轮和轴承,通过第一油泵19将剩余的油抽入过滤器12内继而回到油箱15内,达到循环利用油的效果,降低了冷却成本,提高了冷却效率,该离子镀膜机配套用罗茨真空泵,通过设置冷却装置17,利用冷却水箱172和冷凝管174对排出第一出气口8的气体进行冷却散热,达到了双重冷却泵体1的效果,提高了泵体抽真空的工作效率。

需要说明的是,在本文中,诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来,而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且,术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含,从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素,而且还包括没有明确列出的其他要素,或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本发明的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

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