专利名称：分离式硅烷管的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种气体输送管体结构，尤其是一种分离式硅烷管，属于硅烷管的技术领域。
背景技术：
随着光伏行业的迅猛发展，各电池片厂商面临着越来越大的竞争压力，而设备的维护时间和维护成本占了很了很大一部分，特气管是PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor D印osition)镀膜上面的重要零部件，由于其在反应腔式里工作，反应生成的氮化硅会沉积在特气管的出气口处而堵塞气管。为了保正反应的正常进行，必须定期对特气管进行拆洗维护，而反应生成的氮化硅也会沉积在安装螺钉处，使得特气管的拆洗、更换异常繁琐，甚至有可能在拆洗更换中损坏设备，传统的硅烷管采用整体式，管体与安装板焊接在一起，再用螺钉将安装板固定在设备上，为保证硅烷管牢固可靠，固定板采用8个螺钉固定， 当硅烷管需要拆洗时，需要将硅烷管上的特气管8个螺钉都同时拆下，而沉积在安装螺钉上的氮化硅也会增加拆卸的难度，工作量非常大；而随着使用，硅烷管管体损坏时候，则硅烷管的管体部分连同安装板都需要做报废处理，非常浪费。
发明内容本实用新型的目的是克服现有技术中存在的不足，提供一种分离式硅烷管，其结构简单紧凑，安装使用方便，降低使用成本，安全可靠。按照本实用新型提供的技术方案，所述分离式硅烷管，包括硅烷管；所述硅烷管通过紧固螺栓及紧固螺母紧固安装于固定支架上。所述硅烷管上设置四个均勻分布的紧固螺栓，所述紧固螺栓穿入固定支架上的硅烷管安装定位孔内，并通过与紧固螺母对应配合紧固安装于固定支架上。所述固定支架包括连接板，所述连接板的两侧分别设置硅烷管安装板及连接定位板，所述硅烷管安装定位孔均勻分布于硅烷管安装板上。所述连接定位板上设置若干连接定位孔。所述硅烷管安装板及连接板的结合部设置对称分布的定位槽，所述定位槽贯通硅烷管安装板。所述硅烷管包括管体，所述管体上设置若干均勻分布的出气孔，所述出气孔与管体相连通。所述管体上设有进气管，所述进气管与管体相连通。所述进气管包括第一连接管， 所述第一连接管通过连接管接头分别与第二连接管及第三连接管相连通，第二连接管及第三连接管对应于与连接管接头相连的另一端对称安装于管体上。所述管体上设置22个均勻分布的出气孔。所述硅烷管包括左硅烷管及右硅烷管。本实用新型的优点硅烷管上设置四个均勻分布的紧固螺栓，硅烷管通过紧固螺栓及紧固螺母紧固安装于固定支架上，固定支架固定安装于设备壳体上，便于将硅烷管与固定支架的分离；固定支架先同设备连接，更换时，只需拆装硅烷管和固定支架的四只紧固螺栓，相对于之前需拆装固定支架与设备上的八个固定螺钉，缩短了一半的工作量；当硅烷管损坏时，只需更换硅烷管即可，节约了之前硅烷管连同安装板一同报废带来的采购成本； 结构简单紧凑，安装使用方便，降低使用成本，安全可靠。
图1为本实用新型的结构示意图。图2为本实用新型的另一种状态图。图3为本实用新型固定支架的结构示意图。图4为本实用新型硅烷管的结构示意图。
具体实施方式
下面结合具体附图和实施例对本实用新型作进一步说明。如图广图4所示本实用新型包括固定支架1、硅烷管2、连接定位孔3、紧固螺栓 4、进气管5、连接定位板6、硅烷管安装板7、定位槽8、硅烷管安装定位孔9、管体10、第二连接管11、出气孔12、第三连接管13、连接管接头14、第一连接管15及连接板16。如图1、图2、图3和图4所示为了能够方便安装及对硅烷管2进行维修，所述硅烷管2上设置四个均勻分布的紧固螺栓4，所述紧固螺栓4穿入固定支架1上的硅烷管安装定位孔9内，并通过紧固螺母与固定支架1紧固连接。所述固定支架1包括连接板16，所述连接板16的两侧设置对称分布的连接定位板6及硅烷管安装板7，所述连接定位板6及硅烷管安装板7连接板16间的夹角成锐角。连接板16上设置若干均勻分布的连接定位孔 3，固定支架1通过连接定位孔3能够安装于相应的设备壳体上。硅烷管安装板7上设置四个均勻分布的硅烷管安装定位孔9，所述硅烷管安装定位孔9与硅烷管2上的紧固螺栓4相匹配。连接板16与硅烷管安装板7的结合部设置对称分布的定位槽8，所述定位槽8的槽口从硅烷管安装板7对应于与连接板16相连的另一端延伸到连接板16与硅烷管安装板 7的结合部。硅烷管2包括管体10，所述管体10为中空结构；管体10的一侧设置紧固螺栓4。 管体10上设置若干均勻分布的出气孔12，所述出气孔12与管体10相连通，具体地，本实用新型中管体10上设置了 22个出气孔12，通过出气孔12能够将气体均勻通入设备的腔体内。管体10上设置进气管5，所述进气管5包括第一连接管15，所述第一连接管15的一端通过连接管接头14分别与第二连接管11及第三连接管13相连通，第二连接管11及第三连接管13对应于与连接管接头14相连的另一端对称分布于管体10上，且第一连接管15 通过第二连接管11、第三连接管13与管体10相连通。进气管5通过对称分布于管体10上的第二连接管11及第三连接管13使得气体均勻进入管体10内，并通过出气孔12均勻喷出ο如图广图4所示所述硅烷管2包括左硅烷管及右硅烷管，所述左硅烷管及右硅烷管的结构相一致，左硅烷管及右硅烷管均通过固定支架1安装于设备上，左硅烷管及右硅烷管只是在设备上的位置不同。使用时，先将固定支架1的连接定位板6固定安装于设备的壳体上，然后将左硅烷管、右硅烷管上的紧固螺栓4穿入硅烷管安装定位孔9内，并通过紧固螺母紧固安装于固定支架1上。硅烷管2上的出气孔12与设备的腔体相应放置，然后将第一连接管15的端部与进气设备相连。工作时，气体通过第一连接管15进入，并通过第二连接管11及第三连接管13分流后进入管体10内，在管体10内均勻混合后，经过出气孔12喷入设备的腔体内。当设备需要维护而拆装硅烷管2时，只需要通过拆卸硅烷管2上的四个紧固螺栓4即可，不需要将固定支架1及硅烷管2全部拆除。本实用新型相比现有安装结构，当拆除时能够节省一半的工作量。另外，随着时间的推移，当需要更换时，只需要将硅烷管2拆除，更换固定支架1即可，降低了硅烷管2安装后的更换成本，从而增强了竞争力。 本实用新型硅烷管2上设置四个均勻分布的紧固螺栓4，硅烷管2通过紧固螺栓4 及紧固螺母紧固安装于固定支架1上，固定支架1固定安装于设备壳体上，便于将硅烷管2 与固定支架1的分离；固定支架1先同设备连接，更换时，只需拆装硅烷管2和固定支架1 的4只紧固螺栓4，相对于之前需拆装固定支架1与设备上的8个固定螺钉，缩短了一半的工作量；当硅烷管2损坏时，只需更换硅烷管2即可，节约了之前硅烷管连同安装板一同报废带来的采购成本；结构简单紧凑，安装使用方便，降低使用成本，安全可靠。
权利要求1.一种分离式硅烷管，包括硅烷管(2);其特征是所述硅烷管(2)通过紧固螺栓(4)及紧固螺母紧固安装于固定支架(1)上。
2.根据权利要求1所述的分离式硅烷管，其特征是所述硅烷管(2)上设置四个均勻分布的紧固螺栓(4)，所述紧固螺栓(4)穿入固定支架(1)上的硅烷管安装定位孔(9)内，并通过与紧固螺母对应配合紧固安装于固定支架(1)上。
3.根据权利要求2所述的分离式硅烷管，其特征是所述固定支架(1)包括连接板 (16),所述连接板(16)的两侧分别设置硅烷管安装板(7)及连接定位板(6)，所述硅烷管安装定位孔(9 )均勻分布于硅烷管安装板(7 )上。
4.根据权利要求3所述的分离式硅烷管，其特征是所述连接定位板(6)上设置若干连接定位孔(3)。
5.根据权利要求3所述的分离式硅烷管，其特征是所述硅烷管安装板(7)及连接板 (16)的结合部设置对称分布的定位槽(8)，所述定位槽(8)贯通硅烷管安装板(J)。
6.根据权利要求1所述的分离式硅烷管，其特征是所述硅烷管(2)包括管体(10)，所述管体(10)上设置若干均勻分布的出气孔(12)，所述出气孔(12)与管体(10)相连通。
7.根据权利要求6所述的分离式硅烷管，其特征是所述管体(10)上设有进气管(5)， 所述进气管(5)与管体(10)相连通。
8.根据权利要求7所述的分离式硅烷管，其特征是所述进气管(5)包括第一连接管 (15)，所述第一连接管(15)通过连接管接头(14)分别与第二连接管(11)及第三连接管 (13)相连通，第二连接管(11)及第三连接管(13)对应于与连接管接头(14)相连的另一端对称安装于管体(10)上。
9.根据权利要求6所述的分离式硅烷管，其特征是所述管体(10)上设置22个均勻分布的出气孔(12)。
10.根据权利要求1所述的分离式硅烷管，其特征是所述硅烷管(2)包括左硅烷管及右硅烷管。
专利摘要本实用新型涉及一种分离式硅烷管，属于硅烷管的技术领域。按照本实用新型提供的技术方案，所述分离式硅烷管，包括硅烷管；所述硅烷管通过紧固螺栓及紧固螺母紧固安装于固定支架上。本实用新型硅烷管上设置四个均匀分布的紧固螺栓，硅烷管通过紧固螺栓及紧固螺母紧固安装于固定支架上，固定支架固定安装于设备壳体上，便于将硅烷管与固定支架的分离；固定支架先同设备连接，更换时，只需拆装硅烷管和固定支架的四只紧固螺栓，相对于之前需拆装固定支架与设备上的八个固定螺钉，缩短了一半的工作量；当硅烷管损坏时，只需更换硅烷管即可，节约了之前硅烷管连同安装板一同报废带来的采购成本；结构简单紧凑，安装使用方便，降低使用成本，安全可靠。
文档编号F16L3/24GK202252344SQ20112040551
公开日2012年5月30日 申请日期2011年10月21日 优先权日2011年10月21日
发明者代宁, 尤耀明, 李文虎 申请人:无锡绿波新能源设备有限公司