专利名称：药液供给系统的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及药液供给技术，更具体地，涉及药液供给系统。
背景技术：
当前，在边缘湿法刻蚀等刻蚀工艺中，刻蚀设备在刻蚀过程中，通过自动补液气动阀控制刻蚀槽中药液的添加。自动补液时，气动阀打开，刻蚀液经气动阀流入刻蚀槽。自动补液的时间是预先设定的，在阀门开启的时间达到该预先设定的时间时，阀门被自动关闭， 补液结束。图1是常规的刻蚀槽供液系统的示意图。刻蚀液从管路10送入药液添加盒12。 在刻蚀槽15中的液量低于设定阈值时，刻蚀液可经由加液管13补给到刻蚀槽15中。如图所示，加液管13在其下游分成两个管路，一个管路被设置为自动补液管路，另一个管路则设置为手动补液管路。自动补液时，自动补液气动阀141打开，药液经由管路14流入刻蚀槽15，当达到针对每次补液所设定的自动补液时间后，气动阀141关闭，添加盒12中的溶液不再送入刻蚀槽15。药液供给过程中，自动补液气动阀141长时间被药液腐蚀导致堵塞，使得流经气动阀141的药液量变小，在自动补液的预设时间不变的情况下，自动补液量将少于设定的补给量。假设预先设定的自动补液过程中，每次补液时间为74秒，在气动阀141没有堵塞的正常情况下，则补液量为74*V1升，其中Vl为流速，而在气动阀产生了堵塞的情况下，通过其得溶液变少，流速变小，从而74秒的补液量为74*V2，其中V2为减小后的流速，可见相同的时间内，堵塞后的补液量将小于正常情况下的补液量，这就导致刻蚀槽中药液的浓度比例失调。进一步，如果需要对堵塞后的自动补液气动阀141进行维护，则必须停止刻蚀槽供液系统的工作，将自动供给溶液转换为手动供给溶液，进而通过手动补液气动阀142将添加盒12中的药液排空到刻蚀槽中，导致刻蚀槽中药液的浓度比例失调更加严重，同时降低了生产产能。可见，常规的刻蚀槽供液系统，在自动补液气动阀堵塞的情况下就会导致刻蚀槽药液浓度比例失调，使得刻蚀工艺产生异常、电池片刻蚀减重不能达到工艺要求。更深层地，会导致电池短路电流过低、填充因子过低、电池转换效率下降等。而在自动补液气动阀维护时，又会导致刻蚀槽的药液比例更加严重，而且要在停机状态下进行维护，造成产能下降。
实用新型内容为解决上述及其它问题，本实用新型提供一种用于刻蚀设备中的药液供给的药液供给系统。该药液供给系统可包括第一输送管路、接收来自所述第一输送管路的药液的暂存槽、将所述暂存槽中的药液送入刻蚀槽的第二输送管路，而所述第二输送管路包括控制其流通与关闭的阀门，其中，所述第二输送管路还包括设置在所述阀门与所述暂存槽之间处于常开状态的附加阀门，所述附加阀门控制其所在的管路的流通与关闭。在本申请中，术语“常开状态的附加阀门”指的是该附加阀门通常处在打开的状态下，使得药液可以通过， 而在需要的时候，该附加阀门可以关闭，从而使得药液无法通过。本实用新型所述的药液供给系统，优选地，所述第二输送管路可分成自动供给管路和手动供给管路，所述自动供给管路可以包括自动供给阀门，所述手动供给管路可以包括手动供给阀门。本实用新型所述的药液供给系统，优选地，所述附加阀门可设置在所述自动供给管路和所述手动供给管路的共用端与所述暂存槽之间。本实用新型所述的药液供给系统，优选地，所述自动供给阀门和所述手动供给阀门都是气动阀；优选所述附加阀门为气动阀。本实用新型所述的药液供给系统，优选地，所述附加阀门处于常开状态，并可根据需要关闭。优选地，所述药液供给系统用于向刻蚀设备的刻蚀槽供应药液。根据本实用新型所述的药液供给系统的一个示例，在清洗自动供给阀门时，只需使处在自动供给阀门上游的附加阀门关闭即可，而无需将暂存槽中的药液全部送入刻蚀槽。根据本实用新型所述的药液供给系统的再一个示例，无论是要清洗自动供给阀门，还是手动供给阀门，都只需将设置在它们上游的附加阀门关闭即可。
图1是常规的刻蚀槽溶液供给系统的示意图；以及图2是根据本实用新型的一个示例的药液供给系统的示意图。
具体实施方式
以下结合附图进一步阐述本实用新型。需要说明的是，所给出的附图为示意性的， 并不就此限制实际应用中溶液供给系统中各部件的实际大小及形状。参考图2，其给出了根据本实用新型的药液供给系统的一个示例性结构。先行说明的是，以下示例中，以该药液供给系统向刻蚀设备的刻蚀槽中供应溶液为例进行说明，但并不以此为限。术语“溶液”、“药液”都指代在药液供给系统中流动的物质，根据该系统的应用环境，其可以对应于不同的物质，例如对应于刻蚀设备时，其指代的是药液。如图所示，药液供给系统用于向刻蚀设备的刻蚀槽27补给药液，药液供给系统包括第一输送管路20、自第一输送管路20接收所输送的溶液的暂存槽22，自暂存槽22接收溶液的第二输送管路23，第二输送管路23包括控制其关闭与流通的阀门(如下文将要描述的自动供给阀门240)，第二输送管路23还包括设置在该阀门与暂存槽22之间的附加阀门 230，通过附加阀门230的开启与关闭可以使第二输送管路23流通和关闭，但附加阀门230 是处于常开状态的，仅在需要时才处于关闭状态，如清洗设置在附加阀门230下游的阀门时。进一步说，附加阀门230 —般处在常开状态，而在附加阀门230常开的状态下，由该阀门来控制第二输送管路23的流通与关闭。该附加阀门230可选用球阀等。在本申请的描述中，术语“下游”是相对于溶液从暂存槽22到刻蚀槽27的流向而言的，与本领域技术人员的惯常理解一致。暂存槽22用以存放溶液，其也可称为溶液添加盒。
4[0020]根据图2的示例，第二输送管路23分成自动供给管路M和手动供给管路25，自动供给管路M和手动供给管路25可以分别连接到刻蚀槽27，也可以如图2所示意的那样，合成一个管路后经由共同的送入管26将溶液送入刻蚀槽27。自动供给管路M中设置有自动供给阀门M0，手动供给管路25中设置有手动供给阀门250。由于自动供给阀门240和手动供给阀门250的功能不同，自动供给阀门MO内有堵片而手动供给阀门250内没有堵片， 单位时间内通过手动供给阀门250加入刻蚀槽27的药液体积是通过自动供给阀门MO的几十倍。当需要大量的向刻蚀槽27中加入药液时，可通过手动供给阀门250快速的向刻蚀槽27中加入药液，避免通过自动供给阀门240所带来的加液速度慢的问题。本例中，附加阀门230设置在自动供给管路M与手动供给管路25的共用端45与暂存槽22之间。该刻蚀槽溶液供给系统可以包括控制模块(图中未示意)，其控制溶液供给的时间。控制模块预先设定与溶液供给有关的时间参数，例如设定每次供给的时段，而该时段的设置可由每次要供给的溶液量与输送管的流量确定。控制模块可以实现为软件模块，也可实现为硬件单元，例如DSP数字处理器、专用集成电路等。实际应用中，对于溶液供给的时间的设定也可以使用简单的处理技术，例如单片机或PLC简单编程等。刻蚀设备生产期间，当刻蚀槽中的溶液量小于设定的阈值时，便由药液供给系统向其补给药液；或者在刻蚀设备已经生产了一定量(比如3000片)的电池片时，启动药液补给功能。在刻蚀槽药液供给系统开始自动补给药液时，自动供给管路M中的自动供给阀门 240开启，溶液通过第一输送管路23、自动供给管路M、送入管路沈送往刻蚀槽27，在自动供给阀门240的打开时间(即自动供给管路M流通的时间)持续了预先设定的时间段后，自动供给阀门240关闭，补液操作结束。本实用新型的所有示例中，优选自动供给阀门240为气动阀。手动供给阀门250也可优选为气动阀。在需要对自动供给阀门240进行维护时，关闭附加阀门230，使得暂存槽22与自动供给阀门240之间的输送管路处于关闭状态，这样，暂存槽22中的溶液就无需像现有技术那样，送入到暂存槽中，导致暂存槽中溶液浓度失调，也无须停止刻蚀设备的运转。此外，由于便于维护，所以一旦自动供给阀240产生堵塞，即可对其进行维护，避免了溶液补给量不足的情况，从而无损于电池片的生产过程及其品质。如需要对手动供给阀250进行清洗，可使用与自动补液气动阀240相同的操作。应当说明的是，以上具体实施方式
只是本实用新型的示意性而非限制性地说明。 尽管已参照上述具体实施方式
对本实用新型进行了详细描述，但本领域的普通技术人员应当理解，依然可对本实用新型的具体实施方式
进行修改或对部分技术特征进行等同替换， 而这些修改或等同替换均应涵盖在本实用新型请求保护的范围内。
权利要求1.一种药液供给系统，用于刻蚀设备中的药液供给，该系统包括第一输送管路、接收自所述第一输送管路传送的药液的暂存槽、将所述暂存槽中的药液送入刻蚀槽的第二输送管路，所述第二输送管路包括控制其关闭与流通的阀门，其特征在于，所述第二输送管路还包括设置在所述阀门与所述暂存槽之间处于常开状态的附加阀门。
2.根据权利要求1所述的药液供给系统，其特征在于，所述第二输送管路分成自动供给管路和手动供给管路，所述自动供给管路包括自动供给阀门，所述手动供给管路包括手动供给阀门。
3.根据权利要求2所述的药液供给系统，其特征在于，所述附加阀门设置在所述自动供给管路和所述手动供给管路的共用端与所述暂存槽之间。
4.根据权利要求2或3所述的药液供给系统，其特征在于，所述自动供给阀门和所述手动供给阀门都是气动阀。
5.根据权利要求1所述的药液供给系统，其特征在于，所述药液供给系统用于向刻蚀设备的刻蚀槽供应药液。
专利摘要本实用新型提供一种用于刻蚀设备中的药液供给的药液供给系统。该药液供给系统可包括第一输送管路、接收来自所述第一输送管路的药液的暂存槽、将所述暂存槽中的药液送入刻蚀槽的第二输送管路，而所述第二输送管路包括控制其流通与关闭的阀门，其中，所述第二输送管路还包括设置在所述阀门与所述暂存槽之间的附加阀门，所述附加阀门控制其所在的管路的流通与关闭。通过该系统，可以方便地借由所述附加阀门的开与关，控制所述阀门与所述暂存槽之间的流通与关闭，进而有助于对所述阀门的维护。
文档编号F17D1/08GK202152917SQ20112020561
公开日2012年2月29日 申请日期2011年6月17日 优先权日2011年6月17日
发明者何悦, 曹韵, 畅西林, 荣道兰 申请人:尚德太阳能电力有限公司, 无锡尚德太阳能电力有限公司