真空镀膜双路供气装置制造方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种真空镀膜双路供气装置，包括气瓶，所述气瓶包括出气口管路连接的第一气瓶和第二气瓶，在连接第一气瓶和第二气瓶的管路上，分别设有控制第一气瓶供气的第一电磁阀、控制第二气瓶供气的第二电磁阀，第一电磁阀和第二电磁阀之间的管路上连接有通向真空镀膜设备的供气管，第一电磁阀和第二电磁阀内均设有可检测气体压力的压力传感器，第一电磁阀和第二电磁阀线路连接有控制器。本实用新型通过第一气瓶和第二气瓶的自动切换，保证了真空镀膜设备用气的稳定性，避免了由于气瓶内气体容量或气压过低而对镀膜质量带来的不利影响。
【专利说明】真空镀膜双路供气装置
【技术领域】
[0001 ] 本实用新型涉及一种真空镀膜双路供气装置。
【背景技术】
[0002]真空镀膜工艺中，供气系统连接靶材提供氧气、氩气的混合气体，通过永磁铁轰击和阴极激励等方式，使涂覆材料微粒子运动而附着在玻璃上。目前行业内普遍使用的供气装置采用单个气瓶供气，当气体耗尽或气体压力低于供气标准时，就需要人工更换气瓶，更换过程中会影响整个镀膜的稳定性，而且经常由于更换时间人为掌握不准确，造成较长时间供气压力不足，影响镀膜品质。
实用新型内容
[0003]本实用新型要解决的技术问题是:克服现有技术中之不足，提供一种能自动切换气路、稳定供气容量和压力的真空镀膜双路供气装置。
[0004]本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:一种真空镀膜双路供气装置，包括气瓶，所述气瓶包括出气口管路连接的第一气瓶和第二气瓶，在连接第一气瓶和第二气瓶的管路上，分别设有控制第一气瓶供气的第一电磁阀、控制第二气瓶供气的第二电磁阀，第一电磁阀和第二电磁阀之间的管路上连接有通向真空镀膜设备的供气管，第一电磁阀和第二电磁阀内均设有可检测气体压力的压力传感器，第一电磁阀和第二电磁阀线路连接有控制器。
[0005]本实用新型的有益效果是:本实用新型通过第一气瓶和第二气瓶的自动切换，保证了真空镀膜设备用气的稳定性，避免了由于气瓶内气体容量或气压过低而对镀膜质量带来的不利影响。
【专利附图】
【附图说明】
[0006]下面结合附图和实施方式对本实用新型进一步说明。
[0007]图1是本实用新型的结构示意图。
[0008]图中1.第一气瓶2.第二气瓶3.第一电磁阀4.第二电磁阀5.供气管
6.控制器
【具体实施方式】
[0009]现在结合附图对本实用新型作进一步的说明。这些附图均为简化的示意图仅以示意方式说明本实用新型的基本结构，因此其仅显示与本实用新型有关的构成。
[0010]如图1所示的一种真空镀膜双路供气装置，包括出气口管路连接的第一气瓶I和第二气瓶2，在连接第一气瓶I和第二气瓶2的管路上，分别设有控制第一气瓶I供气的第一电磁阀3、控制第二气瓶2供气的第二电磁阀4，第一电磁阀3和第二电磁阀4之间的管路上连接有通向真空镀膜设备的供气管5。[0011]在第一电磁阀3的内部设有可检测第一气瓶I内气体压力的压力传感器，第二电磁阀4内部同样也设有可检测第二气瓶2内气体压力的压力传感器，第一电磁阀3和第二电磁阀4线路相连，同时第一电磁阀3和第二电磁阀4线路连接有控制器6，压力传感器将检测信号传输给控制器6,由控制器6发出指令,开启或关闭第一电磁阀3或第二电磁阀4。
[0012]工作时，设置第一电磁阀3先开启，第一气瓶I向真空镀膜设备供气，工作一段时间后，当第一电磁阀3内的压力传感器检测到第一气瓶I内气体不足，气压偏低时，控制器6发出指令，关闭第一电磁阀3，开启第二电磁阀4，供气装置自动切换到第二气瓶2供气，而后一段时间操作工人可将第一气瓶I更换为充满气体的新气瓶，从而有效地保证了一定工作时间内真空磁溅射镀膜用气的稳定，有利于提高镀膜质量。
[0013]本实用新型通过第一气瓶I和第二气瓶2之间的自动切换，保证了真空镀膜设备用气的稳定性，避免了由于第一气瓶I或第二气瓶2内气体容量或气压过低,而对镀膜质量带来的不利影响。
[0014]上述实施方式只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本实用新型的内容并加以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围，凡根据本实用新型精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围内。
【权利要求】
1.一种真空镀膜双路供气装置，包括气瓶，其特征是:所述气瓶包括出气口管路连接的第一气瓶(I)和第二气瓶(2),在连接第一气瓶(I)和第二气瓶(2)的管路上,分别设有控制第一气瓶(I)供气的第一电磁阀(3)、控制第二气瓶(2)供气的第二电磁阀(4),第一电磁阀(3)和第二电磁阀(4)之间的管路上连接有通向真空镀膜设备的供气管(5)，第一电磁阀(3)和第二电磁阀(4)内均设有可检测气体压力的压力传感器，第一电磁阀(3)和第二电磁阀(4)线路连接有控制器(6)。
【文档编号】F17C13/04GK203421491SQ201320510088
【公开日】2014年2月5日 申请日期:2013年8月20日 优先权日:2013年8月20日
【发明者】冯新伟 申请人:江苏津通先锋光电显示技术有限公司