专利名称：单晶炉真空管道压力检测报警系统及其控制方法
技术领域：
本发明涉及单晶炉检测设备技术领域，特别是单晶炉真空管道压力检测报警系统及其控制方法。
背景技术：
现有的单晶炉在排气管路中设置压力检测口，压力检测口通过手阀开闭，在压力检测口上连接真空探头，真空探头检测绝对压力2700 以下压力值，压力检测范围小，仅可在设备正常工作时用于炉内拉晶工艺压力控制。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种单晶炉真空管道压力检测报警系统及其控制方法，在压力异常时及时报警。本发明解决其技术问题所采用的技术方案是一种单晶炉真空管道压力检测报警系统，包括真空探头和真空压力传感器，真空探头和真空压力传感器通过三通装置安装压力检测口上，真空压力传感器与单晶炉报警输出回路连接，当真空压力传感器检测到的压力信号超过设定的高压阀值-95. OKpa时单晶炉报警输出回路发出报警。三通装置包括直通主管和直通主管侧面的支管，直通主管的一端与压力检测口连接，另一端与真空探头连接，真空压力传感器通过快拆法兰装置与支管连接。在快拆法兰装置的法兰对接处安装粉尘过滤装置。粉尘过滤装置为带滤网的金属密封圈。一种单晶炉真空管道压力检测报警系统的控制方法，当真空压力传感器检测到的压力信号超过设定的高压阀值-95. OKpa时单晶炉报警输出回路发出报警。本发明的有益效果是加装的真空压力传感器，在设备故障，导致压力异常时及时报警，防止炉压异常造成的生产损失，杜绝炉压过高时产生的安全隐患。
下面结合附图和实施例对本发明进一步说明；图1是本发明的结构示意图；图中，1.真空探头，2.真空压力传感器，3.三通装置，4.单晶炉报警输出回路， 5.快拆法兰装置。
具体实施例方式如图1所示，一种单晶炉真空管道压力检测报警系统，包括真空探头1和真空压力传感器2，真空探头1和真空压力传感器2通过三通装置3安装压力检测口上，真空压力传感器2与单晶炉报警输出回路4连接，当真空压力传感器2检测到的压力信号超过设定的高压阀值-95. OKpa时单晶炉报警输出回路4发出报警。真空探头1检测绝对压力2700 3以下压力值，用于炉内拉晶工艺压力控制。真空压力传感器2检测标准大气压IOlKPa 至-IOlKI^压力值，是在真空探头1的压力检测区间外增加的检测部件。三通装置3包括直通主管和直通主管侧面的支管，直通主管的一端与压力检测口连接，另一端与真空探头1连接，真空压力传感器2通过快拆法兰装置5与支管连接。在快拆法兰装置5的法兰对接处安装粉尘过滤装置。粉尘过滤装置为带滤网的金属密封圈。
权利要求
1.一种单晶炉真空管道压力检测报警系统，其特征是包括真空探头(1)和真空压力传感器O)，真空探头(1)和真空压力传感器( 通过三通装置C3)安装压力检测口上，真空压力传感器O)与单晶炉报警输出回路(4)连接。
2.根据权利要求1所述的单晶炉真空管道压力检测报警系统，其特征是所述的三通装置C3)包括直通主管和直通主管侧面的支管，直通主管的一端与压力检测口连接，另一端与真空探头(1)连接，真空压力传感器( 通过快拆法兰装置( 与支管连接。
3.根据权利要求2所述的单晶炉真空管道压力检测报警系统，其特征是在所述的快拆法兰装置(5)的法兰对接处安装粉尘过滤装置。
4.根据权利要求3所述的单晶炉真空管道压力检测报警系统，其特征是所述的粉尘过滤装置为带滤网的金属密封圈。
5.一种权利要求1所述的单晶炉真空管道压力检测报警系统的控制方法，其特征是 当真空压力传感器( 检测到的压力信号超过设定的高压阀值-95. OKpa时单晶炉报警输出回路⑷发出报警。
全文摘要
本发明涉及单晶炉检测设备技术领域，特别是单晶炉真空管道压力检测报警系统及其控制方法，包括真空探头和真空压力传感器，真空探头和真空压力传感器通过三通装置安装压力检测口上，真空压力传感器与单晶炉报警输出回路连接，当真空压力传感器检测到的压力信号超过设定的高压阀值-95.0Kpa时单晶炉报警输出回路发出报警。本发明的有益效果是加装的真空压力传感器，在设备故障，导致压力异常时及时报警，防止炉压异常造成的生产损失，杜绝炉压过高时产生的安全隐患。
文档编号G01L21/00GK102313624SQ20111018532
公开日2012年1月11日 申请日期2011年7月4日 优先权日2011年7月4日
发明者马赟 申请人:常州天合光能有限公司