一种低温光致发光测试中样品台的固定装置制造方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种低温光致发光测试中样品台的固定装置，包括：侧壁夹板、第一部件、第二部件和底座，其中，两个侧壁夹板，分别与第一部件连接，分别位于第一部件的两侧，两个侧壁夹板相对设置，且两个侧壁夹板相对的内壁平面平行设置；第二部件与样品台相邻的内壁平面，与第一部件与样品台相邻的内壁平面平行设置，与两个侧壁夹板连接，用于与两个侧壁夹板和第一部件共同构成夹紧装置以夹紧样品台，其中，平行设置的宽度与样品台的宽度相匹配；底座，与两个侧壁夹板、第一部件和第二部件连接。本实用新型提供的固定装置，可以将样品台夹紧，而固定样品台，在低温测试时，减少了样品台的震动，进而避免粘在样品台上的测试样品脱落。
【专利说明】—种低温光致发光测试中样品台的固定装置【技术领域】[0001]本实用新型涉及半导体领域，特别是涉及一种低温光致发光测试中样品台的固定>J-U ρ?α装直。【背景技术】[0002]光致发光是半导体材料的一种发光现象，在光照激发下辐射复合产生的发光。它可以灵敏地反映出半导体中杂质和缺陷的能态变化，被认为是研究半导体材料能带结构最为重要的方法，也是检验和研究外延材料性能和生长均匀性的最为有效的方法。半导体材料的光致发光过程蕴含着材料结构与组分的丰富信息，是多种复杂物理过程的综合反映。 光致发光测试是一种十分有效的非接触、无损伤的光学检测手段，测试速度快、重复性好， 操作简便。[0003]光致发光测试系统主要分为低温测试和室温测试两个方面，为了获得半导体材料更多的内部信息，低温的光致发光测试一直是人们研究的首选。研究半导体材料的低温光致发光测试不仅可以认识材料的一系列基本物理性质，比如晶体的杂质、缺陷、结构完整性、组分均匀性等，还可以获得许多与晶体质量有关的丰富信息。因此，低温光致发光测试对于半导体材料的研究凸显出其具有重要且不可替代的意义。[0004]现有的光致发光测试系统在低温测试时，测试样品是利用真空酯粘在样品台上， 而样品台封装在密闭的低温腔室里，低温腔室外部借助管路与该系统其他部件相连。其中， 压缩机开启后，降温过程中带来的震动沿着管路使低温腔室也产生了微小震动，经常会出现测试样品滑落、测试终止，以及测试样品滑落后破碎而致的低温腔室污染等问题，不仅严重影响测试，降低了工作效率，还造成了系统污染和测试样品的浪费，提高了成本。实用新型内容[0005]本实用新型提供了一种低温光致发光测试中样品台的固定装置，用以解决现有技术的光致发光测试系统在低温测试时，会出现测试样品滑落的问题。[0006]为解决上述技术问题，本实用新型提供一种低温光致发光测试中样品台的固定装置，包括:侧壁夹板、第一部件、第二部件和底座，其中，两个所述侧壁夹板，分别与所述第一部件连接，分别位于所述第一部件的两侧，两个所述侧壁夹板相对设置，且两个所述侧壁夹板相对的内壁平面平行设置；所述第二部件与样品台相邻的内壁平面，与所述第一部件与样品台相邻的内壁平面平行设置，与两个所述侧壁夹板连接，用于与两个所述侧壁夹板和所述第一部件共同构成夹紧装置以夹紧所述样品台，其中，所述平行设置的宽度与所述样品台的宽度相匹配；所述底座，与两个所述侧壁夹板、所述第一部件和所述第二部件连接。[0007]进一步，所述第二部件位于所述样品台粘连样品位置的同一侧，所述第一部件位于所述样品台粘连样品位置的另一侧。[0008]进一步，所述第一`部件为方形平板状，所述第二部件为方形平板状，其中，所述第二部件的高度小于所述第一部件的高度。[0009]进一步，所述第一部件为方形平板状，所述第二部件为方形棱柱状，且数量为两个，每个所述第二部件分别与一个所述侧壁夹板连接。
[0010]进一步，所述第一部件为长方形棱柱状，所述第二部件为方形棱柱状，且所述第一部件和所述第二部件的数量均为两个，每个所述第一部件分别与一个所述侧壁夹板连接，每个所述第二部件分别与一个所述侧壁夹板连接。
[0011]进一步，所述底座上设置有一个通孔，通过所述通孔和连接件将所述样品台和所述底座固定连接在一起。
[0012]进一步，所述连接件至少包括:螺丝或钉子。
[0013]进一步，所述侧壁夹板、所述第一部件、所述第二部件和所述底座均由无氧铜材料加工制备成的。
[0014]本实用新型提供的固定装置，可以将样品台夹紧，进而通过夹紧的方式固定样品台，在低温测试时，减少了样品台的震动，进而避免粘在样品台上的测试样品脱落。
【专利附图】
【附图说明】
[0015]图1是本实用新型实施例中低温光致发光测试中样品台的固定装置的结构示意图；
[0016]图2是本实用新型优选实施例一中第一种低温光致发光测试中样品台的固定装置的结构示意图；
[0017]图3是本实用新型优选实施例一中第一种低温光致发光测试中样品台的固定装置的主视图；
[0018]图4是本实用新型优选实施例一中第一种低温光致发光测试中样品台的固定装置的俯视图；
[0019]图5是本实用新型优选实施例二中第二种低温光致发光测试中样品台的固定装置的结构框图；
[0020]图6是本实用新型优选实施例二中第二种低温光致发光测试中样品台的固定装置的主视图；
[0021]图7是本实用新型优选实施例二中第二种低温光致发光测试中样品台的固定装置的俯视图；
[0022]图8是本实用新型优选实施例三中第三种低温光致发光测试中样品台的固定装置的结构框图；
[0023]图9是本实用新型优选实施例三中第三种低温光致发光测试中样品台的固定装置的主视图；
[0024]图10是本实用新型优选实施例三中第三种低温光致发光测试中样品台的固定装置的俯视图。
【具体实施方式】
[0025]为了解决现有技的光致发光测试系统在低温测试时，会出现测试样品滑落的问题，本实用新型提供了一种低温光致发光测试中样品台的固定装置，以下结合附图以及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不限定本实用新型。[0026]基于上述问题，本实施例提供了一种低温光致发光测试中样品台的固定装置，其 结构不意如图1所不(在图1中，底座4被两个侧壁夹板I夹着)，包括:[0027]侧壁夹板1、第一部件2、第二部件3和底座4，其中，两个所述侧壁夹板1，分别与 所述第一部件2连接，分别位于所述第一部件2的两侧，两个所述侧壁夹板I相对设置，且 两个所述侧壁夹板I相对的内壁平面平行设置；所述第二部件3与样品台相邻的内壁平面， 与所述第一部件2与样品台相邻的内壁平面平行设置，与两个所述侧壁夹板I连接，用于与 两个所述侧壁夹板I和所述第一部件2共同构成夹紧装置以夹紧所述样品台，其中，所述平 行设置的宽度与所述样品台的宽度相匹配；所述底座4，与两个所述侧壁夹板1、所述第一 部件2和所述第二部件3连接。[0028]本实施例采用的上述装置，可以将样品台夹紧，进而通过夹紧的方式固定样品台， 在低温测试时，减少了样品台的震动，进而避免粘在样品台上的测试样品脱落。[0029]在设计时，可以将第一部件2设置在两个侧壁夹板I的一端，也可以将第一部件2 设置在两个侧壁夹板I的中间任意位置，本实施例中考虑到加工工艺的难易程度，将第一 部件2设置在两个侧壁夹板I的一端，减少了加工复杂度。由于样品台粘连样品的部分通 常设计为长方形棱柱状，因此，上述第二部件3和所述第一部件2与样品台相邻的内壁都为 平面，若后续低温光致发光测试中样品台进行了改进，设计成了其他形状，则该固定装置的 第一部件2和第二部件3的内壁面可以根据样品台形状进行相应的调整，例如，样品台变为 圆柱状的，则第一部件2和第二部件3的内壁面可以设计成圆弧状，以适配样品台。[0030]进一步设置时，第二部件3可以设置在位于样品台粘连样品位置的同一侧，第一 部件2设置在位于样品台粘连样品位置的另一侧。底座4上还可以设置一个通孔5，通过通 孔5和连接件将样品台和底座4固定连接在一起，其中，连接件可以是螺丝或钉子等。[0031]在制作上述固定装置时，侧壁夹板1、第一部件2、第二部件3和底座4均需要有良 好的导热性和耐低温特性，因此，本实施例采用无氧铜材料进行加工制备。[0032]下面结合优选实施例进行说明。[0033]优选实施例一[0034]本实施例提供的低温光致发光测试中样品台的固定装置如图2所示(两个侧壁夹 板I设置在底座4之上)。图2示出的固定装置包括:[0035]侧壁夹板1、第一部件2、第二部件3和底座4，其中，侧壁夹板I的数量为两个，分 别与所述第一部件2连接，分别位于所述第一部件2的两侧，两个侧壁夹板I相对的平面相 互平行；所述第二部件3与所述第一部件2相对的平面平行设置，与两个所述侧壁夹板I连 接，用于与两个所述侧壁夹板I和所述第一部件2共同构成夹紧装置以夹紧所述样品台，其 中，所述平行设置的宽度与所述样品台的宽度相匹配；所述底座4，与两个所述侧壁夹板1、 所述第一部件2和所述第二部件3连接，用于承载样品台。其中，所述第二部件3可以设置 在位于所述样品台粘连样品位置的同一侧，所述第一部件2设置在位于所述样品台粘连样 品位置的另一侧。所述第一部件2设置为方形平板状，所述第二部件3也设置为方形平板 状，所述第二部件3的高度可以小于或等于所述第一部件2的高度，本实施例中设置第二部 件3的高度小于第一部件2的高度。图3给出了第二部件3的高度低于所述第一部件2的 高度时，上述固定装置的主视图。图4给出了第二部件3的高度小于所述第一部件2的高度时，上述固定装置的俯视图。
[0036]实际设计时，可以将第二部件的高度设置的尽可能低，以减少遮挡测试样品的面积，也可以选择设计为正方形或长方形，此处不进行限定，可根据实际材料进行选择。本实施例能够保护测试样品不滑落，解决了测试样品滑落后破碎而致的低温腔室污染等问题。
[0037]优选实施例二
[0038]本实施例提供的低温光致发光测试中样品台的固定装置如图5所示(两个侧壁夹板I设置在底座4之上)。图5示出的固定装置包括:
[0039]侧壁夹板1、第一部件2、第二部件3和底座4，其中，侧壁夹板I的数量为两个，分别与所述第一部件2连接，分别位于所述第一部件2的两侧，两个侧壁夹板I相对的平面相互平行；所述第二部件3，与所述第一部件2相对的平面平行设置，与两个所述侧壁夹板I连接，用于与两个所述侧壁夹板I和所述第一部件2共同构成夹紧装置以夹紧所述样品台，其中，所述平行设置的宽度与所述样品台的宽度相匹配；所述底座4，与两个所述侧壁夹板
1、所述第一部件2和所述第二部件3连接，用于承载样品台。其中，所述第二部件3可以设置在位于所述样品台粘连样品位置的同一侧，所述第一部件2设置在位于所述样品台粘连样品位置的另一侧。所述第一部件2为方形平板状，所述第二部件3为长方形棱柱状，且长方形棱柱状的第二部件3的数量为两个，每个所述第二部件3分别与一个所述侧壁夹板I连接。图6给出了第二部件3的高度等于所述第一部件2的高度时，上述固定装置的主视图。设计时，还可以将第二部件3设计为正方形棱柱状或圆柱状等，第二部件3的数量也可以为多个，例如4个。本实施例考虑到加工工艺的难易程度，选择了加工成为长方形棱柱状的第二部件3，且数量也选择了两个。实际运用中，以固定装置能够固定样品台为目的，可以根据需求进行不同设计。
[0040]设置时，如果第二部件3的高度设置为高于第一部件2时，可以更好的固定样品台，但此时需将长方形棱柱状的第二部件3的尽量变窄，以减小覆盖测试样品的面积。
[0041]图7给出了第二部件3的高度等于所述第一部件2的高度，且底座4上还设置有一个通孔5时，上述固定装置的俯视图。本实施例通过通孔5将钉子置入，以便将样品台和所述底座4固定连接在一起，进一步稳固样品台以减少震动，保护测试样品不滑落，解决了测试样品滑落后破碎而致的低温腔室污染等问题。
[0042]优选实施例三
[0043]本实施例提供的低温光致发光测试中样品台的固定装置如图8所示(两个侧壁夹板I设置在底座4之上)。图8示出的固定装置包括:
[0044]侧壁夹板1、第一部件2、第二部件3和底座4，其中，侧壁夹板I的数量为两个，分别与所述第一部件2连接，分别位于所述第一部件2的两侧，两个侧壁夹板I相对的平面相互平行；所述第二部件3与所述第一部件2相对的平面平行设置，与两个所述侧壁夹板I连接，用于与两个所述侧壁夹板I和所述第一部件2共同构成夹紧装置以夹紧所述样品台，其中，所述平行设置的宽度与所述样品台的宽度相匹配；所述底座4，与两个所述侧壁夹板1、所述第一部件2和所述第二部件3连接，用于承载样品台。其中，所述第二部件3可以设置在位于所述样品台粘连样品位置的同一侧，所述第一部件2设置在位于所述样品台粘连样品位置的另一侧。所述第一部件2为长方形棱柱状，所述第二部件3为长方形棱柱状，且所述第一部件2和所述第二部件3的数量均为两个，每个所述第一部件2分别与一个所述侧壁夹板I连接，每个所述第二部件3分别与一个所述侧壁夹板I连接。图9给出了第二部 件3的高度等于所述第一部件2的高度时，上述固定装置的主视图。图10给出了第二部件 3的高度等于所述第一部件2的高度时，上述固定装置的俯视图。[0045]通过运用本实施例，可以保护测试样品不滑落，解决了测试样品滑落后破碎而致 的低温腔室污染等问题。[0046]优选实施例四[0047]为了确保半导体材料低温光致发光测试顺利进行，本实施例提供了一种低温光致 发光测试中样品台的固定装置，不仅解决了测试中测试样品滑落、测试终止、测试样品滑落 后破碎而致的低温腔室污染等问题，而且该装置和测试样品的安装与取下都简便并能一次 性完成测试，提高了工作效率，避免了低温腔室的污染和测试样品的浪费，大大降低了成 本。[0048]本实施例的一种低温光致发光测试中样品台的固定装置，是安装在低温腔室内样 品台上。把样品台的底端装入该固定装置中，固定装置底部通过螺丝使其与样品台固定好， 测试样品借助于真空酯粘在样品台上，并使测试样品下端紧靠在固定装置的底部。该固定 装置的装取方便，也不影响测试样品的装取，它是采用纯度为99.95%以上的无氧铜材料加 工制成的，由于无氧铜材料具有良好的导热性、耐低温特性，因此低温腔室的样品台上加入 该装置这一负载后不但不影响测试系统的控温精度，还保证了测试样品无滑脱、测试一次 完成，避免了因测试样品滑落后破碎而致的低温腔室的污染和测试样品的浪费。[0049]下面对安装该固定装置的过程进行说明:把光致发光系统低温腔室的样品台底部 装入到本实施例的固定装置中，装置底部通过螺丝使其与样品台固定好；把测试样品用真 空酯安装在样品台上，用镊子上下左右移动样品使其与样品台贴合的牢固平整，并使测试 样品下端紧靠在固定装置的底部；把装好样品和固定装置的样品台放入光致发光测试的低 温腔室，调整好位置后用螺丝固定好；对低温腔室进行抽真空，抽到指定真空度后开启压缩 机进行降温；待降到设定温度后对测试样品进行光致发光测试。[0050]本实施例的一种低温光致发光测试中样品台的固定装置，装取到样品台上方便， 也不影响测试样品的装取，有效的解决了测试中测试样品滑落问题。[0051]尽管为示例目的，已经公开了本实用新型的优选实施例，本领域的技术人员将意 识到各种改进、增加和取代也是可能的，因此，本实用新型的范围应当不限于上述实施例。
【权利要求】
1.一种低温光致发光测试中样品台的固定装置，其特征在于，包括: 侧壁夹板(I)、第一部件(2)、第二部件(3)和底座(4)，其中， 两个所述侧壁夹板(1)，分别与所述第一部件(2)连接，分别位于所述第一部件(2)的两侧，两个所述侧壁夹板(I)相对设置，且两个所述侧壁夹板(I)相对的内壁平面平行设置； 所述第二部件(3)与样品台相邻的内壁平面，与所述第一部件(2)与样品台相邻的内壁平面平行设置，与两个所述侧壁夹板(I)连接，用于与两个所述侧壁夹板(I)和所述第一部件(2)共同构成夹紧装置以夹紧所述样品台，其中，所述平行设置的宽度与所述样品台的宽度相匹配； 所述底座(4 )，与两个所述侧壁夹板(I)、所述第一部件(2 )和所述第二部件(3 )连接。
2.如权利要求1所述的固定装置，其特征在于，所述第二部件(3)位于所述样品台粘连样品位置的同一侧，所述第一部件(2)位于所述样品台粘连样品位置的另一侧。
3.如权利要求1所述的固定装置，其特征在于，所述第一部件(2)为方形平板状，所述第二部件(3)为方形平板状，其中，所述第二部件(3)的高度小于所述第一部件(2)的高度。
4.如权利要求1所述的固定装置，其特征在于，所述第一部件(2)为方形平板状，所述第二部件(3)为方形棱柱状，且数量为两个，每个所述第二部件(3)分别与一个所述侧壁夹板(I)连接。
5.如权利要求1所述的固定装置，其特征在于，所述第一部件(2)为方形棱柱状，所述第二部件(3)为方形棱柱状，且所述第一部件(2)和所述第二部件(3)的数量均为两个，每个所述第一部件(2)分别与一个所述侧壁夹板(I)连接，每个所述第二部件(3)分别与一个所述侧壁夹板(I)连接。
6.如权利要求1至5中任一项所述的固定装置，其特征在于，所述底座(4)上设置有一个通孔(5 )，通过所述通孔(5 )和连接件将所述样品台和所述底座(4 )固定连接在一起。
7.如权利要求6所述的固定装置，其特征在于，所述连接件至少包括:螺丝或钉子。
8.如权利要求6所述的固定装置，其特征在于，所述侧壁夹板(I)、所述第一部件(2)、所述第二部件(3)和所述底座(4)均由无氧铜材料加工制备成的。
【文档编号】G01N21/63GK203385667SQ201320479392
【公开日】2014年1月8日 申请日期:2013年8月7日 优先权日:2013年8月7日
【发明者】许秀娟, 巩锋, 周立庆, 折伟林, 朱西安 申请人:中国电子科技集团公司第十一研究所