驱动装置、电子部件输送装置以及电子部件检查装置制造方法

驱动装置、电子部件输送装置以及电子部件检查装置制造方法
【专利摘要】本发明提供利用共用的驱动电路来切换驱动多个压电马达，能够实现小型化、轻型化、低成本化的驱动装置、电子部件输送装置以及电子部件检查装置。驱动装置（100)具备多个移动部、使上述移动部移动的压电马达（11)、（12)、（13)、(14)、驱动上述压电马达（11)、（12)、（13)、（14)的驱动电路（30)、以及使上述压电马达（11)、(12)、（13)、（14)与上述驱动电路（30)断续的断续部，上述驱动电路（30)的数量比上述压电马达(11)、（12)、（13)、（14)的数量少。
【专利说明】驱动装置、电子部件输送装置以及电子部件检查装置

【技术领域】
[0001] 本发明涉及驱动装置、电子部件输送装置、电子部件检查装置、机械手以及机器 人。

【背景技术】
[0002] 已知有利用单独的驱动电路驱动多个马达使可动部移动的驱动装置。这样的驱动 装置例如作为定位装置使用，通过利用驱动电路依次驱动使可动部向不同的方向移动的多 个马达，能够将可动部定位于规定的位置。在以往的定位装置中，一般使用电磁马达、脉冲 马达，但需要在按照每个马达设置用于保持处在非驱动状态下的转子不旋转的制动机构。
[0003] 对此，提出了使用压电马达(压电致动器）的驱动装置(例如参照专利文献1)。由 于压电马达利用摩擦力向旋转部传递由压电元件产生的振动，在非驱动状态下，旋转部的 位置也通过摩擦力而被保持，所以不需要制动机构。因此，在使用了专利文献1所记载的压 电马达的驱动装置中，与使用了电磁马达、脉冲马达的驱动装置相比，能够实现驱动装置的 小型化、轻型化。
[0004] 专利文献1 :日本特开2001 - 136760号公报
[0005] 然而，在专利文献1所记载的驱动装置中，利用单独的驱动电路驱动各压电马达， 所以需要与压电马达相同数量的驱动电路。因此，存在不易使驱动装置进一步小型化、轻型 化、低成本化这样的技术问题。


【发明内容】

[0006] 本发明是为了解决上述的课题的至少一部分而完成的，能够作为以下的方式或者 应用例来实现。
[0007] 本发明的驱动装置的特征在于，具备：多个移动部；使上述移动部移动的马达；驱 动上述马达的驱动电路；以及使上述马达和上述驱动电路断续的断续部，上述驱动电路的 数量比上述马达的数量少。
[0008] 由此，通过使马达与驱动电路断续来有选择地驱动马达，能够利用共用的驱动电 路来分时驱动多个马达，使移动部移动。据此，能够使驱动电路的数量相对于马达的数量减 少。其结果，能够实现驱动装置的小型化、轻型化、低成本化。
[0009] 在本发明的驱动装置中，优选上述马达为压电马达。
[0010] 由此，能够进行移动部的微小的移动，能够提高移动部的定位精度。另外，压电马 达在停止时有恒定的制动效果，所以即使在施加了外力的情况下移动部也不易位置偏移。
[0011] 在本发明的驱动装置中，优选上述驱动装置具备对上述移动部的移动进行制动的 制动部。
[0012] 由此，即使在施加了较大的外力的情况下移动部也不易位置偏移。
[0013] 在本发明的驱动装置中，优选具备多个上述驱动电路。
[0014] 由此，能够减少一个驱动电路担负的马达的数量，所以能够延长驱动电路能够控 制一个马达的时间，由此，能够进行更多种类的控制。
[0015] 在本发明的驱动装置中，优选上述移动部的各自的移动方向不同。
[0016] 由此，通过切换而独立地驱动各马达，使各移动部向不同的方向移动，能够使对象 物容易地、并且精度良好地向所期望的位置移动。
[0017] 在本发明的驱动装置中，优选地，多个上述移动部是第1移动部、能够在与上述第 1移动部的移动方向正交的方向上移动的第2移动部、以及在分别与上述第1移动部的移动 方向以及上述第2移动部的移动方向正交的方向具有旋转轴的第3移动部。
[0018] 由此，通过切换而独立地驱动各马达而，使第1移动部、第2移动部、第3移动部向 不同的方向移动或者转动，能够使对象物容易地、并且精度良好地向所期望的位置移动。
[0019] 在本发明的驱动装置中，优选具有基部，上述第1移动部被设置成能够相对于上 述基部移动，上述第3移动部配置在上述第1移动部与上述第2移动部之间。
[0020] 由此，能够减小第3移动部的移动方向的惯性力，即使在与第3移动部的移动方向 相同的方向施加了加减速的情况下，该第3移动部也不易位置偏移。
[0021] 在本发明的驱动装置中，优选上述断续部设置在各个上述马达与上述驱动电路之 间。
[0022] 由此，能够逐个单独地驱动多个马达，所以能够逐个单独地控制各移动部的移动， 由此，能够使对象物容易地、并且精度良好地向所期望的位置移动。
[0023] 在本发明的驱动装置中，优选上述断续部具有光M0S继电器。
[0024] 由此，与由机械式继电器（电磁继电器）构成的情况相比，连接以及切断时的动作 时间较短，消耗电力较小，寿命长。由此，能够提供更高性能且可靠性高的驱动装置。
[0025] 在本发明的驱动装置中，优选上述断续部具有旋转开关。
[0026] 由此，与由光M0S继电器构成断续部的情况相比，例如，即使在装置的维护、调整 时，无法输出使该光M0S继电器动作的选择信号的情况下，也能够手动地使旋转开关旋转， 而容易地使马达与驱动电路断续。
[0027] 本发明的电子部件输送装置的特征在于，具备：把持电子部件的把持部；使上述 把持部移动的多个移动部；设置在上述移动部并使上述移动部移动的马达；驱动上述马达 的驱动电路；以及使上述马达与上述驱动电路断续的断续部，上述驱动电路的数量比上述 马达的数量少。
[0028] 由此，通过使马达与驱动电路断续而有选择地驱动马达，能够利用共用的驱动电 路分时驱动多个马达，使移动部移动。由此，能够使驱动电路的数量相对于马达的数量减 少。其结果，能够实现电子部件输送装置的小型化、轻型化、低成本化。
[0029] 在本发明的电子部件输送装置中，优选上述马达为压电马达。
[0030] 由此，能够进行移动部的微小的移动，能够使移动部的定位精度提高。另外，压电 马达在停止时有恒定的制动效果，所以即使在施加了外力的情况下移动部也不易位置偏 移。
[0031] 在本发明的电子部件输送装置中，优选地，多个上述移动部为第1移动部、能够在 与上述第1移动部的移动方向正交的方向上移动的第2移动部、以及在分别与上述第1移 动部的移动方向以及上述第2移动部的移动方向正交的方向上具有旋转轴的第3移动部。
[0032] 由此，通过切换而独立地驱动各马达，使第1移动部、第2移动部、第3移动部向不 同的方向移动或者转动，能够使把持部容易地、并且精度良好地向所期望的位置移动。
[0033] 在本发明的电子部件输送装置中，优选地，具有基部，上述第1移动部被设置成能 够相对于上述基部移动，上述第3移动部配置在上述第1移动部与上述第2移动部之间。 [0034] 由此，能够减小第3移动部的移动方向的惯性力，即使在与第3移动部的移动方向 相同的方向施加了加减速的情况下，该第3移动部也不易位置偏移。
[0035] 本发明的电子部件检查装置的特征在于，具备：检查电子部件的检查部；把持上 述电子部件的把持部；使上述把持部移动的多个移动部；设置在上述移动部使上述移动部 移动的马达；驱动上述马达的驱动电路；以及使上述马达与上述驱动电路断续的断续部， 上述驱动电路的数量比上述马达的数量少。
[0036] 由此，通过使马达与驱动电路断续而有选择地驱动马达，能够利用共用的驱动电 路分时驱动多个马达，使移动部移动。由此，能够使驱动电路的数量相对于马达的数量减 少。其结果，能够实现电子部件检查装置的小型化、轻型化、低成本化。
[0037] 在本发明的电子部件检查装置中，优选上述马达为压电马达。
[0038] 由此，能够进行移动部的微小的移动，能够使移动部的定位精度提高。另外，压电 马达停止时有恒定的制动效果，所以即使在施加了外力的情况下移动部也不易位置偏移。
[0039] 在本发明的电子部件检查装置中，优选地，多个上述移动部是第1移动部、能够在 与上述第1移动部的移动方向正交的方向上移动的第2移动部、以及在分别与上述第1移 动部的移动方向以及上述第2移动部的移动方向正交的方向上具有旋转轴的第3移动部。
[0040] 由此，通过切换而独立地驱动各马达，使第1移动部、第2移动部、第3移动部向不 同的方向移动或者转动，能够使把持部容易地、并且精度良好地向所期望的位置移动。
[0041] 在本发明的电子部件检查装置中，优选地，具有基部，上述第1移动部被设置成能 够相对于上述基部移动，上述第3移动部配置在上述第1移动部与上述第2移动部之间。
[0042] 由此，能够减小第3移动部的移动方向的惯性力，即使在与第3移动部的移动方向 相同的方向施加了加减速的情况下，该第3移动部也不易位置偏移。
[0043] 本发明的机械手的特征在于，具备：能够转动的多个指部；使上述指部转动的马 达；驱动上述马达的驱动电路；以及使上述马达与上述驱动电路断续的断续部，上述驱动 电路的数量比上述马达的数量少。
[0044] 由此，通过使马达与驱动电路断续而有选择地驱动马达，能够利用共用的驱动电 路分时驱动多个马达，使指部转动。由此，能够使驱动电路的数量相对于马达的数量减少。 其结果，能够实现机械手的小型化、轻型化、低成本化。
[0045] 在本发明的机械手中，优选上述马达为压电马达。
[0046] 由此，能够进行指部的微小的移动，能够使移动部的定位精度提高。另外，压电马 达在停止时有恒定的制动效果，所以即使在施加了外力的情况下移动部也不易位置偏移。 [0047] 本发明的机器人的特征在于，具备：能够转动的多个臂部；使上述臂部转动的马 达；驱动上述马达的驱动电路；以及使上述马达与上述驱动电路断续的断续部，上述驱动 电路的数量比上述马达的数量少。
[0048] 由此，通过使马达与驱动电路断续而有选择地驱动马达，能够利用共用的驱动电 路分时驱动多个马达，使臂部转动。由此，能够使驱动电路的数量相对于马达的数量减少。 其结果，能够实现机器人的小型化、轻型化、低成本化。
[0049] 在本发明的机器人中，优选上述马达为压电马达。
[0050] 由此，能够进行臂部的微小的移动，能够使移动部的定位精度提高。另外，压电马 达在停止时有恒定的制动效果，所以即使在施加了外力的情况下移动部也不易位置偏移。

【专利附图】

【附图说明】
[0051] 图1是表示第1实施方式所涉及的驱动装置的结构的示意框图。
[0052] 图2是表示第1实施方式所涉及的驱动装置所使用的压电马达的结构的示意图。
[0053] 图3是表示第1实施方式所涉及的驱动装置的结构的框图。
[0054] 图4是表示第1实施方式所涉及的驱动电路的结构的框图。
[0055] 图5是对第1实施方式所涉及的驱动装置的驱动控制方法进行说明的图。
[0056] 图6是表示第2实施方式所涉及的驱动装置所使用的压电马达的结构的示意图。
[0057] 图7是表示第2实施方式所涉及的驱动装置的结构的框图。
[0058] 图8是表示第2实施方式所涉及的驱动电路的结构的框图。
[0059] 图9是表示第3实施方式所涉及的电子部件的一个例子的图。
[0060] 图10是表示第3实施方式所涉及的电子部件输送装置以及电子部件检查装置的 不意俯视图。
[0061] 图11是图10所示的电子部件检查装置具有的检查用单个插口的剖视图。
[0062] 图12是表示图10所示的电子部件检查装置具有的供给机器人的手部单元的俯视 图(局部剖视图)。
[0063] 图13是表示图10所示的电子部件检查装置具有的供给机器人的手部单元的立体 图。
[0064] 图14是表示图10所示的电子部件检查装置具有的检查用机器人的手部单元的分 解立体图。
[0065] 图15是在与图10所示的电子部件检查装置具有的检查用机器人的手部单元的移 动机构的X方向垂直的平面获得的剖视图。
[0066] 图16是表示图10所示的电子部件检查装置具有的定位机构的示意构成的框图。
[0067] 图17是对由图10所示的电子部件检查装置进行的电子部件的检查顺序进行说明 的俯视图。
[0068] 图18是对由图10所示的电子部件检查装置进行的电子部件的检查顺序进行说明 的俯视图。
[0069] 图19是对由图10所示的电子部件检查装置进行的电子部件的检查顺序进行说明 的俯视图。
[0070] 图20是对由图10所示的电子部件检查装置进行的电子部件的检查顺序进行说明 的俯视图。
[0071] 图21是对由图10所示的电子部件检查装置进行的电子部件的检查顺序进行说明 的俯视图。
[0072] 图22是对由图10所示的电子部件检查装置进行的电子部件的检查顺序进行说明 的俯视图。
[0073] 图23是对由图10所示的电子部件检查装置进行的电子部件的检查顺序进行说明 的俯视图。
[0074] 图24是对由图10所示的电子部件检查装置进行的电子部件的检查顺序进行说明 的俯视图。
[0075] 图25是对由图10所示的电子部件检查装置进行的电子部件的检查顺序进行说明 的俯视图。
[0076] 图26是表示第4实施方式所涉及的机械手以及机器人的结构的示意图。
[0077] 图27是表示第5实施方式所涉及的驱动装置所使用的压电马达的结构的示意图。
[0078] 图28是表示第6实施方式所涉及的驱动装置中的旋转开关的示意图。

【具体实施方式】
[0079] 以下，基于附图所示的优选的实施方式对本发明的驱动装置、电子部件输送装置、 电子部件检查装置、机械手以及机器人进行详细的说明。此外，在参照的各附图中，为了清 晰地表示结构，有时各构成要素的尺寸的比率、角度等不同。
[0080] 此外，在以下的实施方式中，如图10所示，将相互正交的三轴设为X轴、Y轴以及Z 轴。另外，将由X轴和Y轴规定的平面称为"XY平面"，将由Y轴和Z轴规定的平面称为"YZ 平面"，将由X轴和Z轴规定的平面称为"XZ平面"。另外，将与X轴平行的方向称为"X方 向（第1方向）"，将与Y轴平行的方向称为"Y方向（第2方向）"，将与Z轴平行的方向称为 "Z方向(第3方向）"。另外，在X方向、Y方向以及Z方向中，将箭头前端侧称为（十）侧，将 箭头根端侧称为（一 Μ则。
[0081] 第1实施方式
[0082] 图1是表示第1实施方式所涉及的驱动装置的结构的示意框图。图2是表示第1 实施方式所涉及的驱动装置所使用的压电马达的结构的示意图。图3是表示第1实施方式 所涉及的驱动装置的结构的框图。图4是表示第1实施方式所涉及的驱动电路的结构的框 图。图5是对第1实施方式所涉及的驱动装置的驱动控制方法进行说明的图。
[0083] 驱动装置
[0084] 首先，对第1实施方式所涉及的驱动装置的概略构成进行说明。图1是表示第1 实施方式所涉及的驱动装置的结构的示意框图。如图1所示，第1实施方式所涉及的驱动 装置100由三个驱动单元101a、101b、101c构成。
[0085] 驱动单元101a、101b、101c分别具有相同的结构，通过标注在符号的末尾的a、b、c 使各驱动单元101与各驱动单元101所具备的可动部50、驱动电路30、作为断续部的继电 器21、22、23、24、以及压电马达11、12、13、14对应。
[0086] 8口，驱动装置100具备可动部508、5013、50(3、驱动电路30&、3013、30(3、压电马达11 &、 llb、llc、12a、12b、12c、13a、13b、13c、14a、14b、14c、继电器21a、21b、21c、22a、22b、22c、 23a、23b、23c、24a、24b、24c。以下，省略标注在符号的末尾的a、b、c进行说明。
[0087] 在各驱动单元101中，在可动部50设置有四个压电马达11、12、13、14。按照压电 马达11、12、13、14设置有继电器21、22、23、24。S卩，压电马达11、12、13、14分别与继电器 21、22、23、24-对一连接，并经由继电器21、22、23、24与驱动压电马达11、12、13、14的驱动 电路30连接。
[0088] 继电器21、22、23、24例如由光M0S继电器构成。继电器21、22、23、24基于从驱动 电路30输出的选择信号动作，分别使压电马达11、12、13、14与驱动电路30电连接或者切 断（断续)。通过继电器21、22、23、24的切换，有选择地向压电马达11、12、13、14中与驱动 电路30电连接的压电马达供给来自驱动电路30的驱动信号。另外，通过压电马达11、12、 13、14中从驱动电路30供给了驱动信号的压电马达的动作，向驱动电路30反馈编码器信 号。
[0089] 驱动装置100是如下装置，S卩、通过在三个驱动单元101a、101b、101c的每一个中， 进行继电器21、22、23、24的切换，有选择地将四个（4轴）压电马达11、12、13、14的任意一 个与驱动电路30连接并进行分时驱动，从而使三个可动部50的每一个移动至所期望的位 置的12轴的多轴驱动装置。后面对驱动装置100的驱动控制方法进行说明。
[0090] 此外，本实施方式构成为继电器21、22、23、24使用光M0S继电器，但也可以构成为 使用机械式继电器（电磁继电器)。然而，光M0S继电器与机械式继电器相比，连接和切断的 动作（响应）时间较短，所以能够迅速地进行切换，并且消耗电力小，寿命长。因此，优选地， 继电器21、22、23、24使用光M0S继电器。
[0091] 压电马达
[0092] 接下来，对压电马达11、12、13、14的结构进行说明。图2是表示第1实施方式所 涉及的驱动装置所使用的压电马达的结构的示意图。图3是表示第1实施方式所涉及的驱 动装置的结构的框图。
[0093] 压电马达11、12、13、14具有相同的结构。如图2所示，压电马达11、12、13、14分 别具备振动体1、被驱动体5、保持部件8、施力弹簧6、以及基台7。振动体1、被驱动体5、保 持部件8、以及施力弹簧6设置于基台7。此外，这里，以被驱动体5为被旋转驱动的转子的 情况为例进行说明。
[0094] 在图2所示的俯视中，振动体1为具有短边la和长边lb大致矩形形状。在以下 的说明中，将沿短边la的方向称为短边方向，将沿长边lb的方向称为长边方向。振动体1 例如由形成为板状的压电元件构成，但也可以是层叠了压电元件和振动板的层叠体。
[0095] 压电元件由表示机电转换作用的压电材料构成，例如，以利用通式八803表示的具 有钙钛矿构成的金属氧化物作为材料而形成。作为这样的金属氧化物，能够列举锆钛酸铅 (Pb (Zr、Ti)03 :PZT)、铌酸锂（LiNb03)等。
[0096] 振动体1的表面设置有由Ni、Au、Ag等导电性金属构成的电极3。电极3被形成 在振动体1的短边方向的中央部、以及长边方向的中央部的槽部大致四等分。由此，电极3 被分割为作为单个电极相互电隔离的电极部3a、3b、3c、3d的四个电极部。另外，振动体1 的相反侧的表面设置有共用电极9 (参照图3)。
[0097] 电极3的四个电极部中，以彼此成为对角的方式配置的成对的电极部3a、3d作为 第1弯曲振动用电极发挥作用。另外，以成为与电极部3a、3d交叉的对角的方式配置的成 对的电极部3c、3b作为第2弯曲振动用电极发挥作用。配置了电极部3a、3d的区域、以及 配置了电极部3c、3b的区域分别成为在振动体1的短边方向激励弯曲振动的弯曲振动激励 区域。
[0098] 振动体1具有以向被驱动体5侧突出的方式延伸配置并与被驱动体5的侧面（圆 周面）抵接的滑动部（凸部）4。另外，振动体1具有朝向短边方向两外侧延伸配置的一对臂 部lc。臂部lc设置有在厚度方向上贯通的贯通孔，臂部lc经由插入贯通孔的螺丝固定于 保持部件8。由此，振动体1被保持成能够以臂部lc为基点相对于保持部件8弯曲振动的 状态。
[0099] 被驱动体5具有圆盘形状，配置在振动体1的设置有滑动部4的一侧。以坚立设 置于基台7的棒状的轴5a为旋转中心可旋转地保持被驱动体5。在各压电马达11、12、13、 14中，在靠近被驱动体5的位置设置有编码器51、52、53、54(参照图3)。编码器51、52、53、 54将基于被驱动体5的位置、旋转速度的编码器信号El、E2、E3、E4反馈给驱动电路30。 [0100] 基台7在振动体1的短边方向的两外侧具有沿长边方向延伸配置的一对滑动部 7a。以能够相对于基台7沿滑动部7a滑动移动的方式支承有保持部件8。
[0101] 在保持部件8的与被驱动体5相反的一侧和基台7之间设置有施力弹簧6。施力 弹簧6经由保持部件8朝向被驱动体5对振动体1施力，通过该作用力，滑动部4以规定的 力与被驱动体5抵接。以使被驱动体5与滑动部4之间产生适当的摩擦力的方式适当地设 定施力弹簧6的作用力。由此，经由滑动部4将振动体1的振动高效地传递至被驱动体5。
[0102] 若从驱动电路30 (参照图1)向共用电极9供给共用信号（图3所示的C0M)，对作 为第1弯曲振动用电极的电极部3a、3d供给驱动信号（图3所示的DrvA)，则振动体1被激 励沿短边方向弯曲的弯曲振动。通过该弯曲振动，滑动部4以描绘顺时针的椭圆轨道的方 式滑动。由此，如图2的箭头所示，被驱动体5逆时针地旋转。
[0103] 另一方面，若对共用电极9供给共用信号（C0M)，对作为第2弯曲振动用电极的电 极部3c、3b供给驱动信号（图3所示的DrvB)，则振动体1被激励沿短边方向弯曲的弯曲振 动。通过该弯曲振动，滑动部4以描绘逆时针的椭圆轨道的方式滑动。由此，被驱动体5以 与图2所示的箭头相反的顺时针旋转。
[0104] 这样，在从驱动电路30向共用电极9与电极部3&、313、3(：、3(1之间供给驱动信号 时，压电马达11、12、13、14通过切换选择第1弯曲振动用电极（电极部3&、3(1)的情况、和选 择第2弯曲振动用电极（电极部3c、3b)的情况，能够使被驱动体5向逆时针以及顺时针双 方向旋转。由此，能够以正方向和相反方向切换使可动部50 (参照图1)移动的方向。
[0105] 此外，被驱动体5并不局限于上述的被旋转驱动的转子。被驱动体5也可以是被 直线驱动的线性被驱动体，被驱动体5的驱动方向能够任意地构成。在被驱动体5为线性 被驱动体的情况下，通过切换第1弯曲振动用电极（电极部3a、3d)和第2弯曲振动用电极 (电极部3c、3b)，能够以正方向和相反方向切换被驱动体5的直动方向。
[0106] 如图3所示，压电马达11、12、13、14中，仅利用继电器21、22、23、24与驱动电路 30电连接的压电马达被供给弯曲振动用电极的驱动信号（DrvA或者DrvB)以及共用信号 (COM)而被驱动。利用继电器21、22、23、24切断了与驱动电路30的电连接的压电马达成为 非驱动状态。
[0107] 在非驱动状态下，被驱动体5通过与滑动部4之间作用的摩擦力，保持在停止了旋 转时的位置。因此，在压电马达11、12、13、14中，不需要如电磁马达、脉冲马达那样，为了在 非驱动状态下使转子不旋转而按照每个马达设置的制动机构。因此，通过使用压电马达11、 12、13、14,能够实现驱动装置100的小型化、轻型化、低成本化。
[0108] 此外，压电马达11、12、13、14也可以还具备增速或者减速传递被驱动体5的旋转 的增减速机构。若具备增减速机构，则能够对被驱动体5的旋转速度进行增速或者减速而 容易地得到所期望的旋转速度。
[0109] 驱动电路
[0110] 接下来，对第1实施方式所涉及的驱动电路的概略构成进行说明。图4是表示第 1实施方式所涉及的驱动电路的结构的框图。如图4所示，驱动电路30 (30a、30b、30c)具 备主控制部40、副控制部41、振荡器31、增益放大器32、PWM部33、数字放大器34、电感电 容35、36、以及继电器37、38。
[0111] 主控制部40由CPU (Central Processing Unit :中央处理器)构成。主控制部40 经由CAN (Controller Area Network :控制器局域网）与对包括驱动装置100的系统整体 进行控制的控制装置（图示省略）连接。主控制部40基于控制装置的指示，进行利用继电 器21、22、23、24进行切换而分时驱动压电马达11、12、13、14等的、驱动装置100的动作的 控制。
[0112] 副控制部 41 由逻辑 1C、FPGA (Field Programmable Gate Array :现场可编程门 阵列）等构成。副控制部41经由SPI (Serial Peripherallnterface:串行外设接口）与 主控制部40连接。副控制部41基于主控制部40的指示，进行由振荡器31生成的信号的 频率、增益放大器32的放大率、继电器37、38的切换等的控制。另外，副控制部41基于从 编码器51、52、53、54反馈的编码器信号（图3所示的E1、E2、E3、E4)，检测压电马达11、12、 13、14的被驱动体5的位置、旋转速度。
[0113] 振荡器31由DDS (Direct Digital Synthesizer :直接数字频率合成器)等构成。 振荡器31生成成为向压电马达11、12、13、14的振动体1供给的驱动信号的基部的信号。由 振荡器31生成的信号通过DA转换器转换为模拟信号。另外，振荡器31基于副控制部41 的指示，调整驱动信号的频率。
[0114] 增益放大器32例如由数字电位器和运算放大器构成。增益放大器32通过数字控 制来放大来自振荡器31的模拟信号。另外，增益放大器32基于副控制部41的指示，调整 驱动信号的电压值。
[0115] PWM 部 33 由 PWM (Pulse Width Modulation :脉冲宽度调制）电路构成。PWM 部 33 通过改变来自增益放大器32的输入信号中的脉冲的占空比，来进行等效的模拟控制。
[0116] 数字放大器34由M0S晶体管的Η桥电路构成，通过与PWM部33的并用，作为数字 放大器发挥作用。数字放大器34放大来自PWM部33的信号的电力而进行转换。此外，若 有来自主控制部40的"Sle印"指示，则放大电力进行转换的功能成为关闭状态。
[0117] 电感电容35、36对从数字放大器34输出的驱动信号的波形进行整形成为正弦波。 另外，电感电容35、36也兼有作为滤波电路、压电马达11、12、13、14的匹配电路、升压电路 等的功能。
[0118] 从电感电容35经由继电器37向压电马达11、12、13、14的第1弯曲振动用电极（图 2所示的电极部3a、3d)输出驱动信号（DrvA)，经由继电器38向第2弯曲振动用电极（图2 所示的电极部3〇、313)输出驱动信号（〇1^8)。从电感电容36向压电马达11、12、13、14的共 用电极9 (参照图3)输出共用信号（COM)。
[0119] 继电器37、38由光M0S继电器构成。继电器37、38基于副控制部41的指示进行 动作，切换第1弯曲振动用电极（电极部3a、3d)、第2弯曲振动用电极（电极部3c、3b)与电 感电容35电连接的状态以及电切断的状态。通过切换继电器37、38,选择第1弯曲振动用 电极（电极部3a、3d)或者第2弯曲振动用电极（电极部3c、3b)，压电马达11、12、13、14的被 驱动体5逆时针或者顺时针旋转。
[0120] 驱动控制方法
[0121] 接下来，对第1实施方式所涉及的驱动装置的驱动控制方法进行说明。图5是对 第1实施方式所涉及的驱动装置的驱动控制方法进行说明的图。
[0122] 首先如参照图1所说明的那样，在各驱动单元101a、101b、101c中，从驱动电路30 向继电器21、22、23、24以及压电马达11、12、13、14输出选择信号以及驱动信号。图5( &) 示意性地示出从驱动电路30向继电器21、22、23、24以及压电马达11、12、13、14输出的选 择信号以及驱动信号的构成。
[0123] 如图5 (a)所示，选择信号包括分时地依次出现的信号S1、S2、S3、S4。信号S1例 如从动作开始等基准时刻经过时间T1后出现，信号S2从时间T1经过时间T2后出现。而 且，信号S3从时间T2经过时间T3后出现，信号S4从时间T3经过时间T4后出现。另外， 驱动信号与信号SI、S2、S3、S4同步，并且与各信号SI、S2、S3、S4的持续时间对应地被输 出。
[0124] 信号S1是使继电器21成为连接状态的信号，同样地，信号S2、S3、S4分别是单独 地使继电器22、23、24成为连接状态的信号。继电器21、22、23、24中，由选择信号(信号51、 S2、S3、S4)所指定的继电器成为连接状态，其以外的继电器成为切断状态。因此，压电马达 11、12、13、14中，仅与基于选择信号成为连接状态的继电器对应的压电马达有选择地与驱 动电路30电连接。
[0125] 如图5 (b)所示，经过时间T1后由选择信号(信号S1)指定的继电器21成为连接 状态，仅压电马达11与驱动电路30电连接，所以仅压电马达11被供给驱动信号。另外，如 图5 (c)所示，从时间T1经过时间T2后由选择信号（信号S2)指定的继电器22成为连接 状态，仅压电马达12与驱动电路30电连接，所以仅压电马达12被供给驱动信号。
[0126] 同样地，经过图5 (d)所示的时间T3后，继电器23成为连接状态而向压电马达13 供给驱动信号，经过图5 (e)所示的时间T4后，继电器24成为连接状态而向压电马达14 供给驱动信号。这样，能够通过一个驱动电路30,分时地依次驱动四个压电马达11、12、13、 14。另外，由此，能够使四个压电马达11、12、13、14共用与驱动电路30连接的布线。
[0127] 此时，在三个驱动单元101a、101b、101c中，通过同步供给选择信号以及驱动信 号，能够同步地驱动各压电马达11、12、13、14。即，能够使图1所示的可动部50a、50b、50c 同步地移动。
[0128] 这里，通过四个压电马达11、12、13、14使图1所示的可动部50 (50a、50b、50c)移 动的方向可以相同，也可以各自不同。例如，若使通过各压电马达11、12、13、14移动的移动 方向为相互正交的X方向、Y方向、Z方向三个方向、以及以Z方向为旋转轴(转动轴）旋转 (转动)的Θ方向，则能够通过继电器21、22、23、24的切换使压电马达11、12、13、14依次驱 动，从而使可动部50在X方向、Y方向、Z方向、Θ方向上依次移动而移动配置到所期望的 位置。该情况下，利用向X方向移动对象物的移动部、向Y方向移动对象物的移动部、向Z 方向移动对象物的移动部、向Θ方向移动对象物的移动部构成可动部50,在各移动部分别 设置压电马达11、12、13、14。各移动部分别通过压电马达11、12、13、14的驱动而移动。
[0129] 或者，若通过增减速机构，按照压电马达11、12、13、14的顺序减慢使可动部50移 动的速度(减小使其移动的距离)，则能够通过继电器21、22、23、24的切换使压电马达11、 12、13、14依次驱动，从而阶段性地细致地进行可动部50的对位。
[0130] 此外，驱动装置100具备的驱动单元的数量、与一个驱动电路30连接的压电马达 的数量并局限于上述的数量。另外，也能够构成为在一个继电器上连接多个压电马达，并一 起进行这些多个压电马达与驱动电路30的电连接以及切断。
[0131] 如上所述，根据第1实施方式所涉及的驱动装置100的结构，能够获得以下的效 果。
[0132] (1)设置在压电马达11、12、13、14与驱动电路30之间的继电器21、22、23、24使压 电马达11、12、13、14中的至少一个与驱动电路30电连接或者切断。因此，通过利用继电器 21、22、23、24切换来有选择地驱动与驱动电路30电连接的压电马达，能够利用共用的驱动 电路30分时地驱动多个压电马达11、12、13、14。由此，能够使驱动电路30的数量以及布线 的数量相对于压电马达11、12、13、14的数量减少。另外，由于使用压电马达，所以与使用电 磁马达、脉冲马达的情况相比，不需要按照每个马达设置的制动机构或者即便是制动能力 较低的机构也能够适应。其结果，能够实现驱动装置100的小型化、轻型化、低成本化。另 夕卜，能够使布线的数量相对于压电马达11、12、13、14的数量减少，所以能够减少因布线的 重量、布线束而带来的给可动部50的负荷。由此，能够提高可动部50的定位精度。
[0133] (2)若使基于压电马达11、12、13、14的移动方向为相互正交的X方向、Y方向、Z 方向三个方向、以及以Z方向为旋转轴旋转的Θ方向，则通过切换继电器21、22、23、24，能 够独立地驱动压电马达11、12、13、14，独立地进行使可动部5〇向乂方向、￥方向、2方向、0 方向的不同的方向移动的动作。由此，能够使可动部50容易地并且精度良好地向所期望的 位置移动。
[0134] (3)由于按照每个压电马达11、12、13、14设置继电器21、22、23、24，所以能够利用 共用的驱动电路30逐个独立地驱动多个压电马达11、12、13、14。
[0135] (4)继电器21、22、23、24由光M0S继电器构成，所以与由机械式继电器（电磁继电 器）构成的情况相比，连接以及切断时的动作时间较短，消耗电力较小，寿命长。由此，能够 提供更高性能且可靠性更高的驱动装置100。
[0136] 第2实施方式
[0137] 驱动装置
[0138] 接下来，对第2实施方式所涉及的驱动装置进行说明。第2实施方式所涉的驱动 装置相对于第1实施方式，压电马达的振动体不仅被激励弯曲振动还被激励纵向振动的这 一点不同，但其他的构成几乎相同。以下，对本实施方式，以与上述的实施方式的不同点为 中心进行说明，对相同的事项，省略其说明。
[0139] 图6是表示第2实施方式所涉及的驱动装置所使用的压电马达的结构的示意图。 图7是表示第2实施方式所涉及的驱动装置的结构的框图。图8是表示第2实施方式所涉 及的驱动电路的结构的框图。
[0140] 第2实施方式所涉及的驱动装置102与第1实施方式所涉及的驱动装置100相同， 具备三个驱动单元（图示省略)，各驱动单元具备驱动电路30、压电马达61、62、63、64、继电 器21、22、23、24。如图6所示，各压电马达61、62、63、64具备振动体2、被驱动体5、保持部 件8、施力弹黃6、以及基台7。
[0141] 振动体2的电极3的表面被分割为五份，除了电极部3&、313、3(：、3(1，还设置有电极 部3e。电极部3e配置在电极部3a、3b和电极部3c、3d之间的短边方向中央部，具有与电极 部3a、3b合起来的面积（电极部3c、3d合起来的面积）几乎相同的面积。电极部3e作为纵 向振动用电极发挥作用。所谓的纵向振动是指在振动体2沿长边方向伸缩的振动。
[0142] 如图7所示，压电马达61、62、63、64分别通过继电器21、22、23、24与驱动电路30 电连接或者切断。与驱动电路30电连接的压电马达被供给第1弯曲振动用信号（DrvA)或 者第2弯曲振动用信号（DrvB)的任意一个、和纵向振动用的驱动信号（Drv)。
[0143] 若振动体2的电极部3a、3d被供给第1弯曲振动用的驱动信号（DrvA)，向电极部 3e供给纵向振动用的驱动信号（Drv)，则被激励沿振动体2的短边方向弯曲的弯曲振动的 同时，被激励沿长边方向伸缩的纵向振动。通过合成这样的弯曲振动和纵向振动来激励振 动体2,滑动部4以描绘顺时针的椭圆轨道的方式滑动，所以被驱动体5逆时针旋转。
[0144] 另一方面，若振动体2的电极部3c、3b被供给第2弯曲振动用的驱动信号（DrvB)， 向电极部3e供给纵向振动用的驱动信号（Drv)，则通过合成弯曲振动和纵向振动而激励振 动体2,滑动部4以描绘逆时针的椭圆轨道的方式滑动，所以被驱动体5顺时针旋转。
[0145] 如图8所示，第2实施方式所涉及的驱动装置102的驱动电路30除了输出纵向振 动用的驱动信号（Drv)这一点以外，具有与第1实施方式相同的构成。与继电器37、38的 动作无关，从电感电容35输出纵向振动用的驱动信号（Drv)。
[0146] 这样，第2实施方式所涉及的驱动装置102具备压电马达61、62、63、64,上述压电 马达61、62、63、64的振动体2的电极被分割为五份，除了弯曲振动用的电极部3a、3b、3c、3d 之外还具有纵向振动用的电极部3e，但与第1实施方式相同地，通过继电器21、22、23、24有 选择地与驱动电路30电连接。由此，在第2实施方式所涉及的驱动装置102中，也能够获 得与第1实施方式所涉及的驱动装置1〇〇相同的效果。
[0147] 第3实施方式
[0148] 电子部件输送装置以及电子部件检查装置>
[0149] 接下来，对第3实施方式所涉及的电子部件输送装置以及电子部件检查装置进行 说明。第3实施方式所涉及的电子部件输送装置以及电子部件检查装置具备具有与第1实 施方式所涉及的驱动装置的基本构成相同的结构的定位机构。以下，对本实施方式，以与上 述的各实施方式的不同点为中心进行说明，对相同的事项，省略其说明。
[0150] 首先，对利用第3实施方式所涉及的电子部件输送装置以及电子部件检查装置进 行输送或者检查的电子部件的一个例子进行说明。图9是表示第3实施方式所涉及的电子 部件的一个例子的图。具体而言，图9 (a)是表示电子部件的结构的示意侧视图，图9 (b) 以及图9 (c)是表示电子部件的结构的示意立体图。图9 (b)示出形成了半导体元件的面， 图9 (c)示出仅形成有电极的面。
[0151] 如图9 (a)、（b)、（c)所示，电子部件70具备四方形的基板71。将基板71的一个 面设为第1面70a，将另一个面设为第2面70b。如图9 (b)所示，第1面70a设置有四方 形的半导体芯片72,其周围配置有排列成两列的第1电极73a。如图9 (c)所示，在第2面 70b以格子状配置有第2电极73b。在基板71内层叠形成有布线层和绝缘层，半导体芯片 72经由布线层的布线与由第1电极73a以及第2电极73b构成的电极73连接。
[0152] 此外，这里，作为电子部件的一个例子，对在基板71上安装了半导体芯片72的电 子部件70进行了说明，但电子部件并不局限于该结构。作为电子部件，例如，能够列举半导 体芯片、IXD等显示器件、石英器件、各种传感器、喷墨头等。
[0153] 接下来，对第3实施方式所涉及的电子部件输送装置以及电子部件检查装置进行 说明。
[0154] 图10是表示第3实施方式所涉及的电子部件输送装置以及电子部件检查装置的 示意俯视图，图11是图10所示的电子部件检查装置具有的检查用单个插口的剖视图，图12 是表示图10所示的电子部件检查装置具有的供给机器人的手部单元的俯视图(局部剖视 图)，图13是表示图10所示的电子部件检查装置具有的供给机器人的手部单元的立体图， 图14是表示图10所示的电子部件检查装置具有的检查用机器人的手部单元的分解立体 图，图15是在与图10所示的电子部件检查装置具有的检查用机器人的手部单元的移动机 构的X方向垂直的平面获得的剖视图，图16是表示图10所示的电子部件检查装置具有的 定位机构的结构的示意框图，图17?图25是对由图10所示的电子部件检查装置进行的电 子部件的检查顺序进行说明的俯视图。
[0155] 此外，在图15中，放大示出在X机座220k上安装有压电马达300x的部分的附近。
[0156] 电子部件检查装置
[0157] 图10所示的电子部件检查装置lk是用于检查电子部件70的电特性的装置。
[0158] 电子部件检查装置lk具有供给托盘2k、回收托盘3k、第1往复机构4k、第2往复 机构5k、检查用插口（检查部）6k、供给机器人7k、回收机器人8k、检查用机器人9k、进行各 部的控制的控制装置l〇k、定位机构110、第1照相机600k、以及第2照相机500k。
[0159] 在本实施方式的电子部件检查装置lk中，通过这些各部中的除了检查用插口 6k 的构成，即、供给托盘2k、回收托盘3k、第1往复机构4k、第2往复机构5k、供给机器人7k、 回收机器人8k、检查用机器人9k、控制装置10k、定位机构110、第1照相机600k、以及第2 照相机500k，构成执行电子部件70的输送的电子部件输送装置。
[0160] 另外，电子部件检查装置lk具有安装上述各部的台座Ilk、和以收纳上述各部的 方式覆盖台座ilk的未图示的安全罩，在该安全罩的内侧（以下称为"区域S"）配置有第1 往复机构4k、第2往复机构5k、检查用插口 6k、供给机器人7k、回收机器人8k、检查用机器 人9k、第1照相机600k以及第2照相机500k，并且以能够在区域S的内外移动的方式配置 有供给托盘2k以及回收托盘3k。另外，在区域S内进行电子部件70的电特性的检查。
[0161] 供给托盘
[0162] 供给托盘2k是用于将进行检查的电子部件70从区域S外输送至区域S内的托盘。 如图10所示，供给托盘2k呈板状，在其上表面以矩阵状形成有用于保持电子部件70的多 个(许多）凹处21k。
[0163] 这样的供给托盘2k被支承于以跨过区域S的内外的方式向Y方向延伸的导轨 23k，能够通过例如线性马达等未图示的驱动单元，沿导轨23k在Y方向上往复移动。因此， 能够在区域S外将电子部件70配置在供给托盘2k后，将供给托盘2k移动至区域S内，并 从供给托盘2k移除所有的电子部件70之后，将区域S内的供给托盘2k移向区域S外。
[0164] 此外，供给托盘2k也可以不直接支承于导轨23k，例如，也可以构成为具有载置面 的载台支承于导轨23k，在该载台的载置面上载置供给托盘2k。根据这样的构成，能够在与 电子部件检查装置lk不同的位置进行向供给托盘2k的电子部件70的收纳，装置的便利性 提高。此外，对于后述的回收托盘3k也能够使其成为相同的结构。
[0165] 回收托盘
[0166] 回收托盘3k是用于收纳检查完毕的电子部件70并从区域S内向区域S外输送的 托盘。如图10所示，回收托盘3k呈板状，在其上表面以矩阵状形成有用于保持电子部件70 的多个凹处31k。
[0167] 这样的回收托盘3k被支承于以跨过区域S的内外的方式向Y方向延伸的导轨 33k，能够通过例如线性马达等未图示的驱动单元，沿导轨33k在Y方向上往复移动。因此， 在区域S内将检查完毕的电子部件70配置在回收托盘3k后，将供给托盘移向区域S内，并 从供给托盘2k移除所有的电子部件70之后，将回收托盘3k移向区域S外。
[0168] 此外，与上述的供给托盘2k相同，回收托盘3k也可以不直接支承于导轨33k，例 如，也可以构成为将具有载置面的载台支承于导轨33k，在该载台的载置面载置回收托盘 3k。
[0169] 这样的回收托盘3k被设置成与上述的供给托盘2k在X方向上分离，供给托盘2k 与回收托盘3k之间配置有第1往复机构4k、第2往复机构5k以及检查用插口 6k。
[0170] 第1往复机构
[0171] 第1往复机构4k用于将通过供给托盘2k输送到区域S内的电子部件70进一步 输送至检查用插口 6k的附近，并且，将通过检查用插口 6k检查的检查完毕的电子部件70 输送至回收托盘3k的附近。
[0172] 如图10所示，第1往复机构4k具有基部部件41k、和固定于基部部件41k的两个 托盘42k、43k。这两个托盘42k、43k在X方向上排列设置。另外，在托盘42k、43k的上表面 分别以矩阵状形成有用于保持电子部件70的四个凹处421k、431k。具体而言，在托盘42k、 43k以分别在X方向以及Y方向排列两个的方式形成有四个凹处421k、431k。
[0173] 托盘42k、43k中，位于供给托盘2k侧的托盘42k是收纳被供给托盘2k收纳了的 电子部件70的托盘，位于回收托盘3k侧的托盘43k是用于收纳利用检查用插口 6k的电特 性的检查结束了的电子部件70的托盘。即，一个托盘42k是用于收纳未检查的电子部件70 的托盘，另一个托盘43k是用于收纳检查完毕的电子部件70的托盘。
[0174] 收纳于托盘42k的电子部件70通过检查用机器人9k输送至检查用插口 6k，为了 检查而配置在检查用插口 6k的电子部件70在检查结束后，通过检查用机器人9k输送至托 盘 43k。
[0175] 这样的第1往复机构4k被支承于向X方向延伸的导轨44k，能够通过例如线性马 达等未图示的驱动单元，沿导轨44k在X方向上往复移动。由此，能够获得第1往复机构 4k向X方向（一）侧移动，托盘42k相对于供给托盘2k在Y方向（+)侧排列且托盘43k相 对于检查用插口 6k在Y方向（+)侧排列的状态、和托盘43k相对于回收托盘3k在Y方向 (十）侧排列，并且托盘42k相对于检查用插口 6k在Y方向（十）侧排列的状态。
[0176] 第2往复机构
[0177] 第2往复机构5k具有与上述的第1往复机构4k相同的功能以及结构。即，第2 往复机构5k用于将通过供给托盘2k输送到区域S内的电子部件70进一步输送至检查用 插口 6k的附近，并且，将通过检查用插口 6k检查的检查完毕的电子部件70输送至回收托 盘3k的附近。
[0178] 如图10所示，第2往复机构5k具有基部部件51k、和固定于基部部件51k的两个 托盘52k、53k。这两个托盘52k、53k在X方向排列设置。另外，在托盘52k、53的上表面分 别以矩阵状形成有用于保持电子部件70的四个凹处521k、531k。
[0179] 托盘52k、53k中，位于供给托盘2k侧的托盘52k是收纳被供给托盘2k收纳了的 电子部件70的托盘，位于回收托盘3k侧的托盘43k是用于收纳利用检查用插口 6k的电特 性的检查结束了的电子部件70的托盘。
[0180] 收纳于托盘52k的电子部件70通过检查用机器人9k输送至检查用插口 6k，为了 检查而配置在检查用插口 6k的电子部件70在检查结束后，通过检查用机器人9k输送至托 盘 53k。
[0181] 这样的第2往复机构5k被支承于向X方向延伸的导轨54k，能够通过例如线性马 达等未图示的驱动单元，沿导轨54k在X方向上往复移动。由此，能够获得第2往复机构5k 向X方向（一）侧移动，托盘52k相对于供给托盘2k在Y方向（十）侧排列，并且托盘53k相 对于检查用插口 6k在Y方向（一）侧排列的状态、和第2往复机构5k向X方向（+)侧移 动，托盘53k相对于回收托盘3k在Y方向（+)侧排列，并且托盘42k相对于检查用插口 6k 在Y方向（一）侧排列的状态。
[0182] 此外，第2往复机构5k被设置成相对于上述的第1往复机构4k在Y方向上分离， 在第1往复机构4k与第2往复机构5k之间配置有检查用插口 6k。
[0183] 检查用插口
[0184] 检查用插口（检查部）6是用于检查电子部件70的电特性的插口。
[0185] 检查用插口 6k具有用于配置电子部件70的四个检查用插口 61k。另外，四个检查 用插口 61k被设置成矩阵状。具体而言，四个检查用插口 61k被设置成在X方向以及Y方 向分别排列两个。此外，检查用插口 61k的数量并不局限于四个，可以是一至三个，也可以 是五个以上。另外，检查用插口 61k的排列状态也并不特别限定，例如，也可以在X方向或 者Y方向上配置为一列。
[0186] 若从工作效率的观点来看，检查用插口 61k的数量越多越好，但若进一步考虑电 子部件检查装置lk的小型，则优选为4?20左右。由此，通过一次检查能够检查的电子部 件70的数量足够多，能够提高工作效率。多个检查用插口 61k可以排列为矩阵状，也可以 排列成一列。8卩，可以像2父2、4\4、8\2那样配置为矩阵状，也可以如4\1、8父1那样配 置为一列。
[0187] 另外，优选地，形成在上述的托盘42k (托盘43k、52k、53k也一样）的凹处421k的 排列与检查用插口 61k的排列相同，且配设间距也几乎相等。由此，能够将收纳于托盘42k、 52k的电子部件70顺利地移至检查用插口 61k。另外，能够将配置在检查用插口 61k的电 子部件70顺利地移至托盘43k、53k。因此，能够提高工作效率。
[0188] 如图11所示，各检查用插口 61k具有与XY平面垂直的侧面611k。这里，以往的检 查用单个插口的侧面呈锥状，由此，容易地将电子部件70配置在检查用单个插口。像这样 使侧面为锥状是因为无法高精度地进行针对检查用单个插口的电子部件70的定位。与此 相对，在本申请发明中，与以往的装置相比，能够更高精度地进行针对检查用插口 61k的电 子部件70的定位，所以不需要使侧面为锥状。通过由与XY平面垂直的面构成侧面，与以往 的锥状的检查用单个插口相比，能够更可靠地利用检查用插口 61k保持电子部件70。即，能 够更可靠地防止在检查用插口 61k内的电子部件70的非本意的位移。
[0189] 另外，在各检查用插口 61k设置有从底部613k突出的多个探针62k。这些多个探 针62k分别通过未图示的弹簧等，向上方施力。另外，若在检查用插口 61k上配置电子部件 70,则探针62k与该电子部件70具有的外部端子接触。由此，成为电子部件70与检查控制 部101k经由探针62k电连接的状态，S卩、能够进行电子部件70的电特性的检查的状态。
[0190] 此外，在检查用插口 6k的附近还设置有未图示的照相机，另外，在检查用插口 61k 的附近设置有未图示的插口标志。由此，通过上述照相机，能够识别检查用插口 61k的位置 与插口标志的相对位置，并且识别插口标志与后述的第1手部单兀92k具有的期间标志的 相对位置，识别器件标志与电子部件70的相对位置，并精度良好地定位检查用插口 61k与 电子部件70的位置。
[0191] 第1照相机
[0192] 如图10所示，第1照相机600k位于第1往复机构4k与检查用插口 6k之间，相对 于检查用插口 6k排列设置在Y方向（+)侧。这样的第1照相机600k在保持了收纳于托 盘42k的电子部件70的检查用机器人9k的第1手部单元92k通过上方时，拍摄保持于第 1手部单元92k的电子部件70以及第1手部单元92k具有的器件标志。
[0193] 第2照相机
[0194] 如图10所示，第2照相机500k具有与上述的第1照相机600k相同的功能。这样 的第2照相机500k位于第2往复机构5k与检查用插口 6k之间，相对于检查用插口 6k排 列设置在Y方向（一）侧。如后述，第2照相机500k在保持了收纳于托盘52k的电子部件 70的检查用机器人9k的第2手部单元93k通过上方时，拍摄保持于第2手部单元93k的电 子部件70以及第2手部单元93k具有的器件标志。
[0195] 供给机器人
[0196] 供给机器人7k是用于将输送至区域S内的收纳于供给托盘2k的电子部件70移 至第1往复机构4k的托盘42k以及第2往复机构5k的托盘52k的机器人。
[0197] 如图10以及图12所示，这样的供给机器人7k具有支承于台座Ilk的支承机架 72k、支承于支承机架72k且能够相对于支承机架72k在Y方向上往复移动的移动机架（Y方 向移动机架）73k、支承于移动机架73k且能够相对于移动机架73k在X轴方向上往复移动 的手部单元支承部（X方向移动机架)74k、以及支承于手部单元支承部74k的四个手部单元 75k。
[0198] 在支承机架72k形成有沿Y方向延伸的导轨721k，移动机架73k沿该导轨721k在 Y方向上往复移动。另外，在移动机架73k形成有沿X方向延伸的未图示的导轨，手部单元 支承部74k沿该导轨在X方向上往复移动。
[0199] 此外，能够分别通过例如线性马达等驱动单元进行移动机架73k相对于支承机架 72k的移动、手部单元支承部74k相对于移动机架73k的移动。
[0200] 四个手部单元75k以分别在X方向以及Y方向上各排列两个的方式配置为矩阵 状。这样，通过以与形成于托盘42k、52k的四个凹处421k、521k的排列对应的方式设置手 部单元75k，能够顺利地进行从供给托盘2k向托盘42k、52k的电子部件70的移置。此外， 手部单元75k的数量并不局限于四个，例如可以为一至三个，也可以为五个以上。另外，手 部单元75k也可以为能够根据凹处21k的排列、和凹处421k、521k的排列改变排列的结构。
[0201] 如图12所示，各手部单元75k具有位于前端侧并保持电子部件70的保持部751k、 和使保持部751k相对于手部单元支承部74k在Z方向上往复移动(升降)的升降装置752k。 升降装置752k例如能够为利用了线性马达等驱动单元的装置。
[0202] 保持部75lk具有与电子部件70对置的吸附面75la、向吸附面75la开放的吸附孔 751b、以及对吸附孔751b内进行减压的减压泵751c。在以堵塞吸附孔751b的方式使吸附 面 75la与电子部件70接触的状态下，若通过减压泵751c对吸附孔75lb内进行减压，则能 够在吸附面751a上吸附、保持电子部件70。相反地，若停止减压泵751c，解放吸附孔751b 内，则能够放下保持的电子部件70。
[0203] 如下述，这样的供给机器人7k进行从供给托盘2k向托盘42k、52k的电子部件70 的输送。此外，由于彼此以相同的方法进行从供给托盘2k向托盘42k、52k的电子部件70 的输送，所以以下，代表性地说明向托盘42k的电子部件70的输送。
[0204] 首先，设为使第1往复机构4k向X方向（一)侧移动，托盘42k相对于供给托盘2k 在Y方向上排列的状态。接下来，以使手部单元75k位于供给托盘2k的方式使移动机架 73k在Y方向上移动，并且使手部单元支承部74k在X方向上移动。接下来，通过升降装置 752k使保持部751k下降，使保持部751k与供给托盘2k上的电子部件70接触，通过上述的 方法使保持部751k保持电子部件70。
[0205] 接下来，通过升降装置752k使保持部751k上升，将保持的电子部件70从供给托 盘2k取除。接下来，以使手部单元75k位于第1往复机构4k的托盘42k上的方式，使移动 机架73k在Y方向上移动，并且使手部单元支承部74k在X方向上移动。接下来，通过升降 装置752k使保持部751k下降，将保持于保持部751k的电子部件70配置在托盘42k的凹 处421k内。接下来，解除电子部件70的吸附状态，从保持部751k放下电子部件70。也可 以根据需要，反复这样的作业。
[0206] 由此，结束从供给托盘2k向托盘42k的电子部件70的输送(移置)。
[0207] 检查用机器人
[0208] 检查用机器人9k是将通过供给机器人7k输送至托盘42k、52k的电子部件70进 一步输送至检查用插口 6k，并且将配置在检查用插口 6k、且结束了电特性的检查的电子部 件70输送给托盘43k、53k的装置。
[0209] 另外，检查用机器人9k能够在从托盘42k、52k向检查用插口 6k输送电子部件70 时，高精度地进行针对检查用插口 6k (检查用插口 61k)的电子部件70的定位。
[0210] 另外，检查用机器人9k也具有在将电子部件70配置在检查用插口 6k而进行电特 性的检查时，向探针62k按压电子部件70,对电子部件70施加规定的检查压的功能。
[0211] 如图10所示，检查用机器人9k具有针对台座Ilk固定地设置的第1机架911k、 支承于第1机架911k且能够相对于第1机架911k向Y方向往复移动的第2机架912k、支 承于第2机架912k的第1手部单元支承部913k以及第2手部单元支承部914k、支承于第 1手部单元支承部913k的四个第1手部单元92k、以及支承于第2手部单元支承部914k的 四个第2手部单元93k。
[0212] 在第1机架911k形成有沿Y方向延伸的导轨91 lak，第2机架912k沿该导轨91 lak 在Y方向上往复移动。另外，在第2机架912k形成有沿Z方向延伸的贯通孔912ak、912bk。
[0213] 能够通过例如线性马达等未图示的驱动单元进行第2机架912k相对于第1机架 911k的移动。
[0214] 支承于第1手部单元支承部913k的四个第1手部单元92k是在第1往复机构4k 的各托盘42k、43k与检查用插口 6k之间输送电子部件70的装置。另外，也是在从托盘42k 向检查用插口 6k输送未检查的电子部件70时，进行针对检查用插口 6k (检查用插口 61k) 的该电子部件70的定位的装置。
[0215] 同样地，支承于第2手部单元支承部914k的四个第2手部单元93k是在第2往复 机构5k的各托盘52k、53k与检查用插口 6k之间输送电子部件70的装置。另外，也是在从 托盘52k向检查用插口 6k输送未检查的电子部件70时，进行针对检查用插口 6k (检查用 插口 61k)的该电子部件70的定位的装置。
[0216] 四个第1手部单元92k在第1手部单元支承部913k的下侧，以在X方向以及Y方 向分别排列两个的方式配置为矩阵状。另外，四个第1手部单元92k的配设间距与形成于 托盘42k (托盘43k、52k、53k也一样）的四个凹处421k以及设置在检查用插口 6k的四个 检查用插口 61k的配设间距几乎相等。
[0217] 这样，通过以与凹处421k以及检查用插口 61k的排列对应的方式配置第1手部单 元92k，能够顺利地进行托盘42k、43k与检查用插口 6k之间的电子部件70的输送。
[0218] 此外，第1手部单元92k的数量并不局限于四个，例如，可以为一至三个，也可以为 五个以上。
[0219] 同样地，四个第2手部单元93k以在X方向以及Y方向分别各排列两个的方式以 矩阵状配置在第2手部单元支承部914k的下侧。这四个第2手部单元93k的配置、配设间 距与上述的四个第1手部单元92k相同。
[0220] 以下，基于图13?图15对第1手部单元92k以及第2手部单元93k的结构进行 详细的说明，但各手部单元92k、93k为彼此相同的结构，所以以下，以一个第1手部单元92k 为代表进行说明，对其他的第1手部单元92k以及各第2手部单元93k，省略其说明。
[0221] 如图13以及图14所示，第1手部单元92k具有移动机构150k，该移动机构150k 分别对X方向以及Y方向的坐标、和以Z方向为旋转轴(转动轴)旋转(转动）的方向亦即Θ 方向的旋转角度进行微调；和能够在Z方向上移动的Z载台等。另外，在第1手部单元92k 的前端部设置有把持电子部件70的把持部142k。此外，把持部142k的结构与上述的手部 单元75k的保持部75lk相同，在图13中，省略减压泵等的图示。
[0222] 移动机构150k在最上段配置有支撑整体的单元基部(基部）200k，该单元基部 200k安装于第1手部单元支承部913k。单元基部200k的下方以能够相对于单元基部200k 在X方向上移动的方式设置有X机座220k。另外，X机座220k的下方以能够随着X机座 220k的动作在Θ方向上转动的方式设置有Θ机座240k。并且，Θ机座240k的下方以 能够随着Θ机座240k的动作相对于Θ机座240k在Y方向上移动的方式设置有Y机座 260k。Θ机座240k配置在X机座220k与Y机座260k之间。此外，图中的虚线箭头表示各 机座（220k、240k、260k)的移动方向。另外，本实施方式的X机座220k、Y机座260k、Θ机 座240k分别相当于本发明的"移动部"。即，X机座220k相当于本发明的"第1移动部"，Y 机座260k相当于本发明的"第2移动部"，Θ机座240k相当于本发明的"第3移动部"。
[0223] 另外，在移动机构150k设置有驱动X机座220k的X方向用压电马达300x、驱动 Θ机座240k的Θ方向用压电马达300 Θ、以及驱动y机座260k的Y方向用压电马达300y 的三个压电马达。此外，在不需要特别区别三个压电马达（300χ、300 Θ、300y)的情况下，有 时仅将这些压电马达称为压电马达300k。另外，压电马达300k使用与上述的各实施方式相 同的压电马达。
[0224] 并且，移动机构150k设置有在上下方向（Z方向)贯通单元基部200k、X机座220k、 Θ机座240k、以及Y机座260k的轴280k。轴280k以能够相对于Y机座260k在Z方向上 移动的方式安装，随着Y机座260k的动作，通过未图示的Z载台的动作在Z方向上移动。此 外，Z载台的移动能够通过例如线性马达等进行。另外，轴280k的下端安装有把持部142k。
[0225] 单元基部200k是大致矩形的平板形状，设置有使轴280k在Z方向通过的圆形剖 面的贯通孔208k。贯通孔208k的大小形成为即使轴280k随着Y机座260k的动作在X方 向以及Y方向上移动也不会碰到内圆周面的大小。另外，在单元基部200k的下表面（与X 机座220k相对的面)与X方向平行地延伸配置有形成为向下的凹形剖面的两个X导轨承受 部202k，这两个X导轨承受部202k被配置成在Y方向上分离。在X导轨承受部202k的内 壁侧面形成有剖面形状为半圆形的外槽204k，沿外槽204k配置有多个滚珠206k。
[0226] 在X机座220k的上表面(与单元基部200k相对的面)，与单元基部200k侧的两个 X导轨承受部202k对应地与X方向平行地延伸配置有两个X导轨222k。X导轨222k的两 侧面形成有与X导轨承受部202k的外槽204k相对的半圆形剖面的内槽224k。在使X导轨 222k与对应的X导轨承受部202k嵌合的状态下，内槽224k与外槽204k之间插入多个滚珠 206k，各X导轨222k的两侧形成滚珠导轨。而且，滚珠206k沿内槽224k以及外槽204k转 动，从而X机座220k相对于单元基部200k顺利地移动。
[0227] 另外，在X机座220k的朝向Y方向的侧面的一方（附图前侧）安装有压电马达 300x，在另一方（图中里侧）安装有压电马达300 Θ。在使振动体1的短边方向与X方向一 致且振动体1的滑动部4被单元基部200k施力的状态下，安装驱动X机座220k的压电马 达300x。在单元基部200k侧的滑动部4被施力的部分埋入大致形成为长方体形状的陶瓷 制的受压体210k。另外，使振动体1的短边方向与X方向一致，将振动体1的滑动部4朝向 Θ机座240k安装驱动Θ机座240k的压电马达300 Θ。
[0228] 并且，在X机座220k上且在Z方向上贯通设置使轴280k通过的圆形剖面的贯通 孔226k。X机座220k的贯通孔226k形成为比单元基部200k的贯通孔208k的内径大。
[0229] 从Θ机座240k的上表面(与X机座220k相对的面)坚立设置有设置有通过轴280k 的贯通孔244k的圆筒形状的导轴242k。导轴242k的外周面在上下方向（Z方向）分离地 设置有剖面形状形成为半圆形的两个内槽246k，沿内槽246k配置有多个滚珠248k。导轴 242k的外径形成为与X机座220k的贯通孔226k的内径相比较小，贯通孔226k的内周面设 置有与导轴242k的内槽246k相对的两个外槽(未图示)。在将导轴242k插入X机座220k 的贯通孔226k的状态下，导轴242k的内槽246k与对应的贯通孔226k的外槽之间插入有 多个滚珠248k，形成环状的滚珠导轨。而且，滚珠248k沿内槽246k以及外槽转动，从而Θ 机座240k相对于X机座220k顺利地转动。
[0230] 另外，在Θ机座240k的上表面且在与压电马达300 Θ相对的位置坚立设置有受； 压台250k。在该受压台250k的上表面安装有陶瓷制的受压体252k，内置于压电马达300 Θ 的振动体1的滑动部4被施力。
[0231] 另外，在Θ机座240k上以使振动体1的短边方向与Y方向一致，并且使振动体1 的滑动部4朝向Y机座260k的方式安装有驱动Y机座260k的压电马达300y。
[0232] 并且，在Θ机座240k的下表面(与Y机座260k相对的面)与Y方向平行地延伸配 置有两个Υ导轨254k，两个Υ导轨254k被配置成在X方向以及Υ方向上分离。在Υ导轨 254k的两侧面形成有剖面形状为半圆形的内槽256k。
[0233] Y机座260k的上表面（与Θ机座240k相对的面）与Θ机座240k侧的两个Y导 轨254k对应地与Y方向平行地延伸配置有两个Y轨座262k。Y轨座262k的剖面形状形成 为向上的凹形，内壁侧面形成有与Y导轨254k的内槽256k相对的半圆形剖面的外槽264k， 沿外槽264k配置有多个滚珠266k。在使Y轨座262k与对应的Y导轨254k嵌合的状态下， 内槽256k与外槽264k之间插入有多个滚珠266k，各Y导轨254k的两侧形成滚珠导轨。而 且，滚珠266k沿内槽256k以及外槽264k转动，从而Y机座260k相对于Θ机座240k顺利 地移动。
[0234] 另外，Y机座260k的上表面与压电马达300y相对的位置安装有陶瓷制的受压体 268k，针对内置于压电马达300y的振动体1的滑动部4施力。并且，Y机座260k设置有以 能够在Z方向上移动的方式支承轴280k的圆筒形状的轴支承部270k。
[0235] 在具有以上那样的结构的移动机构150k中，三个压电马达300k中，通过对压电马 达300x的振动体1施加电压，能够使X机座220k相对于单元基部200k在X方向上移动。 另外，通过对压电马达300 Θ的振动体1施加电压，能够使Θ机座240k相对于X机座220k 在Θ方向上转动。并且，通过对压电马达300y的振动体1施加电压，能够使Y机座260k 相对于Θ机座240k在Y方向上移动。
[0236] 如第1实施方式所说明的，压电马达300x利用椭圆运动而驱动X机座220k。艮口， 如图14所示压电马达300x以振动体1的短边方向（弯曲方向）与X方向一致的方式于固 定X机座220k侧，在振动体1的滑动部4被施力至单元基部200k的受压体210k的状态下 产生椭圆运动。这样一来，滑动部4反复进行在振动体1伸长时以被施力至受压体210k的 状态朝向弯曲方向的任意一个方向移动并在振动体1收缩时以远离受压体210k的状态复 原至原来的位置的动作。其结果，通过受压体210k与滑动部4之间作用的摩擦力，X机座 220k相对于单兀基部200k朝向弯曲方向（X方向）的任意一个另一方向移动。
[0237] 另外，压电马达300 Θ固定于X机座220k侧，成为振动体1的滑动部4被设置在 Θ机座240k侧的受压台250k的受压体252k施力的状态。因此，若使压电马达300 Θ动 作，则通过滑动部4与受压体252k之间作用的摩擦力，Θ机座240k相对于X机座220k向 0方向转动。
[0238] 另外，压电马达300y以使振动体1的短边方向（弯曲方向）与Y方向一致的方式 固定于Θ机座240k侧，成为振动体1的滑动部4被施力至设置在Y机座260k侧的受压 体268k的状态。因此，若使压电马达300y动作，则通过滑动部4与受压体268k之间作用 的摩擦力，Y机座260k相对于Θ机座240k在Y方向上移动。因此，电子部件检查装置lk 通过使移动机构150k的压电马达300x、压电马达300 Θ、压电马达300y动作，能够对把持 部142k所把持的电子部件70的位置以及姿势进行微调。此外，这样的压电马达300k与利 用电磁力使转子旋转的电磁马达相比容易小型化，并且能够不经由齿轮等而直接传递驱动 力，所以通过移动机构150k的致动器使用压电马达300k，能够实现移动机构150k的小型 化。
[0239] 这里，在移动机构150k中，X机座220k、Θ机座240k、以及Y机座260k分别被设 置成能够向不同的方向（X方向、Θ方向、以及Y方向）移动，有在各机座（220、240、260)中 因增加负荷等而产生松动的情况。特别是，由于在接近支承移动机构150k的整体的单元基 部200k的一侧的X机座220k承受Θ机座240k、Y机座260k的重量，所以容易产生松动， 并且X机座220k的松动传导至伴随X机座220k的动作的Θ机座240k、Y机座260k，而作 为移动机构150k整体产生较大的松动。于是，在移动机构150k中如以下那样抑制松动。
[0240] 如上述，形成于单元基部200k侧的X导轨承受部202k的外槽204k与形成于X机 座220k侧的X导轨222k的内槽224k之间插入有多个滚珠206k，通过这些多个滚珠206k， 在X导轨222k的两侧形成与X方向平行的滚珠导轨(参照图15)。多个滚珠206k沿这两 列滚珠导轨转动从而X机座220k相对于单元基部200k顺利地移动。以下，将包括两列滚 珠导轨的平面"移动面"。此外，为了滚珠206k的顺利的转动，滚珠206k与内槽224k、外槽 204k之间设置有若干缝隙(游隙)。
[0241] 另外，安装于X机座220k的侧面的压电马达300x被固定成使内置的振动体1的 短边方向（弯曲方向）与X方向一致且使上端侧（设置有滑动部4的一侧）向与X机座220k 相反的一侧倾斜。而且，通过施力弹簧6向长边方向(伸缩方向)施力振动体1，成为滑动部 4被施力至单元基部200k的受压体210k的状态。因此，向受压体210k施力振动体1的滑 动部4的方向(施力方向）相对于移动面倾斜规定的角度(在图示的例子中为75° )。
[0242] 此外，受压体210k大致形成为长方体形状，下表面(振动体1的滑动部4抵接的面） 以与振动体1的施力方向正交的状态埋入单元基部200k。由此，即使振动体1的滑动部4 相对于单元基部200k的下表面倾斜地被施力，受压体210k的位置也不会因作用力而在横 方向（Y方向)上偏移，能够通过滑动部4与受压体210k之间作用的摩擦力使X机座220k相 对于单元基部200k精度良好地移动。另外，在移动机构150k中，相对于单元基部200k由 树脂材料形成，受压体210k由陶瓷、金属材料等与树脂材料相比硬度较高的材料形成。因 此，能够利用滑动部4与受压体210k之间作用的摩擦力抑制受压体210k磨损。
[0243] 这里，由于内置于压电马达300x的振动体1的滑动部4被施力至单元基部200k 的受压体210k，所以X机座220k受到与施力方向相反的方向的反作用力。该反作用力包 括与移动面平行的图中右方向的成分、和与移动面垂直的图中下方向的成分。而且，因 X机 座220k受到与移动面平行的反作用力，而在X导轨222k的两侧的滚珠导轨中远离压电马 达300x的一侧（图中右侧）的滚珠导轨中，滚珠206k与内槽224k以及外槽204k的缝隙堵 塞，成为内槽224k以及外槽204k夹持滚珠206k的状态。
[0244] 另外，在接近压电马达300x的一侧（图中左侧）的滚珠导轨中，虽然内槽224k与 外槽204k的间隔扩大，但由于X机座220k受到与移动面垂直的反作用力，所以产生使X机 座220k以图中右侧的缝隙堵塞的滚珠导轨为轴朝向下方旋转的力矩，成为内槽224k的上 端侧与外槽204k的下端侧夹持滚珠206k的状态。
[0245] 如上，在该移动机构150k中，通过使振动体1的施力方向相对于移动面倾斜，在 X导轨222k的两侧的滚珠导轨的任意一个中均能够利用内槽224k和外槽204k夹持滚珠 206k。并且在一个滚珠导轨中在与移动面平行的方向夹持滚珠206k，且在另一个滚珠导轨 中在与移动面垂直的方向夹持滚珠206k，夹持方向彼此不同，所以即使从任意的方向对X 机座220k增加负荷，也能够抑制X机座220k的松动。而且，像这样通过抑制配置在接近单 元基部200k的一侧且承受Θ机座240k以及Y机座260k的重量的X机座220k的松动，能 够提高移动机构150k整体的刚性。
[0246] 另外，在移动机构150k中，将在X方向上移动的X机座220k配置在接近单元基部 200k的上段的位置，将在Y方向上移动的Y机座260k配置在远离单元基部200k的下段的 位置。这是基于下面那样的理由。首先，如上述那样在电子部件检查装置lk中，内置了移 动机构150k的第1手部单元92k安装于第1手部单元支承部913k，通过使支承第1手部单 元支承部913k的第2机架912k移动能够使第1手部单元92k在Y方向上移动。而且，使 电子部件7移动到检查位置时，使第2机架912k在Y方向上移动，所以移动机构150k作用 有Y方向的惯性力。能够在与Y方向正交的X方向上移动的X机座220k在移动方向上不 受到惯性力，通过配置在接近单元基部200k的上段的位置从而即使X机座220k承受Θ机 座240k以及Y机座260k的重量，也能够防止因惯性力而产生X机座220k的位置偏移（向 移动方向的滑动)。
[0247] 另一方面，虽然能够在Y方向上移动的Y机座260k在移动方向受到惯性力，但是 若配置在不承受其他的机座（220k、240k)的重量的下段的位置，则Y机座260k不会被作用 较大的惯性力，能够抑制Y机座260k的位置偏移（向移动方向的滑动)。作为结果，不需要追 加防止因惯性力而引起的Y机座260k的位置偏移的制动机构等，就能够实现移动机构150k 的小型化。
[0248] 并且，在移动机构150k中，Θ机座240k设置在X机座220k与Y机座260k之间， 驱动Θ机座240k的压电马达300 Θ被配置成内置的振动体1的短边方向（弯曲方向）与X 方向。若像这样配置压电马达300 Θ，则即使随着第2机架912k的移动移动机构150k受到 Y方向的惯性力，振动体1的滑动部4与受压体252k之间摩擦力作用的方向(振动体1的弯 曲方向）也不与惯性方向重叠，所以能够抑制因惯性力引起的Θ机座240k的位置偏移（向 Θ方向的滑动)。
[0249] 此外，控制装置10k构成为能够经由定位机构110,分别独立地控制四个第1手部 单元92k的驱动，由此，能够分别独立地进行保持于各第1手部单元92k的四个电子部件70 的定位(位置修正)。同样地，控制装置l〇k构成为能够经由定位机构110,分别独立地控制 四个第2手部单元93k的驱动，由此，能够分别独立地进行保持于各第2手部单元93k的四 个电子部件70的定位(位置修正)。
[0250] 回收机器人
[0251] 回收机器人8k是用于将收纳于第1往复机构4k具有的托盘43k以及第2往复机 构5k具有的托盘53k的检查完毕的电子部件70移至回收托盘3k的机器人。
[0252] 回收机器人8k为与供给机器人7k相同的结构。即，回收机器人8k具有支承于台 座11k，且具有向Y方向延伸的导轨821k的支承机架82k、支承于支承机架82k且能够相对 于支承机架82k在Y方向上往复移动的移动机架（Y方向移动机架）83k、支承于移动机架 83k且能够相对于移动机架83k在X方向上往复移动的手部单元支承部（X方向移动机架） 84k、以及支承于手部单元支承部84k的多个手部单元85k。这些各部的结构与供给机器人 7k的对应的各部的结构相同，所以省略其说明。
[0253] 这样的回收机器人8k如下面那样，进行从托盘43k、53向回收托盘3k的电子部件 70的输送。此外，从托盘43k、53向回收托盘3k的电子部件70的输送彼此以相同的方法进 行，所以以下，以来自托盘43k的电子部件70的输送为代表进行说明。
[0254] 首先，使第1往复机构4k向X方向（+)侧移动，成为托盘43k相对于回收托盘3k 在Y方向上排列的状态。接下来，使移动机架83k在Y方向上移动，以使手部单元85k位于 托盘43k上，并且使手部单元支承部84k向X方向移动。接下来，使手部单元85k的保持部 下降，使保持部与供给托盘2k上的电子部件70接触，使保持部保持电子部件70。
[0255] 接下来，使手部单元支承部84k的保持部上升，从托盘43k取除保持的电子部件 70。接下来，使移动机架83k在Y方向上移动，以使手部单元85k位于回收托盘3k上，并且 使手部单元支承部84k向X方向移动。接下来，使手部单元支承部84k的保持部下降，将保 持部所保持的电子部件70配置在回收托盘3k的凹处31k内。接下来，解除电子部件70的 吸附状态，从保持部放下电子部件70。
[0256] 由此，完成从托盘43k向回收托盘3k的电子部件70的输送(移置)。
[0257] 这里，收纳于托盘43k的检查完毕的电子部件70中存在未能够发挥规定的电特性 的不合格品的情况。因此，例如，可以准备两个回收托盘3k，将一个作为用于收纳满足规定 的电特性的合格品的托盘使用，将另一个作为用于回收上述不合格品的托盘使用。另外，也 可以在使用一个回收托盘3k的情况下，将规定的凹处31k作为用于收纳上述不合格品的凹 处而利用。由此，能够明确地分别合格品和不合格品。
[0258] 这样的情况下，例如，四个手部单元85k所保持的四个电子部件70中的三个为合 格品，剩余的一个为不合格品的情况下，回收机器人8k将三个合格品输送至合格品用回收 托盘，并且将一个不合格品输送至不合格品用回收托盘。各手部单元85k的驱动（电子部件 70的吸附）独立，所以能够简单地进行这样的工作。
[0259] 控制装置
[0260] 控制装置10k具有驱动控制部102k、和检查控制部101k。驱动控制部102k例如 控制供给托盘2k、回收托盘3k、第1往复机构4k以及第2往复机构5k的移动、供给机器人 7k、回收机器人8k、检查用机器人9k、第1照相机600k以及第2照相机500k等的机械式的 驱动。另外，检查控制部l〇lk基于存储在未图示的存储器内的程序，进行配置在检查用插 口 6k的电子部件70的电特性的检查。
[0261] 定位机构
[0262] 图16所示，定位机构110是应用了第1实施方式所涉及的驱动装置100的基本构 成的定位机构，由两个驱动单元111a、111b构成。
[0263] 驱动单元111a驱动四个第1手部单元92k的每一个，驱动单元111b驱动四个第 2手部单元93k的每一个，能够分别将电子部件70移动配置在规定的位置。
[0264] 驱动单元111a具有驱动电路90a、12个继电器（即四个继电器21x、四个继电器 21y、四个继电器21 Θ )、12个压电马达（S卩、四个压电马达300x、四个压电马达300y、四个压 电马达300 Θ )。各继电器21x分别与对应的压电马达300x连接，各继电器21y分别与对应 的压电马达300y连接，各继电器21 Θ分别与对应的压电马达300 Θ连接。而且，通过各继 电器211、217、210的切换，分别成为压电马达3〇(^、3〇〇7、3〇〇0与驱动电路9〇 &电连接的 状态，或者切断的状态。
[0265] 同样地，驱动单元111b具有驱动电路90b、12个继电器，S卩、四个继电器21x、四个 继电器21y、四个继电器21 Θ、12个压电马达，g卩、四个压电马达300x、四个压电马达300y、 四个压电马达300 Θ。各继电器21x分别与对应的压电马达300x连接，各继电器21y分别 与对应的压电马达300y连接，各继电器21 Θ分别与对应的压电马达300 Θ连接。而且，通 过各继电器211、217、210的切换，分别成为压电马达3〇(^、3〇〇7、3〇〇0与驱动电路9〇13电 连接的状态，或者切断的状态。
[0266] 这样，定位机构110的驱动单元111b利用共用的驱动电路90a驱动12个压电马 达，同样地，利用共用的驱动电路90b驱动12个压电马达，所以能够相对于压电马达的数量 减少驱动电路90的数量以及布线的数量。因此，能够实现定位机构110的小型化、轻型化、 低成本化。
[0267] 另外，配置在相距较远的位置的驱动电路90a、90b与压电马达300x、300y、300 Θ 之间的布线的数量较少，所以能够较小地抑制因布线的重量、布线束而带来的负担，所以定 位容易进行，能够进行更精密的定位。
[0268] 接下来，对第1手部单元92k把持的电子部件70的定位(视觉定位)的方法进行说 明。此外，以下所说明的定位方法为一个例子，并不局限于此。另外，对于第2手部单元93k 把持的电子部件70的定位的方法也相同，所以省略其说明。
[0269] 利用把持部142k把持收纳于托盘42k的未检查的电子部件70,且第1手部单元 92k在从托盘42k的正上方移动到检查用插口 6k的正上方的途中，第1手部单元92k通过 第1照相机600k的正上方。第1照相机600k在第1手部单元92k通过其正上方时，进行 拍摄以捕捉保持于第1手部单元92k的电子部件70以及第1手部单元92k具有的器件标 志。由此获得的图像数据向控制装置l〇k发送，通过控制装置10k进行图像识别处理。
[0270] 具体而言，在图像识别处理中，对从第1照相机600k获取的图像数据实施规定的 处理，计算第1手部单元92k的器件标志与电子部件70的相对位置以及相对角度。而且， 对比该计算出的相对位置以及相对角度与表示器件标志与电子部件70的适当的位置关系 的基准位置以及基准角度，分别对相对位置与基准位置之间产生的"偏移位置量"、和相对 角度与基准角度之间产生的"偏移角度量"进行运算。此外，上述基准位置以及上述基准角 度是指第1手部单元92k配置在预先设定的检查用原点位置时电子部件70的外部端子与 检查用插口 61k的探针62k合适地连接的位置。
[0271] 而且，控制装置10k基于求出的偏移位置量以及偏移角度量，根据需要驱动压电 马达300x、300y、300 Θ，以相对位置以及相对角度与基准位置以及基准角度一致的方式对 电子部件70的位置以及姿势(角度）进行修正。
[0272] 具体而言，相对位置与基准位置之间产生偏移位置量的情况下，控制装置10k通 过驱动压电马达300x，使X机座220k相对于单元基部200k在X方向上移动，并且驱动压电 马达300y，是Y机座260k相对于Θ机座240k在Y方向上移动，或者，通过进行这些X机座 220k、Y机座260k的移动中的任意一个，使相对位置与基准位置一致。另外，相对角度与基 准角度之间产生偏移角度量的情况下，控制装置l〇k通过驱动压电马达300 Θ，使Θ机座 240k相对于X机座220k在Θ方向上转动，使相对位置与基准位置一致。通过以上那样的 控制，能够进行把持的电子部件70的定位。
[0273] 检查装置的检查方法
[0274] 接下来，对基于电子部件检查装置lk的电子部件70的检查方法进行说明。此外， 以下所说明检查方法，特别是电子部件70的输送顺序是一个例子，并不局限于此。
[0275] 步骤 1
[0276] 首先，如图17所示，向区域S内输送各凹处21k收纳了电子部件70的供给托盘 2k，并且使第1、第2往复机构4k、5k向X方向（一）侧移动，托盘42k、52k分别成为相对于 供给托盘2k在Y方向（+)侧排列的状态。
[0277] 步骤 2
[0278] 接下来，如图18所示，通过供给机器人7k，将收纳于供给托盘2k的电子部件70移 至托盘42k、52k，在托盘42k、52k的各凹处421k、521k收纳电子部件70。
[0279] 步骤 3
[0280] 接下来，如图19所示，同时向X方向（十）侧移动第1、第2往复机构4k、5k，成为 托盘42k相对于检查用插口 6k在Y方向（十）侧排列，托盘52k相对于检查用插口 6k在Y 方向（一）侧排列的状态。
[0281] 步骤 4
[0282] 接下来，如图20所示，使第1、第2手部单元支承部913k、914k 一体地向Y方向（+) 侧移动，成为第1手部单元支承部913k位于托盘42k的正上方，并且第2手部单元支承部 914k位于检查用插口 6k的正上方的状态。
[0283] 其后，各第1手部单元92k保持收纳于托盘42k的电子部件70。具体而言，首先， 各第1手部单元92k向Z方向（一)侧移动，并吸附、保持收纳于托盘42k的电子部件70。接 下来，各第1手部单元92k向Z方向（+)侧移动。由此，从托盘42k取出各第1手部单元 92k所保持的电子部件70。
[0284] 步骤 5
[0285] 接下来，如图21所示，使第1、第2手部单元支承部913k、914k一体地向Y方向（一） 侧移动，成为第1手部单元支承部913k位于检查用插口 6k的正上方(检查用原点位置),并 且第2手部单元支承部914k位于托盘52k的正上方的状态。在该移动中，第1手部单元支 承部913k(各第1手部单元92k)通过第1照相机600k的正上方，此时，第1照相机600k以 各捕捉保持于第1手部单元92k的电子部件70以及各第1手部单元92k的器件标志949k 的方式进行拍摄。而且，控制装置l〇k基于通过拍摄获得的图像数据，独立地进行各电子部 件70的定位(视觉定位)。上述定位(视觉定位）是进行检查用插口 61k与上述插口标志的 相对位置的识别、上述插口标志与器件标志949k的相对位置的识别、器件标志949k与电子 部件70的相对位置的识别以及定位，进行了检查用插口 61k与电子部件70的定位。
[0286] 也与这样的第1、第2手部单元支承部913k、914k的移动以及电子部件70的定位 同时进行下面那样的作业。首先，使第1往复机构4k向X方向（一）侧移动，成为托盘43k 相对于检查用插口 6k在Y方向上排列的状态，并且成为托盘42k相对于供给托盘2k在Y 方向上排列的状态。接下来，通过供给机器人7k，将收纳于供给托盘2k的电子部件70移至 托盘42k，将电子部件70收纳于托盘42k的各凹处421k。
[0287] 步骤 6
[0288] 接下来，使第1手部单元支承部913k向Z方向（一）侧移动，保持于各第1手部单 元92k的电子部件70配置在检查用插口 6k的各检查用插口 61k内。此时，以规定的检查 压(压力）将电子部件70按压至检查用插口 61k。由此，成为电子部件70的外部端子与设 置在检查用插口 61k的探针62k电连接的状态，该状态下，通过控制装置10k的检查控制部 l〇lk针对各检查用插口 61k内的电子部件70实施电特性的检查。若完成该检查，则使第1 手部单兀支承部913k向Z方向（十）侧移动，从检查用插口 61k取出保持于各弟1手部单 元92k的电子部件70。
[0289] 同时进行这样的作业（电子部件70的检查)，支承于第2手部单元支承部914k的 各第2手部单元93k保持收纳于托盘52k的电子部件70,并从托盘52k取出电子部件70。
[0290] 步骤 7
[0291] 接下来，如图22所示，使第1、第2手部单元支承部913k、914k 一体地向Y方向（+) 侧移动，成为第1手部单元支承部913k位于第1往复机构4k的托盘43k的正上方，并且第 2手部单元支承部914k位于检查用插口 6k的正上方(检查用原点位置）的状态。在该移动 中，第2手部单元支承部914k (各第2手部单元93k)通过第2照相机500k的正上方，此 时，第2照相机500k以捕捉保持于各第2手部单元93k的电子部件70以及各第2手部单 元93k的器件标志的方式进行拍摄。而且，控制装置10k基于通过拍摄获得的图像数据，通 过上述的方法，独立地进行各电子部件70的定位。
[0292] 也与这样的第1、第2手部单元支承部913k、914k的移动同时进行下面那样的作 业。首先，使第2往复机构5k向X方向（一)侧移动，成为托盘53k相对于检查用插口 6k在 Y方向上排列的状态，并且成为托盘52k相对于供给托盘2k在Y方向上排列的状态。接下 来，通过供给机器人7k，将收纳于供给托盘2k的电子部件70移至托盘52k，将电子部件70 收纳于托盘52k的各凹处521k。
[0293] 步骤 8
[0294] 接下来，如图23所示，使第2手部单元支承部914k向Z方向（一）侧移动，将保持 于各第2手部单元93k的电子部件70配置在检查用插口 6k的各检查用插口 61k内。然 后，通过检查控制部l〇lk，针对各检查用插口 61k内的电子部件70实施电特性的检查。若 完成该检查，则使第2手部单元支承部914k向Z方向（+)侧移动，从检查用插口 61k取出 保持于第2手部单元93k的电子部件70。
[0295] 与这样的作业同时进行下面那样的作业。
[0296] 首先，将各第1手部单元92k保持的检查完毕的电子部件70收纳在托盘43k的各 凹处431k。具体而言，首先，使各第1手部单元92k向Z方向（一）侧移动，将保持的电子 部件70配置在凹处431k内，之后解除吸附状态。接下来，使各第1手部单元92k向Z方向 (+)侧移动。由此，保持于各第1手部单元92k的电子部件70被收纳在托盘43k。
[0297] 接下来，使第1往复机构4k向X方向（+)侧移动，成为托盘42k相对于检查用插 口 6k在Y方向上排列并且位于第1手部单元支承部913k (各第1手部单元92k)的正下方 的状态，并且成为托盘43k相对于回收托盘3k在Y方向上排列的状态。接下来，各第1手 部单元92k保持收纳于托盘42k的电子部件70。另外，与此同时，通过回收机器人8k，将收 纳于托盘43k的检查完毕的电子部件70移至回收托盘3k。
[0298] 步骤 9
[0299] 接下来，如图24所示，使第1、第2手部单元支承部913k、914k一体地向Y方向（一） 侧移动，成为第1手部单元支承部913k位于检查用插口 6k的正上方(检查用原点位置),并 且第2手部单元支承部914k位于托盘52k的正上方的状态。此时，也与上述的步骤5相同， 进行保持于第1手部单元92k的电子部件70的定位。
[0300] 也与这样的第1、第2手部单元支承部913k、914k的移动同时进行下面那样的作 业。首先，使第1往复机构4k向X方向（一)侧移动，成为托盘43k相对于检查用插口 6k在 Y方向上排列的状态，并且成为托盘42k相对于供给托盘2k在Y方向上排列的状态。接下 来，通过供给机器人7k，将收纳于供给托盘2k的电子部件70移至托盘42k，将电子部件70 收纳于托盘42k的各凹处421k。
[0301] 步骤 10
[0302] 接下来，如图25所示，使第1手部单元支承部913k向Z方向（一）侧移动，将保持 于各第1手部单元92k的电子部件70配置在检查用插口 6k的各检查用插口 61k内。而且， 通过检查控制部l〇lk，针对各检查用插口 61k内的电子部件70实施电特性的检查。而且， 若完成该检查，则使第1手部单元支承部913k向Z方向（+)侧移动，从检查用插口 61k取 出保持于各第1手部单元92k的电子部件70。
[0303] 与这样的作业同时进行下面那样的作业。首先，将各第2手部单元93k保持的检 查完毕的电子部件70收纳在托盘53k的各凹处531k。接下来，使第2往复机构5k向X方 向（+)侧移动，成为托盘52k相对于检查用插口 6k在Y方向上排列并且位于第2手部单 元支承部914k的正下方的状态，并且成为托盘53k相对于回收托盘3k在Y方向上排列的 状态。接下来，各第2手部单元93k保持收纳于托盘52k的电子部件70。另外，与此同时， 通过回收机器人8k，将收纳于托盘53k的检查完毕的电子部件70移至回收托盘3k。
[0304] 步骤 11
[0305] 以下，反复上述的步骤7?步骤10。此外，在该反复期间，若完成将收纳于供给托 盘2k的电子部件70的全部移至第1往复机构4k，则供给托盘2k向区域S外移动。而且， 给供给托盘2k供给新的电子部件70,或者与已经收纳有电子部件70的其它的供给托盘2k 交换后，供给托盘2k再次向区域S内移动。同样地，在反复的途中，若回收托盘3k的所有 的凹处31k收纳有电子部件70,则回收托盘3k向区域S外移动。而且，在取除回收托盘3k 所收纳的电子部件70,或者将回收托盘3k与其它的空的回收托盘3k交换后，回收托盘3k 再次向区域S内移动。
[0306] 根据以上那样的方法，能够高效地进行电子部件70的检查。具体而言，检查用机 器人9k具有第1手部单元92k和第2手部单元93k，例如，在利用检查用插口 6k检查第1 手部单元92k (对于第2手部单元93k也相同)保持的电子部件70的状态下，与此同时第2 手部单元93k将完成了检查的电子部件70收纳于托盘53k，并且保持下次检查的电子部件 70并进行待机。这样，通过使用两个手部单元分别进行不同的作业，能够减少浪费的时间， 能够高效地进行电子部件70的检查。
[0307] 第4实施方式
[0308] 机械手以及机器人
[0309] 接下来，对第4实施方式所涉及的机械手以及机器人进行说明。第4实施方式所 涉及的机械手以及机器人具备具有与第1实施方式所涉及的驱动装置相同的结构的驱动 装置作为关节部的驱动装置。以下，对本实施方式以与上述的各实施方式的不同点为中心 进行说明，对于相同的事项，省略其说明。
[0310] 图26是表示第4实施方式所涉及的机械手以及机器人的结构的示意图。图26(a) 是表示机械手的结构的示意图。如图26 (a)所示，机械手300具备手部主体部301、两个指 部302a、302b、以及控制装置307。两个指部302a、302b设置于手部主体部301。
[0311] 指部302a构成为作为可动部的三个关节部304a、305a、306a与三个指部件303a 交替连接。关节部304a、305a、306a分别设置有压电马达11&、12&、13 &和继电器21&、22&、 23a。指部302b构成为作为可动部的三个关节部304b、305b、306b与三个指部件303b交替 连接。关节部304b、305b、306b分别设置有压电马达llb、12b、13b和继电器21b、22b、23b。
[0312] 控制装置307配置有驱动电路30a、30b。驱动电路30a连接有压电马达11a、12a、 13a以及继电器21a、22a、23a。通过基于来自驱动电路30a的选择信号的继电器21a、22a、 23 &的切换，压电马达11&、12&、13&被分时驱动，关节部304 &、305&、306&转动。同样地，驱 动电路30b连接有压电马达1 lb、12b、13b以及继电器2lb、22b、23b，通过基于来自驱动电路 30b的选择信号的继电器21b、22b、23b的切换，压电马达lib、12b、13b被分时驱动，关节部 304b、305b、306b转动。由此，能够使指部302a、302b像人的手指那样变形为所期望的形状。
[0313] 图26 (b)是表示机器人的结构的示意图。如图26 (b)所示，机器人310具备机 器人主体部311、两个臂部312a、312b、以及控制装置317。两个臂部312a、312b设置于机器 人主体部311。
[0314] 臂部312a构成为作为可动部的三个关节部314a、315a、316a与两个臂部件313a 交替连接。关节部314a、315a、316a分别设置有压电马达lle、12e、13e和继电器21e、22e、 23e。臂部312a的一端设置在机器人主体部311，另一端设置有机械手300a。机械手300a 具有与图26 (a)相同的结构。
[0315] 臂部312b构成为作为可动部的三个关节部314b、315b、316b与两个臂部件313b 交替连接。在关节部314b、315b、316b分别设置有压电马达11112^3€和继电器211221 23f。臂部312b的一端设置于机器人主体部311，另一端设置有机械手300b。机械手300b 具有与图26 (a)相同的构成，但在关节部具备与各驱动电路30c、30d连接的各三个压电马 达以及继电器（图示省略)。
[0316] 在控制装置317配置有驱动电路30&、3015、30(3、30(1、306、3(^。在驱动电路306连 接有压电马达lle、12e、13e以及继电器21e、22e、23e。通过基于来自驱动电路30e的选择 信号的继电器21e、22e、23e的切换，分时驱动压电马达lle、12e、13e，关节部314a、315a、 316a转动。
[0317] 同样地，在驱动电路30f连接有压电马达llf、12f、13f以及继电器21f、22f、23f， 通过基于来自驱动电路30f的选择信号的继电器21f、22f、23f的切换，分时驱动压电马达 llf、12f、13f，关节部314b、315b、316b转动。由此，能够使臂部312a、312b像人的手臂那样 变形为所期望的形状。
[0318] 如上所述，根据第4实施方式所涉及的机械手300以及机器人310的构成，能够获 得以下的效果。此外，省略符号的末尾所标注的a、b、c、d等。
[0319] (1)各关节部具备与第1实施方式所涉及的驱动装置100相同的驱动装置，所以能 够使驱动电路30的数量以及布线的数量相对于压电马达11、12、13的数量减少。另外，由 于使用压电马达，所以与使用电磁马达、脉冲马达的情况相比，不需要按照每个马达设置的 制动机构或者即便是制动能力较低的装置也能够适用。其结果，能够实现机械手300以及 机器人310的小型化、轻型化、低成本化。
[0320] (2)配置在远离的位置的驱动电路30与压电马达11、12、13之间的布线的数量较 少，所以能够抑制使指部302以及臂部312变形时的布线的重量、由布线束的抑制力引起的 负荷，使其较小，所以在机械手300的指部302以及机器人310的臂部312中，能够进行更 精密的动作。
[0321] 此外，上述的实施方式仅表示本发明的一方式，能够在本发明的范围内任意地变 形以及应用。以下叙述变形例。
[0322] 第5实施方式
[0323] 驱动装置
[0324] 接下来，对第5实施方式所涉及的驱动装置进行说明。第5实施方式所涉及的驱 动装置相对于第2实施方式，在压电马达还具有对移动部的移动进行制动的制动部的点不 同，但其他的构成几乎相同。所以以下，对于本实施方式，以与上述的实施方式的不同点为 中心进行说明，对于相同的事项，省略其说明。
[0325] 图27是表示第5实施方式所涉及的驱动装置所使用的压电马达的结构的示意图。
[0326] 在第5实施方式所涉及的驱动装置103中，各压电马达610、620、630、640还具有 对可动部50 (参照图1)的移动进行制动的制动部91。此外，各压电马达610、620、630、640 相同，所以以下，以压电马达610为代表进行说明。
[0327] 压电马达610的制动部91具有基部92、和以能够相对于基部92移动的方式设置 的抵接部93,并设置在被驱动体5的附近。该制动部91能够获得抵接部93与被驱动体5 的侧面（圆周面）分离的第1状态(参照图27 (a))、和抵接部93抵接于被驱动体5的侧面 的第2状态(参照图27 (b))。此外，抵接部93的移动通过内置于制动部91的未图示的马 达的驱动来完成。
[0328] 驱动压电马达610时，如图27(a)所示，使制动部91的抵接部93从被驱动体5的 侧面分离。而且，在使压电马达610停止时，如图27 (b)所示，使制动部91的抵接部93与 被驱动体5的侧面压力接触。由此，被驱动体5停止，可动部50 (参照图1)停止。此外，压 电马达610停止之后，使制动部91成为上述第1状态和上述第2状态的哪个状态均可以， 但通过使其成为第2状态，持续该制动部91的制动动作，可动部50不易位置偏移。
[0329] 如上所述，根据第5实施方式所涉及的驱动装置103的结构，能够获得标注压电马 达610、620、630、640的制动能力的更进一步的制动能力，即使标注了较大的外力的情况下 可动部50也不易位置偏移。
[0330] 第6实施方式
[0331] 驱动装置
[0332] 接下来，对第6实施方式所涉及的驱动装置进行说明。第6实施方式所涉及的驱 动装置相对于第2实施方式，将光M0S继电器变更为旋转开关的点不同，但其他的结构几乎 相同。以下，对本实施方式，以与上述的实施方式的不同点为中心进行说明，对相同的事项， 省略其说明。
[0333] 图28是表示第6实施方式所涉及的驱动装置中的旋转开关的示意图。
[0334] 在第6实施方式所涉及的驱动装置104中，代替第2实施方式中的光M0S继电器 21、22、23、24,设置有旋转开关400作为断续部。该旋转开关400是四个电路四个接点的开 关，但也可以使用其他的方式的开关。另外，旋转开关400是以手动旋转的开关，但并不局 限于此，例如，也可以使用通过马达等驱动源旋转的开关，另外，也可以使用利用手动和马 达等驱动源的各个旋转的开关。
[0335] 旋转开关400具备第1段部410,其具有选择端子411、412、413、414以及共用端 子415 ;第2段部420,其具有选择端子421、422、423、424以及共用端子425;第3段部430， 其具有选择端子431、432、433、434以及共用端子435 ;以及第4段部440,其具有选择端子 441、442、443、444以及共用端子445。而且，若对旋转开关400进行旋转操作，则第1段部 410、第2段部420、第3段部430、第4段部440连动，在第1段部410中，共用端子415依 次与选择端子411、412、413、414电连接。第2段部420、第3段部430、第4段部440也相 同。另外，在第1段部410中，共用端子415与选择端子411电连接时，在第2段部420中， 共用端子425与选择端子421电连接，在第3段部430中，共用端子435与选择端子431电 连接，在第4段部440中，共用端子445与选择端子441电连接。对于其他的端子也相同。
[0336] 另外，从驱动电路30向第1段部410的共用端子415输入有纵向振动用驱动信号 (Drv)。而且，选择端子411与压电马达61的电极部3e电连接，选择端子412与压电马达 62的电极部3e电连接，选择端子413与压电马达63的电极部3e电连接，选择端子414与 压电马达64的电极部3e电连接。由此，若对旋转开关400进行旋转操作，则经由该旋转开 关400,驱动电路30的纵向振动用的驱动信号（Drv)的输出部依次与压电马达61、62、63、 64的电极部3e电连接。
[0337] 另外，从驱动电路30向第2段部420的共用端子425输入有第1弯曲振动用驱动 信号（DrvA)。而且，选择端子421与压电马达61的电极部3a、3d电连接，选择端子422与 压电马达62的电极部3a、3d电连接，选择端子423与压电马达63的电极部3a、3d电连接， 选择端子424与压电马达64的电极部3a、3d电连接。由此，若对旋转开关400进行旋转操 作，则经由该旋转开关400,驱动电路30的第1弯曲振动用驱动信号（DrvA)的输出部依次 与压电马达61、62、63、64的电极部3a、3d电连接。
[0338] 另外，从驱动电路30向第3段部430的共用端子435输入有第2弯曲振动用信号 (DrvB)。而且，选择端子431与压电马达61的电极部3b、3c电连接，选择端子432与压电 马达62的电极部3b、3c电连接，选择端子433与压电马达63的电极部3b、3c电连接，选择 端子434与压电马达64的电极部3b、3c电连接。由此，若对旋转开关400进行旋转操作， 则经由该旋转开关400,驱动电路30的第2弯曲振动用信号（DrvB)的输出部依次与压电马 达61、62、63、64的电极部3b、3c电连接。
[0339] 另外，从驱动电路30向第4段部440的共用端子445输入有共用信号（COM)。而 且，选择端子441与压电马达61的共用电极9电连接，选择端子442与压电马达62的共用 电极9电连接，选择端子443与压电马达63的共用电极9电连接，选择端子444与压电马达 64的共用电极9电连接。由此，若对旋转开关400进行旋转操作，则经由该旋转开关400， 驱动电路30的共用信号（COM)的输出部依次与压电马达61、62、63、64的共用电极9电连 接。
[0340] 这样，通过旋转开关400的旋转操作，有选择地针对压电马达61、62、63、64中与驱 动电路30电连接的压电马达，供给来自驱动电路30的驱动信号。
[0341] 如上所述，根据第6实施方式所涉及的驱动装置104的构成，与利用光M0S继电器 构成断续部的情况相比，例如，即使在装置的维护、调整时那样无法输出使该光M0S继电器 动作的选择信号的情况下，也能够利用手动使旋转开关400旋转，容易地有选择地连接压 电马达61、62、63、64中的任意一个和驱动电路30。
[0342] 此外，在本实施方式中，代替第2实施方式中的光M0S继电器而设置有旋转开关， 但在本发明中，并不局限于此，例如，也可以同时采用光M0S继电器、和旋转开关。
[0343] 以上，基于图示的实施方式对本发明的驱动装置、电子部件输送装置、电子部件检 查装置、机械手以及机器人进行了说明，但本发明并不局限于此，各部的构成能够置换为具 有相同的功能的任意的构成。另外，本发明也可以标注其他的任意的构成物。
[0344] 另外，本发明也可以是组合了上述实施方式中的、任意两个以上的构成(特征）的 构成。
[0345] 另外，在上述第1实施方式中，构成为从设置在各压电马达11、12、13、14的编码器 51、52、53、54独立地向驱动电路30反馈编码器信号，但并不局限于此。也可以为构成在编 码器侧也设置多个继电器，并利用继电器切换编码器51、52、53、54。或者，也可以构成为在 编码器51、52、53、54将信号串行化或者编码并反馈给驱动电路30，并在驱动电路30并行化 或者解码。若成为这样的构成，则能够减少驱动电路30与编码器51、52、53、54之间的布线 的数量。
[0346] 另外，在上述第1实施方式中，驱动电路30使用了数字放大器34,但并不局限于 此，也可以构成为驱动电路30使用了模拟功放。驱动电路30使用模拟功放的情况下，删除 PWM部33以及电感电容35、36。
[0347] 另外，在本发明中，驱动单元中的压电马达的数量为多个即可。
[0348] 另外，在本发明中，驱动单元中的驱动电路的数量比压电马达的数量少即可，例 如，也可以为多个。
[0349] 另外，在上述实施方式中，作为马达，使用了压电马达，但在本发明中，并不局限于 此，例如，也可以使用各种直流马达、交流马达。
[0350] 另外，在上述实施方式中，机器人的臂部中的臂部件的数量为两个，但在本发明 中，并不局限于此，机器人的臂部中的臂部件的数量也可以为一个，或者三个以上。
[0351] 另外，在上述实施方式中，机器人为臂部的数量为两个的双臂机器人(多臂机器 人)，但在本发明中，并不局限于此，例如，也可以为臂部的数量为一个的单臂机器人，或者 臂部的数量为三个以上的多臂机器人。
[0352] 另外，本发明的机器人并不局限于臂型机器人(机械臂)，也可以是其他形式的机 器人，例如，水平多关节机器人、足式步行(行驶）机器人等。
[0353] 另外，本发明的驱动装置并不局限于电子部件输送装置、电子部件检查装置、机械 手、机器人，也能够应用于其他的装置，例如，其他的输送装置、其他的检查装置、部件加工 装置、移动体等。
[0354] 符号说明：11、12、13、14、61、62、63、64、610、620、630、64(>..压电马达，21、22、23、 24…继电器，30、90…驱动电路，50…可动部，70…电子部件，100、102、103、104…驱动装置， 101…驱动单兀，110…定位机构，lk···电子设备检查装置，300…机械手，310…机器人，304、 305、306、314、315、316?关节部。
【权利要求】
1. 一种驱动装置，其特征在于，具备： 多个移动部； 使所述移动部移动的马达； 驱动所述马达的驱动电路；以及 使所述马达和所述驱动电路断续的断续部， 所述驱动电路的数量比所述马达的数量少。
2. 根据权利要求1所述的驱动装置，其特征在于， 所述马达为压电马达。
3. 根据权利要求1或者2所述的驱动装置，其特征在于， 所述驱动装置具备对所述移动部的移动进行制动的制动部。
4. 根据权利要求1?3中任一项所述的驱动装置，其特征在于， 具备多个所述驱动电路。
5. 根据权利要求1?4中任一项所述的驱动装置，其特征在于， 所述移动部的各自的移动方向不同。
6. 根据权利要求1?5中任一项所述的驱动装置，其特征在于， 多个所述移动部为第1移动部、能够在与所述第1移动部的移动方向正交的方向上移 动的第2移动部、以及在分别与所述第1移动部的移动方向以及所述第2移动部的移动方 向正交的方向具有旋转轴的第3移动部。
7. 根据权利要求6所述的驱动装置，其特征在于， 具有基部， 所述第1移动部被设置成能够相对于所述基部移动， 所述第3移动部配置在所述第1移动部与所述第2移动部之间。
8. 根据权利要求1?7中任一项所述的驱动装置，其特征在于， 所述断续部设置在各个所述马达与所述驱动电路之间。
9. 根据权利要求1?8中任一项所述的驱动装置，其特征在于， 所述断续部具有光MOS继电器。
10. 根据权利要求1?9中任一项所述的驱动装置，其特征在于， 所述断续部具有旋转开关。
11. 一种电子部件输送装置，其特征在于，具备： 把持电子部件的把持部； 使所述把持部移动的多个移动部； 设置在所述移动部并使所述移动部移动的马达； 驱动所述马达的驱动电路；以及 使所述马达和所述驱动电路断续的断续部， 所述驱动电路的数量比所述马达的数量少。
12. 根据权利要求11所述的电子部件输送装置，其特征在于， 所述马达为压电马达。
13. 根据权利要求11或者12所述的电子部件输送装置，其特征在于， 多个所述移动部为第1移动部、能够在与所述第1移动部的移动方向正交的方向上移 动的第2移动部、以及在分别与所述第1移动部的移动方向以及所述第2移动部的移动方 向正交的方向具有旋转轴的第3移动部。
14. 根据权利要求13所述的电子部件输送装置，其特征在于， 具有基部， 所述第1移动部被设置成能够相对于所述基部移动， 所述第3移动部配置在所述第1移动部与所述第2移动部之间。
15. -种电子部件检查装置，其特征在于，具备： 检查电子部件的检查部； 把持所述电子部件的把持部； 使所述把持部移动的多个移动部； 设置在所述移动部并使所述移动部移动的马达； 驱动所述马达的驱动电路；以及 使所述马达与所述驱动电路断续的断续部， 所述驱动电路的数量比所述马达的数量少。
16. 根据权利要求15所述的电子部件检查装置，其特征在于， 所述马达为压电马达。
17. 根据权利要求15或者16所述的电子部件检查装置，其特征在于， 多个所述移动部为第1移动部、能够在与所述第1移动部的移动方向正交的方向上移 动的第2移动部、以及在分别与所述第1移动部的移动方向以及所述第2移动部的移动方 向正交的方向具有旋转轴的第3移动部。
18. 根据权利要求17所述的电子部件检查装置，其特征在于， 具有基部， 所述第1移动部被设置成能够相对于所述基部移动， 所述第3移动部配置在所述第1移动部与所述第2移动部之间。
19. 一种机械手，其特征在于，具备： 能够转动的多个指部； 使所述指部转动的马达； 驱动所述马达的驱动电路；以及 使所述马达与所述驱动电路断续的断续部， 所述驱动电路的数量比所述马达的数量少。
20. 根据权利要求19所述的机械手，其特征在于， 所述马达为压电马达。
21. -种机器人，其特征在于，具备： 能够转动的多个臂部； 使所述臂部转动的马达； 驱动所述马达的驱动电路；以及 使所述马达与所述驱动电路断续的断续部， 所述驱动电路的数量比所述马达的数量少。
22. 根据权利要求21所述的机器人，其特征在于， 所述马达为压电马达。
【文档编号】G01R31/00GK104218844SQ201410083286
【公开日】2014年12月17日 申请日期:2014年3月7日 优先权日:2013年5月31日
【发明者】松沢明, 浦野治, 西村义辉, 盐泽雅邦, 宫泽修 申请人:精工爱普生株式会社