纳米碳管共振传感器的制造方法
【专利摘要】纳米碳管共振传感器。目前气体检测基本运用了传感器的敏感元件对气体的吸附特性来改变其电学特性如电阻、电容、频率等参数,从而实现对气体的检测;但这类传感器普遍存在受外界环境影响大,吸附、脱附时间长,可重复性差,气体选择性小,使用周期短,检测设备复杂,成本高等缺点。本实用新型的组成包括:单壁碳纳米管（1），所述的单壁碳纳米管与表面吸收有机气体的电磁共振器（2）连接，所述的电磁共振器与介电层（3）连接，所述的介电层与基平面层（4）连接，所述的电磁共振器与输入电极连接，所述的单壁碳纳米管长3μm～10μm，所述的单壁碳纳米管的直径是1.4nm～25nm。本实用新型用于气体和生物分子的检测。
【专利说明】纳米碳管共振传感器
[0001]【技术领域】:
[0002]本实用新型涉及一种纳米碳管共振传感器。
[0003]【背景技术】:
[0004]目前气体检测基本运用了传感器的敏感元件对气体的吸附特性来改变其电学特性如电阻、电容、频率等参数，从而实现对气体的检测；但这类传感器普遍存在受外界环境影响大，吸附、脱附时间长，可重复性差，气体选择性小，使用周期短，检测设备复杂，成本闻等缺点。
[0005]实用新型内容:
[0006]本实用新型的目的是提供一种纳米碳管共振传感器。
[0007]上述的目的通过以下的技术方案实现:
[0008]一种纳米碳管共振传感器，其组成包括:单壁碳纳米管，所述的单壁碳纳米管与表面吸收有机气体的电磁共振器连接，所述的电磁共振器与介电层连接，所述的介电层与基平面层连接，所述的电磁共振器与输入电极连接；所述的单壁碳纳米管长3 μ m?10 μ m，所述的单壁碳纳米管的直径是1.4nm?25nm，所述的单壁碳纳米管。
[0009]有益效果:
[0010]本实用新型的3 μ m?10 μ m直径1.4nm?25nm的单壁碳纳米管固定在微加工的电磁共振器的表面，在不同的有机气体环境中，共振器表面吸收有机气体引起共振频率改变，例如，异丙醇(IPA)使传感器的共振频率迁移2MHz?3MHz ;而当恢复原来气体环境时，传感器的共振频率逐渐恢复。本实用新型灵敏度高、反应速度快，检测温度范围广。本实用新型受外界环境影响小，吸附、脱附时间短，可重复性好，气体选择性大，使用周期长，检测设备简单，成本低。
[0011]【专利附图】
【附图说明】:
[0012]附图1是本实用新型的结构示意图。
[0013]【具体实施方式】:
[0014]实施例1:
[0015]一种纳米碳管共振传感器，其组成包括:单壁碳纳米管1，所述的单壁碳纳米管与表面吸收有机气体的电磁共振器2连接，所述的电磁共振器与介电层3连接，所述的介电层与基平面层4连接，所述的电磁共振器与输入电极连接。
[0016]实施例2:
[0017]根据实施例1所述的纳米碳管共振传感器，所述的单壁碳纳米管长3 μ m?10 μ m,所述的单壁碳纳米管的直径是1.4nm?25nm。
【权利要求】
1.一种纳米碳管共振传感器，其组成包括:单壁碳纳米管，其特征是:所述的单壁碳纳米管与表面吸收有机气体的电磁共振器连接，所述的电磁共振器与介电层连接，所述的介电层与基平面层连接，所述的电磁共振器与输入电极连接；所述的单壁碳纳米管长3 μ m?10 μ m,所述的单壁碳纳米管的直径是1.4nm?25nm。
【文档编号】G01N33/00GK203981648SQ201420092921
【公开日】2014年12月3日 申请日期:2014年3月3日 优先权日:2014年3月3日
【发明者】于广滨, 戴冰, 陈巨辉, 宋金会 申请人:哈尔滨理工大学